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檢測用熱紅外顯微鏡選購指南

來源: 發(fā)布時間:2025年07月13日

非破壞性分析(NDA)以非侵入方式分析樣品內(nèi)部結構和性能,無需切割、拆解或化學處理,能保留樣品完整性,為后續(xù)研究留有余地,在高精度、高成本的半導體領域作用突出。

無損分析,通過捕捉樣品自身紅外熱輻射成像,全程無接觸,無需對晶圓、芯片等進行破壞性處理。在半導體制造中,可識別晶圓晶體缺陷;封裝階段,能檢測焊接點完整性或封裝層粘結質(zhì)量;失效分析時,可定位內(nèi)部短路或斷裂區(qū)域的隱性熱信號,為根源分析提供依據(jù),完美適配半導體行業(yè)對高價值樣品的保護需求。 熱紅外顯微鏡的高精度熱檢測,為電子設備可靠性提供保障 。檢測用熱紅外顯微鏡選購指南

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熱紅外顯微鏡在半導體IC裸芯片熱檢測中發(fā)揮著關鍵作用。對于半導體IC裸芯片而言,其內(nèi)部結構精密且集成度高,微小的熱異常都可能影響芯片性能甚至導致失效,因此熱檢測至關重要。熱紅外顯微鏡能夠非接觸式地對裸芯片進行熱分布成像與分析,清晰捕捉芯片工作時的溫度變化情況。它可以定位芯片上的熱點區(qū)域,這些熱點往往是由電路設計缺陷、局部電流過大或器件老化等問題引起的。通過對熱點的檢測和分析,工程師能及時發(fā)現(xiàn)芯片潛在的故障風險,為優(yōu)化芯片設計、改進制造工藝提供重要依據(jù)。同時,該顯微鏡還能測量裸芯片內(nèi)部關鍵半導體結點的溫度,也就是結溫。結溫是評估芯片性能和可靠性的重要參數(shù),過高的結溫會縮短芯片壽命,影響其穩(wěn)定性。熱紅外顯微鏡憑借高空間分辨率的熱成像能力,可實現(xiàn)對結溫的測量,幫助研發(fā)人員更好地掌握芯片的熱特性,從而制定合理的散熱方案,提升芯片的整體性能與可靠性。IC熱紅外顯微鏡技術參數(shù)國產(chǎn)熱紅外顯微鏡憑借自主研發(fā)軟件,具備時域重構等功能,提升檢測效率。

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從傳統(tǒng)熱發(fā)射顯微鏡到致晟光電熱紅外顯微鏡的技術進化,不只是觀測精度與靈敏度的提升,更實現(xiàn)了對先進制程研發(fā)需求的深度適配。它以微觀熱信號為紐帶,串聯(lián)起芯片設計、制造與可靠性評估全流程。在設計環(huán)節(jié)助力優(yōu)化熱布局,制造階段輔助排查熱相關缺陷,可靠性評估時提供精細熱數(shù)據(jù)。這種全鏈條支撐,為半導體產(chǎn)業(yè)突破先進制程的熱壁壘提供了扎實技術保障,助力研發(fā)更小巧、運算更快、性能更可靠的芯片,推動其從實驗室研發(fā)穩(wěn)步邁向量產(chǎn)應用。

在失效分析的有損分析中,打開封裝是常見操作,通常有三種方法。全剝離法會將集成電路完全損壞,留下完整的芯片內(nèi)部電路。但這種方法會破壞內(nèi)部電路和引線,導致無法進行電動態(tài)分析,適用于需觀察內(nèi)部電路靜態(tài)結構的場景。局部去除法通過特定手段去除部分封裝,優(yōu)點是開封過程不會損壞內(nèi)部電路和引線,開封后仍可進行電動態(tài)分析,能為失效分析提供更豐富的動態(tài)數(shù)據(jù)。自動法則是利用硫酸噴射實現(xiàn)局部去除,自動化操作可提高效率和精度,不過同樣屬于破壞性處理,會對樣品造成一定程度的損傷。


熱紅外顯微鏡突破傳統(tǒng)限制,以超分辨率清晰呈現(xiàn)芯片內(nèi)部熱分布細節(jié) 。

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半導體制程已逐步進入 3 納米及更先進階段,芯片內(nèi)部結構日趨密集,供電電壓也持續(xù)降低,這使得微觀熱行為對器件性能的影響變得更為明顯。致晟光電熱紅外顯微鏡是在傳統(tǒng)熱發(fā)射顯微鏡基礎上,經(jīng)迭代進化而成的精密工具。在先進制程研發(fā)中,它在應對熱難題方面能提供一定支持,在芯片設計驗證、失效排查以及性能優(yōu)化等環(huán)節(jié),都能發(fā)揮相應的作用。其通過不斷優(yōu)化的技術,適應了先進制程下對微觀熱信號檢測的需求,為相關研發(fā)工作提供了有助于分析和解決問題的熱分布信息,助力研發(fā)人員更好地推進芯片相關的研究與改進工作。
區(qū)分 LED、激光二極管的電致發(fā)光熱點與熱輻射異常,優(yōu)化光電轉換效率。直銷熱紅外顯微鏡平臺

熱紅外顯微鏡幫助工程師分析電子設備過熱的根本原因 。檢測用熱紅外顯微鏡選購指南

RTTLIT P10 熱紅外顯微鏡在光學配置上的靈活性,可通過多種可選物鏡得以充分體現(xiàn),為不同尺度、不同場景的熱分析需求提供精細適配。

Micro 廣角鏡頭擅長捕捉大視野范圍的整體熱分布,適合快速定位樣品宏觀熱異常區(qū)域,如整片晶圓的整體散熱趨勢觀測;0.2X 鏡頭在保持一定視野的同時提升細節(jié)捕捉能力,可用于中等尺寸器件(如傳感器模組)的熱行為分析,平衡效率與精度;0.4X 鏡頭進一步聚焦局部,能清晰呈現(xiàn)芯片封裝級的熱分布特征,助力排查封裝缺陷導致的散熱不均問題;1X 與 3X 鏡頭則聚焦微觀尺度,1X 鏡頭可解析芯片內(nèi)部功能模塊的熱交互,3X 鏡頭更是能深入到微米級結構(如晶體管陣列、引線鍵合點),捕捉納米級熱點的細微溫度波動。



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標簽: 熱紅外顯微鏡
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