10月15日消息 據(jù)《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》，光刻機(jī)制造商阿斯麥 ASML 公布了 EUV 路線(xiàn)圖上的新機(jī)型 TWINSCANNXE:3600D 的最終規(guī)格，這是 30mJ/cm2 的曝光速度達(dá)到每小時(shí)曝光 160 片晶圓，提高了 18% 的生產(chǎn)率，并改進(jìn)機(jī)器匹配套準(zhǔn)精度至 1.1 納米，計(jì)劃于 2021 年的中期開(kāi)始發(fā)貨。

　　ASML 昨日公布了三季度財(cái)報(bào)：第三季度銷(xiāo)售額為 40 億歐元，凈利潤(rùn) 11 億歐元，毛利率 47.5%，凈利率 27.5%，第三季度新增訂單 29 億歐元。

　　據(jù)外媒報(bào)道，ASML 向客戶(hù)交付并可確認(rèn)收入的光刻機(jī)達(dá) 60 臺(tái)。其中，14 臺(tái)為極紫外光刻機(jī)，較上一季度增加 7 臺(tái)，但整體的交付量較上一季度減少了 1 臺(tái)。