1963年底，山西省轄5專區(qū)、4省轄市，94縣、11市轄區(qū)。
太原市 5區(qū) 2縣
南城區(qū) 北城區(qū) 河西區(qū) 郊 區(qū) 古交工礦區(qū)
陽曲縣（黃寨鎮(zhèn)） 徐清縣（清源鎮(zhèn)）
大同市 4區(qū)
城 區(qū) 口泉區(qū) 懷仁區(qū) 古城區(qū)
陽泉市 2區(qū)
站上區(qū) 蔭營區(qū)
雁北專區(qū) 專署駐大同市 11縣
陽高縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 天鎮(zhèn)縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 廣靈縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 靈丘縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 渾源縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 應(yīng) 縣（城關(guān)鎮(zhèn)）
山陰縣（岱岳鎮(zhèn)） 朔 縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 平魯縣（井坪鎮(zhèn)） 左云縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 右玉縣（城關(guān)鎮(zhèn)）
忻縣專區(qū) 專署駐忻縣 16縣
寧武縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 靜樂縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 五臺縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 繁峙縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 興 縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 河曲縣（城關(guān)鎮(zhèn)）
五寨縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 原平縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 保德縣（東關(guān)鎮(zhèn)） 偏關(guān)縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 忻 縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 定襄縣（城關(guān)鎮(zhèn)）
代 縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 嵐 縣（東村鎮(zhèn)） 岢嵐縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 神池縣（城關(guān)鎮(zhèn)）
晉中專區(qū) 專署駐榆次縣 20縣
太谷縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 介休縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 平遙縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 和順縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 汾陽縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 臨 縣（城關(guān)鎮(zhèn)）
離石縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 昔陽縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 盂 縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 壽陽縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 中陽縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 文水縣（城關(guān)鎮(zhèn)）
交城縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 榆社縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 左權(quán)縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 平定縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 祁 縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 靈石縣（城關(guān)鎮(zhèn)）
孝義縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 榆次縣（城關(guān)鎮(zhèn)）
晉東南專區(qū) 專署駐長治市 1市 16縣
長治市
武鄉(xiāng)縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 沁 縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 黎城縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 壺關(guān)縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 晉城縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 陽城縣（城關(guān)鎮(zhèn)）
沁源縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 襄垣縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 平順縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 陵川縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 沁水縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 高平縣（城關(guān)鎮(zhèn)）
長子縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 留屯縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 長治縣（長治市） 潞安縣（城關(guān)鎮(zhèn)）
晉南專區(qū) 專署駐臨汾縣 29縣
臨汾縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 鄉(xiāng)寧縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 安澤縣（府城鎮(zhèn)） 翼城縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 稷山縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 聞喜縣（城關(guān)鎮(zhèn)）
平陸縣（圣人澗鎮(zhèn)） 芮城縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 垣曲縣（劉張鎮(zhèn)） 萬榮縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 運城縣（運城鎮(zhèn)） 洪洞縣（城關(guān)鎮(zhèn)）
浮山縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 蒲 縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 石樓縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 臨猗縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 汾西縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 霍 縣（城關(guān)鎮(zhèn)）
絳 縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 襄汾縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 夏 縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 永濟縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 吉 縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 大寧縣（城關(guān)鎮(zhèn)）
隰 縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 永和縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 河津縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 新絳縣（城關(guān)鎮(zhèn)） 曲沃縣（侯馬鎮(zhèn)）
★1963年3月16日國務(wù)院全體會議第127次會議決定：
1．恢復(fù)榆次縣。以榆次市的為行政區(qū)域為榆次縣的行政區(qū)域。
2．撤銷榆次市。
3．恢復(fù)曲沃縣。以侯馬市的為行政區(qū)域為曲沃縣的行政區(qū)域。
4．撤銷侯馬市。
◎撤銷太原市晉源區(qū)、西山工礦區(qū)，合并設(shè)立郊區(qū)，以晉源區(qū)、西山工礦區(qū)及南城、北城、河西3區(qū)所轄農(nóng)業(yè)區(qū)域為其行政區(qū)域。（山西省人民委員會1963年2月18日批準）
◎設(shè)立陽泉市站上區(qū)、蔭營區(qū)。（山西省人民委員會1963年2月18日批準）