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來源: 發(fā)布時間:2025年04月04日

    所述九氟丁基烷基醚主要由九氟正丁基烷基醚和九氟異丁基烷基醚組成。5.權(quán)利要求14中任一項(xiàng)的組合物,特征在于,所述組合物是共沸的或共沸型的。6.權(quán)利要求5的組合物,特征在于,所述組合物包含515重量%的甲基四氫呋喃和8595重量%的九氟丁基甲基醚。7.共沸組合物,其包含8重量%的甲基四氫呋喃和92重量%的九氟丁基甲基醚,并且在大氣壓()下具有°C的沸點(diǎn)。8.權(quán)利要求5的組合物,特征在于,所述組合物包含1040重量%的甲基四氫呋喃和6090重量%的九氟丁基乙基醚。9.共沸組合物,其包含%的甲基四氫呋喃和%的九氟丁基乙基醚,并且在大氣壓()下具有°C的沸點(diǎn)。10.制冷劑,特征在于,其包含前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)的組合物。11.溶劑,特征在于,其包含權(quán)利要求19中任一項(xiàng)的組合物。全文摘要本發(fā)明涉及含有全氟丁基醚的共沸或共沸型混合物或組合物。更具體地說,本發(fā)明涉及含有至少一種九氟丁基烷基醚和可生物降解化合物的組合物,該組合物可用作溶劑或制冷劑。蘇州BOE蝕刻液廠家哪家好?湖南無機(jī)BOE蝕刻液銷售公司

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    形成氣液混合體,從擴(kuò)散管22排出又進(jìn)入到再生液調(diào)配缸3。電解再生某線路板生產(chǎn)線蝕刻廢液,蝕刻廢液量1000m3/d,相比沒有使用本實(shí)用新型所提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng),能耗節(jié)約40%,節(jié)約使用藥品100kg/d,經(jīng)濟(jì)效益提高30%。作為本實(shí)施例的一個示例,電解槽1的陽極可選用石墨電極,陰極可選用鈦或鈦合金板狀電極,電解槽1中陰極與陽極之間的距離為55mm,電解槽1的電流密度為300a/m2。與實(shí)施例相結(jié)合,圖2示出了本實(shí)用新型第二實(shí)施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu),在實(shí)施例的基礎(chǔ)上,第二實(shí)施例進(jìn)一步包括曝氣裝置5,曝氣裝置5通過管道深入到再生液調(diào)配缸3的液體中,用于向再生液調(diào)配缸3中的電解后液輸送氣體以進(jìn)行攪拌,以提高整個系統(tǒng)的工作效率。進(jìn)一步地,與上述、第二實(shí)施例相結(jié)合,酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)還可以包括一后續(xù)處理系統(tǒng),用于向經(jīng)過再生液調(diào)配缸3處理過的電解后液中加入氯化鈉、鹽酸并攪拌均勻,然后再打入到子液桶,實(shí)現(xiàn)再生液循環(huán)利用。以上所述為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已,并不用以限制本實(shí)用新型,凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。

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    然后將裝有蝕刻液的石英燒瓶放入加熱套中加熱,待加熱到確定溫度后,放入氮化硅樣片進(jìn)行蝕刻;蝕刻完后,取出樣片采用熱超純水清洗和氮?dú)獯蹈珊螅褂脵E圓偏振光譜儀對蝕刻前所取位置的6個點(diǎn)的厚度進(jìn)行測量,計(jì)算蝕刻前后6個取點(diǎn)的厚度差值,對比6個點(diǎn)之間的厚度差值的差異。與現(xiàn)有的使用磷酸作為蝕刻液相比,本發(fā)明的有益效果是:醇醚類和表面活性劑的添加能明顯改善磷酸溶液的浸潤性和降低磷酸溶液的表面張力,有效提高了蝕刻液對氮化硅層的潤濕性和蝕刻均勻性。具體實(shí)施方式下面結(jié)合具體實(shí)施例,進(jìn)一步闡述本發(fā)明,對本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)的說明,但不限于這些實(shí)施例。本發(fā)明的蝕刻液配制時選擇的磷酸濃度為85%,蝕刻溫度為160℃,蝕刻時間為10min。先對所配制蝕刻液的表面張力進(jìn)行檢測,然后將氮化硅樣片使用超純水清洗和氮?dú)獯蹈珊螅M(jìn)行接觸角的測量;蝕刻前使用超純水清洗和氮?dú)獯蹈傻铇悠螅诘铇悠先?個不同位置的點(diǎn)對其厚度進(jìn)行測量;蝕刻完成后使用熱超純水清洗和氮?dú)獯蹈傻铇悠螅∨c蝕刻前相同位置的6個點(diǎn)進(jìn)行厚度測量。實(shí)施例1本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制,先稱取濃度為85%的磷酸,然后稱取添加劑加入磷酸中。蘇州博洋專業(yè)生產(chǎn),BOE蝕刻液生產(chǎn)。河南一種BOE蝕刻液報價

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