1γ節點開始導入 美光確認EUV工藝DRAM內存芯片2024年量產
來源:中國物流行業網 時間:2021-8-23 9:30
CPU、GPU為代表的邏輯工藝制程進入7nm之后,EUV光刻工藝是少不了的。現在內存還停留在10nm工藝級別,暫時沒用到EUV工藝。不過三星、SK海力士及美光也確定未來會用,其中美光的EUV工藝內存在2024年量產。
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