表％九氟丁基甲基醚和50重量％甲基四氫呋喃的液體混合物的分餾顯示出92重量％九氟丁基甲基醚和8重量％甲基四氫呋喃的共沸組合物，其在°C的沸點。實施例2如實施例1所述進行沸點測定方法。表II給出九氟丁基乙基醚和甲基四氫呋喃的各種混合物在。表II九氟丁基乙基醚的重量％甲基四氫呋喃的重量％(°C)％九氟丁基乙基醚和50重量％甲基四氫呋喃的液體混合物的分餾顯示出％九氟丁基乙基醚和％甲基四氫呋喃的共沸組合物，其在°C的沸點。清洗試驗的總體過程首先，用FORANE141b對2X5cm的不銹鋼片材進行脫脂。這些片材各自在測試之前稱重，其構成皮重。然后，在這些片材的單側上涂布油REDUCTELFSP460。對該涂布有油的片材進行稱重，并由與皮重的差值推算出涂布的油的量。接下來，將該涂布有油的片材浸5入到含有100ml待評價組合物的燒杯中5分鐘，不進行攪拌且無超聲。該片材一移出，就在通風的情況下進行15分鐘的滴干(dripdry)，并且，在該15分鐘結束時，通過稱重測定油的殘留量。與油的初始量相比，計算移除的油的百分數。實施例3在使用九氟丁基甲基醚的組合物的情況下，得到0%的油移除率。實施例4在使用包含8重量％的2-MeTHF和92重量％的九氟丁基甲基醚的組合物的情況下。銅BOE蝕刻液的配方是什么？山東BOE蝕刻液價格

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    deacuerdoconlascantidadesindicadasenelapartadodelanormaUNE20-322.)ípicasaconsiderarson:1.oIsletasdedistribució.o.oLocalesoedificiosdeservicio,conalmacenajedelubricantes.)Influenciadelaventilacióónafectarádeformadirectaaltipoy/oextensióáíndicedeventilación(renovaciones/horas)elevadodetalformaqueelgradodepeligrosidaddelemplazamientopuedellegaraser?nopeligroso?.Portanto,aunenelcasodeunafuentedeescapedegradocontinuolascondicionesdelaventilaciónpuedencrearmásdeuntipodezonaalrededordelafuentedeescapeounazonadetipoyextensióndiferente.)Determinacióndelaextensió(cantidadmínimadesustanciainflamable。

    本發明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液，通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑，來改善磷酸的浸潤性和表面張力，使之均勻蝕刻氮化硅。背景技術：氮化硅是一種具有很高的化學穩定性的絕緣材料，氫氟酸和熱磷酸能對氮化硅進行緩慢地腐蝕。在半導體制造工藝中，一般是采用熱磷酸對氮化硅進行蝕刻，一直到了90nm的制程也是采用熱磷酸來蝕刻氮化硅。但隨著半導體制程的飛速發展，器件的特征尺寸越來越小，集成度越來越高，對制造工藝中的各工藝節點要求也越來越高，如蝕刻工藝中對蝕刻后晶圓表面的均勻性、蝕刻殘留、下層薄膜的選擇性等都有要求。在使用熱磷酸對氮化硅進行蝕刻時，晶圓表面會出現不均勻的現象，體現于在蝕刻前后進行相同位置取點的厚度測量時，檢測點之間蝕刻前后的厚度差值存在明顯差異。為了解決氮化硅蝕刻不均勻的問題，通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑可以實現氮化硅層的均勻蝕刻。技術實現要素：本發明所要解決的技術問題是提供一種能均勻蝕刻氮化硅層的蝕刻液。本發明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液，所述蝕刻液的組成包括：占蝕刻液總重量≥88％的磷酸、％的醇醚類、％的表面活性劑。進一步地，本發明涉及上述蝕刻液。博洋 BOE 蝕刻液，專為微電子領域量身定制，提供個性化解決方案！

    名稱：含有全氟丁基醚的組合物的制作方法含有全氟丁基醚的組合物本發明涉及共沸或共沸型的全氟丁基醚混合物或組合物。更具體地說，本發明的一個主題是包含至少一種九氟丁基烷基醚和可生物降解化合物的組合物。地球大氣阻擋了來自于地球的IR發射，這是導致溫室效應和有利于生命的適度溫度的原因。在大氣中，主要是二氧化碳0)2導致這種自然界的溫室效應。人類排放的某些氣體(包括來自化石燃料的co2)增強了該效應，導致全球變暖及其對于氣候的影響暴風雨、洪水、浮冰表面積的變化和冰)I丨消退。京都議定書(1997)的目標是相對于1990年(基準年)，在20082012年的承諾期間內，使6種溫室氣體(C02、CH4、N20、HFC、PFC、SF6)的全球排放減少5%。給定產物的溫室效應通過其GWP(全球變暖潛勢)量化，所述GWP不僅考慮了分子對輻射吸收的固有作用而且還考慮了分子在大氣中的壽命(或者等同于相同的特征，如在給定時期(通常為1個世紀)內的該分子的濃度)。所述GWP相對于作為參比氣體的C02全A屮圣口田O氟化溶劑長期用于高技術工業(例如電子、航空、精密機械或醫藥部門)。在這些領域中，目標總是相同的，即獲得非常高清潔度的表面。BOE蝕刻液價格咨詢，請聯系蘇州博洋化學。上海無機BOE蝕刻液按需定制

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