近年來，非制冷熱紅外顯微鏡價格呈下行趨勢。在技術進步層面，國內紅外焦平面陣列芯片技術不斷突破，像元間距縮小、陣列規模擴大，從早期的 17μm、384×288 發展到如今主流的 12μm 像元，1280 ×1 024、1920 × 1080 陣列規模實現量產，如大立科技等企業推動技術升級，提升生產效率，降低單臺設備成本。同時，國產化進程加速，多家本土廠商崛起，如我司推出非制冷型鎖相紅外顯微鏡，打破進口壟斷格局，市場競爭加劇，促使產品價格更加親民。熱紅外顯微鏡支持芯片、電路板等多類電子元件熱檢測。從化區熱紅外顯微鏡

熱紅外顯微鏡（Thermal EMMI) 圖像分析是通過探測物體自身發出的紅外輻射，將其轉化為可視化圖像，進而分析物體表面溫度分布等信息的技術。其原理是溫度高于零度的物體都會向外發射紅外光，熱紅外顯微鏡通過吸收這些紅外光，利用光電轉換將其變為溫度圖像。物體內電荷擾動會產生遠場輻射和近場輻射，近場輻射以倏逝波形式存在，強度隨遠離物體表面急劇衰退，通過掃描探針技術可散射近場倏逝波，從而獲取物體近場信息，實現超分辨紅外成像。半導體熱紅外顯微鏡用戶體驗熱紅外顯微鏡的動態功耗分析功能，同步記錄 100MHz 高頻信號下的熱響應曲線。

熱紅外是紅外光譜中波長介于 3–18 微米的譜段，其能量主要來自物體自身的熱輻射，而非對外界光源的反射。該波段可細分為中紅外（3–8?μm）、長波紅外（8–15?μm）和超遠紅外（15–18?μm），其熱感應本質源于分子熱振動產生的電磁波輻射，輻射強度與物體溫度正相關。在應用上，熱紅外利用大氣窗口（3–5?μm、8–14?μm）實現高精度的地表遙感監測，并廣泛應用于熱成像、氣體探測等領域。現代設備如 TIRS-2 和 O-PTIR 等，已將熱紅外技術的空間分辨率提升至納米級水平。

熱紅外顯微鏡能高效檢測微尺度半導體電路及MEMS器件的熱問題。在電路檢測方面，這套熱成像顯微鏡可用于電路板失效分析，且配備了電路板檢測用軟件包“模型比較”，能識別缺陷元件；同時還可搭載“缺陷尋找”軟件模塊，專門探測不易發現的短路問題并定位短路點。在MEMS研發領域，空間溫度分布與熱響應時間是微反應器、微型熱交換器、微驅動器、微傳感器等MEMS器件的關鍵參數。目前，非接觸式測量MEMS器件溫度的方法仍存在局限，而紅外成像顯微鏡可提供20微米空間分辨率的熱分布圖像，是迄今為止測量MEMS器件熱分布的高效工具。
芯片復雜度提升對缺陷定位技術的精度與靈敏度提出更高要求。

無損熱紅外顯微鏡的非破壞性分析（NDA）技術，為失效分析提供了 “保全樣品” 的重要手段。它在不損傷高價值樣品的前提下，捕捉隱性熱信號以定位內部缺陷，既保障了分析的準確性，又為后續驗證、復盤保留了完整樣本，讓失效分析從 “找到問題” 到 “解決問題” 的閉環更高效、更可靠。

相較于無損熱紅外顯微鏡的非侵入式檢測，這些有損分析方法雖能獲取內部結構信息，但會破壞樣品完整性，更適合無需保留樣品的分析場景，與無損分析形成互補。 熱紅外顯微鏡突破傳統限制，以超分辨率清晰呈現芯片內部熱分布細節 。制造熱紅外顯微鏡方案

半導體芯片內部缺陷定位是工藝優化與失效分析的關鍵技術基礎。從化區熱紅外顯微鏡

致晟光電熱紅外顯微鏡采用高性能InSb（銦銻）探測器，用于中波紅外波段（3–5 μm）的熱輻射信號捕捉。InSb材料具有優異的光電轉換效率和極低的本征噪聲，在制冷條件下可實現高達nW級的熱靈敏度和優于20mK的溫度分辨率，適用于高精度、非接觸式熱成像分析。該探測器在熱紅外顯微系統中的應用，提升了空間分辨率（可達微米量級）與溫度響應線性度，使其能夠對半導體器件、微電子系統中的局部發熱缺陷、熱點遷移和瞬態熱行為進行精細刻畫。配合致晟光電自主開發的高數值孔徑光學系統與穩態熱控平臺，InSb探測器可在多物理場耦合背景下實現高時空分辨的熱場成像，是先進電子器件失效分析、電熱耦合行為研究及材料熱特性評價中的關鍵。
從化區熱紅外顯微鏡

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