廣東省科學院半導體研究所
感應耦合等離子刻蝕(ICP)是一種先進的材料加工技術,普遍應用于半導體制造、微納加工及MEMS(微機電系統(tǒng))等領域。該技術利用高頻...
MEMS(微機電系統(tǒng))材料刻蝕是微納制造領域的重要技術之一,它涉及到多種材料的精密加工和去除。隨著MEMS技術的不斷發(fā)展,對材料刻...
材料刻蝕技術是半導體制造過程中不可或缺的一環(huán)。它決定了晶體管、電容器等關鍵元件的尺寸、形狀和位置,從而直接影響半導體器件的性能和可...
材料刻蝕技術將呈現(xiàn)出以下幾個發(fā)展趨勢:一是高精度、高均勻性的刻蝕技術將成為主流。隨著半導體器件尺寸的不斷縮小和集成度的不斷提高,對...
硅材料刻蝕是集成電路制造過程中不可或缺的一環(huán)。它決定了晶體管、電容器等關鍵元件的尺寸、形狀和位置,從而直接影響集成電路的性能和可靠...