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上海工業級BOE蝕刻液供應

來源: 發布時間:2025年03月28日

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    所述的磷酸濃度為82-87%。進一步地,本發明涉及上述蝕刻液,醇醚類的含量為%。進一步地,本發明涉及上述蝕刻液,表面活性劑的含量為%。進一步地,本發明涉及上述蝕刻液,所述的醇醚類為選自二乙二醇單甲醚、丙二醇丁醚、二丙二醇甲醚、二乙二醇丁醚、三乙二醇乙醚、三丙二醇單甲醚、三甘醇單丁醚等中的至少一種;表面活性劑為選自脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p、壬基酚聚氧乙烯醚np-10、聚乙二醇硬脂酸酯egms、烷基酚聚氧乙烯醚硫酸鈉、月桂酰氨乙基硫酸鈉、醇醚羧酸鹽等中的至少一種。進一步地,在使用本發明的蝕刻液進行氮化硅層蝕刻時,蝕刻溫度為152-165℃,蝕刻時間為5-60min。通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑,改善了磷酸的浸潤性和表面張力,明顯提高了蝕刻液對氮化硅層的潤濕和蝕刻均勻性。為了便于驗證氮化硅薄膜層的蝕刻均勻性,本發明使用淀積了氮化硅薄膜的晶圓樣片(初始厚度約為)。蝕刻液配制完成后,先使用表面張力儀檢測該蝕刻液的表面張力;然后將氮化硅晶圓片切割成1cm*3cm的小樣片,采用超純水清洗和氮氣吹干后,使用接觸角測量儀檢測蝕刻液對氮化硅層的接觸角大小。在蝕刻前,使用橢圓偏振光譜儀對氮化硅樣片取不同位置共6個點進行厚度的測量。上海工業級BOE蝕刻液供應BOE蝕刻液專業生產廠家,蘇州博洋化學股份有限公司。

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    其擴散管深入到所述再生液調配缸中;液體泵,其一端通過管道連接所述再生液調配缸的循環出液口,另一端通過管道連接所述射流器的進液口,用于將所述再生液調配缸中的電解后液通過所述管道抽取至所述射流器的進液口。進一步地,所述酸性蝕刻液電解后液處理系統還包括:曝氣裝置,用于向所述再生液調配缸中的電解后液輸送氣體以進行攪拌。進一步地,所述酸性蝕刻液電解后液處理系統還包括:后續處理系統,用于向經過所述再生液調配缸處理過的電解后液中加入氯化鈉、鹽酸并攪拌均勻。更進一步地,所述電解槽的陽極為石墨電極,陰極為鈦或鈦合金板狀電極。更進一步地,所述電解槽中陰極與陽極之間的距離為55mm。更進一步地,所述電解槽的電流密度為300a/m2。本實用新型所提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統通過簡單的結構實現了電解后廢液的再生利用,可節約能耗和藥品,提高經濟效益。附圖說明圖1是本實用新型實施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統的結構圖;圖2是本實用新型第二實施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統的結構圖。具體實施方式為了使本實用新型的目的、技術方案及優點更加清楚明白,以下結合附圖及實施例,對本實用新型進行進一步詳細說明。應當理解。

    可通過蒸發或蒸餾或者通過對比給定溫度下的泡點或的蒸氣壓來實施共沸型化合物的確定。在工業應用的情況下使用共沸物是特別有利的,以使組合物再生,例如當其飽和有污染物的時候。簡單蒸餾可回收初的共沸組合物,而沒有各組分的任何分餾。而且,2-甲基四氫呋喃(2-MeTHF)具有得自可再生原料(例如得自纖維素材料的糠醛)的優點。因此,半纖維素多糖是含有5個碳原子的基于糖的聚合物。當在硫酸的存在下加熱半纖維素時,得到戊糖(含有5個碳原子的糖),例如木糖。當進行木糖的熱脫水時,該木糖轉化為糠醛。除了低的GWP和它們的可生物降解性之外,根據本發明的一些組合物是不可燃的(根據ASTMD3828標準,閉杯閃點高于55°C)并且特別適合作為清洗溶劑或作為用于加熱和冷卻應用的制冷劑。它們也可用作發泡劑。實驗部分實施例1通過使用沸點測定技術測量液體混合物的沸點。首先,將適量的九氟丁基甲基醚裝料到沸點測定儀中,然后,使其沸騰。在達到平衡狀態之后,記錄在大氣壓下的沸點。然后,將甲基四氫呋喃的等分試樣引入到所述沸點測定儀中并且在已達到平衡狀態之后再次記錄溫度。表I給出九氟丁基甲基醚和甲基四氫呋喃的各種混合物在。蘇州博洋化學股份有限公司,BOE蝕刻液。

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    這是除去固體顆粒、電子流、水、或者或多或少具有極性的油脂污染的要求。在精細清洗中,經常存在裝有凹槽、肋條或盲孔的非常復雜的部件,必須用溶劑對其進行潤濕,以使溶劑在這些難洗位置發揮作用。氟化溶劑來自提供表面的可能性的潤濕的溶劑類型,其中,所述表面的可能性的潤濕以非常低的表面張力表示(例如,相對于,HCFC141b為)。高潤濕的另一優點是得到基底的較快干燥。在幾乎相同的分子量下,氟化溶劑具有較低的沸點和較高的蒸氣壓。因此,HCFC141b在32°C下沸騰而氯仿在61°C下沸騰。這兩種性質(低沸點和高蒸氣壓)有利于這些溶劑在利用蒸氣相操作的常規工業機器中的應用,使得能夠進行部件的漂洗和干燥,而且使得被連續蒸餾的溶劑能夠再生。這些機器裝有用于通過冷凝而使蒸氣在盤管上冷卻的大功率(heavy-duty)系統,這些機器的操作方法使得所用高蒸氣壓的缺點小化。工業家們期望可用于他們的現有機器存貨的替代解決方案。此外,氫氟烴地用于制冷和傳熱過程。本發明提供具有低GWP且具有可生物降解的優點的組合物。根據本發明的組合物含甲基四氫呋喃和至少一種式C4F90R的九氟丁基烷基醚,其中R具有14個碳原子的線型或支化的飽和烷基鏈。有利地。蘇州BOE蝕刻液廠家哪家好?上海工業級BOE蝕刻液供應

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