激光干涉儀:從激光器發出的光束,經擴束準直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時,干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號,經整形、放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數,再由電子計算機按計算式式中λ為激光波長(N為電脈沖總數),算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時,要求周圍大氣處于穩定狀態,各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。用激光干涉儀對數控機床進行定位精度檢測。鄭州儀器校準激光干涉儀購買激光干涉儀是檢定數控機床、坐標測量機位置精度的理想工具,可按照規定標準處理測量數據并輸出...
激光干涉儀常見故障及解決方法:開機無顯示:1、是否接上電源打開開關。2、顯示器是否切換到BNC模式。視場不完整:1、標準鏡頭是否旋到位。2、標準鏡頭星點是否與尋星窗口中間的黑點重合。高度調節不明顯:檢查高度調節旋鈕是否鎖緊。干涉條紋暗:調節干涉儀上的亮度調節旋鈕。干涉條紋亂:檢查標準鏡頭與被測透鏡表面是否干凈。被測鏡片星點像找不到:調整鏡片的中心,看鏡片是否放置的傾斜。條紋亮暗閃動:調節標準鏡頭的圓形圖像。激光干涉儀要設置專庫存放,環境要求干燥、通風、防震、防霧、防塵、防銹。江蘇數控設備定位精度激光干涉儀供應廠家激光干涉儀在位移傳感器檢定中的應用已成為一大發展趨勢,其特點是測量精度快、反應速度...
激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。激光具有強度較高、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。目前常用來測量長度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,激光干涉儀并以穩頻氦氖激光為光源,構成一個具有干涉作用的測量系統。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。激光干涉儀選擇哪個牌子比較好?蘇州機床誤差修正激光干涉儀設備廠家激光干涉儀是激光的應用之一,它以激光波長為已知長度,利用邁克爾遜干涉系統測量位移的通用長度測量。激光干涉儀除了可以用來測量長...
激光干涉儀是利用激光作為長度基準,對數控設備(加工中心、三座標測量機等)的位置精度(定位精度、重復定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進行精密測量的精密測量儀器。為通過受激發射線的放射達到光的放大,即激光。大多數現代位移干涉儀都使用氦氛(He-Ne)激光管,這些激光管具有633納米(nm)的波長輸出。激光具有三個重要特性:激光波長非常穩定,可以滿足精密測量的要求。激光波長非常短,可以用于高精度測量。激光具有干涉特性。激光干涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角等。湖南庫存激光干涉儀激光干涉儀具有快速、高準確測量的優點,是校準數字機床、坐標測...
激光干涉儀是以激光波長為長度計量基準的高精度測量儀器,隨著激光干涉儀的出現,因其具有性能穩定、檢測精度高及數據可靠性好等優點,已成為高精密機械生產中校準及補償的標準儀器,在機械制造、金屬切削加工及航空航天等領域得到了普遍的應用。激光干涉儀有單頻和之分,單頻激光干涉儀受環境因素影響較大,一般用于特定環境的實驗室。激光干涉儀應用頻率變化來測量位移,對由光強變化引起的直流電平變化不敏感,抗干擾能力強,普遍應用于各種工況下。激光干涉儀的應用:幾何精度檢測。湖北激光干涉儀誠信合作數控機床設備在維修維保或機床設備大修之后,使用雷尼紹XL-80激光干涉儀來實現線性數控軸直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參...
激光干涉儀以干涉技術為關鍵,其光波可直接對米進行定義。激光干涉儀可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;具有動態測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等;支持手動或自動進行環境補償。軟件強:友好的人機界面;豐富的應用功能模塊;向導式的操作流程;簡潔化的記錄管理;支持中文、英文和俄文界面;支持企業專屬模板定制。激光干涉儀使用注意事項:如必須擦拭則應當小心擦拭,利用科學的方法進行清潔。河南激光干涉儀誠信服務Z軸激光光路快速準直方法具體調整方法如下:Z軸置于低處,利用激光器外殼中...
激光干涉儀;光的干涉:光具有波粒二象性。兩列或幾列光波在空間相遇時相互迭加,在某些區域始終加強,在另一些區域則始終削弱,形成穩定的強弱分布的現象。產生穩定干涉的條件:只有兩列光波的頻率相同,位相差恒定,振動方向一致的相干光源,才能產生光的穩定干涉。由兩個普通獨特光源發出的光,不可能具有相同的頻率,更不可能存在固定的相差,因此,不能產生穩定干涉現象。若光的振幅相等:相位角相同時,復合光強為原先的2倍,產生明條紋。當相位角相差180o(半個波長)時,復合光強為0,產生暗條紋。激光干涉儀要設置專庫存放,環境要求干燥、通風、防震、防霧。機床誤差修正激光干涉儀定購激光干涉儀使用技巧;Z軸激光光路快速準直...
激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。激光具有強度較高、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。目前常用來測量長度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,激光干涉儀并以穩頻氦氖激光為光源,構成一個具有干涉作用的測量系統。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。激光干涉儀的使用注意事項:各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫,儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。蘇州儀器校準激光干涉儀價格單頻激光干涉儀:從激光器發出的光束,經擴束準直后由分光鏡分為兩路,并...
激光干涉儀是以光波為載體,以光波波長為單位的一種計量測試方法,是公認的高精度、高靈敏度的檢測手段,在制造領域應用普遍。激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、測速下分辨率高、測量范圍大等優點。通過與不同的光學組件結合,可以實現對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關軟件的配合下,還可以對數控機床進行動態性能檢測,可以進行機床振動測試與分析,滾珠絲桿的動態特性分析,驅動系統的響應特性分析,導軌的動態特性分析等,具有極高的精度和效率,為機床誤差修正提供依據。激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器,可直接用于高精度、大 尺寸的動態位移測量系統。長沙數控機床激光干涉儀報價激光干...
激光干涉儀laserinterferometer以激光波長為已知長度利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量.工具激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。激光具有高的強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。目前常用來測量長度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,并以穩頻氦氖激光為光源,構成一個具有干涉作用的測量系統。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平。常用于檢定測長機、三坐標測量機、光刻機和加工中心等的坐標精度,也可用作測長機、高精度三坐標測量機等的測量系統。利用相應附件,還可進行高精度直線度測量、平面度測量、回轉精度測量、平行度測量和小角度測量。影響...
激光干涉儀的應用:數控轉臺分度精度的檢測及其自動補償現在,利用激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置,以任意角度間隔進行全自動測量,其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術。它比傳統用自準直儀和多面體的方法不只節約了大量的測量時間,而且還得到完整的回轉軸精度曲線,知曉其精度的每一細節,并給出按相關標準處理的統計結果。雙軸定位精度的檢測及其自動補償。激光干涉儀系統可同步測量大型龍門移動式數控機床,由雙伺服驅動某一軸向運動的定位精度,而且還能通過RS232接口,自動對兩軸線性誤差分別進行補償。激光干涉儀使用注意事項:避免劃傷或腐蝕導軌面絲桿,保持其不失油。...
激光干涉儀以光波為載體,具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、比較高測速下分辨率高等特點,其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標準。因此,激光干涉儀普遍應用于數控機床、PCB鉆孔機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質量控制與校準以及科研開發、設備制造等領域。激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。若光程差有變化時,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。激光干涉儀發射單一頻率光束,光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,比較后重新匯聚返回激光干涉儀。激光干涉儀哪種質量比較好?山東數控機床公差激光干涉儀廠家供應激光干涉儀產品具有...
激光干涉儀使用注意事項:1、儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環境中應用。2、在移動儀器時,為防止導軌變形,應托住底座再進行移動。3、儀器的光學零件在不用時,應在清潔干燥的器皿中進行存放,以防止發霉。4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等,如必須擦拭則應當小心擦拭,利用科學的方法進行清潔。5、導軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件,應當保持良好的潤滑。因此必要時要使用精密儀表油潤滑。6、在使用時應避免強旋、硬扳等情況,合理恰當的調整部件。7、避免劃傷或腐蝕導軌面絲桿,保持其不失油。激光干涉儀是以光波為載體,以光波波長為單位的一種計量測試方法。自動化激光干涉儀品質保障激光干涉儀在實際使用中,需要...
激光干涉儀以光波為載體,具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、Zgao測速下分辨率高等特點,其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標準。因此,激光干涉儀普遍應用于數控機床、PCB鉆孔機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質量控制與校準以及科研開發、設備制造等領域。激光干涉儀是以激光波長為長度計量基準的高精度測量儀器,隨著雙頻激光干涉儀的出現,因其具有性能穩定、檢測精度高及數據可靠性好等優點,已成為高精密機械生產中校準及補償的標準儀器,在機械制造、金屬切削加工及航空航天等領域得到了普遍的應用。激光干涉儀是一種高精度位移傳感器。遼寧激光干涉儀設備廠家激光干涉儀在位移傳感器檢定中的應用已成為一大...
激光干涉儀是利用激光作為長度基準,對數控設備(加工中心、三座標測量機等)的位置精度(定位精度、重復定位精度等)、幾何精度(俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等)進行精密測量的精密測量儀器。為通過受激發射線的放射達到光的放大,即激光。大多數現代位移干涉儀都使用氦氛(He-Ne)激光管,這些激光管具有633納米(nm)的波長輸出。激光具有三個重要特性:激光波長非常穩定,可以滿足精密測量的要求。激光波長非常短,可以用于高精度測量。激光具有干涉特性。激光干涉儀可以進行機床振動測試與分析。機床設備激光干涉儀廠家直銷現代激光干涉技術是在人類關于光學的知識的基礎上發展起來的。激光與普通光源相比,具有一些獨特的性質...
激光干涉儀常見故障及解決方法:開機無顯示:1、是否接上電源打開開關。2、顯示器是否切換到BNC模式。視場不完整:1、標準鏡頭是否旋到位。2、標準鏡頭星點是否與尋星窗口中間的黑點重合。高度調節不明顯:檢查高度調節旋鈕是否鎖緊。干涉條紋暗:調節干涉儀上的亮度調節旋鈕。干涉條紋亂:檢查標準鏡頭與被測透鏡表面是否干凈。被測鏡片星點像找不到:調整鏡片的中心,看鏡片是否放置的傾斜。條紋亮暗閃動:調節標準鏡頭的圓形圖像。激光干涉儀要設置專庫存放,環境要求干燥、通風、防震、防霧、防塵、防銹。浙江數控軸幾何參量激光干涉儀維修激光干涉儀發射單一頻率光束,光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡,這兩道光束再反射...
激光干涉儀的使用注意事項:激光干涉儀的使用注意事項激光干涉儀必須定人保管,機加技術組人員專人使用,專人送檢,他人不得隨意動用,以防損壞,降低精度。激光干涉儀必須定人保管,機加技術組人員專人使用,專人送檢,他人不得隨意動用,以防損壞,降低精度。對激光干涉儀要小心輕放,避免強烈的沖擊震動,安置儀器前應檢查三腳架的牢固性,整個作業過程中工作人員不得離開儀器,防止意外發生。激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用,常見的利用分光鏡或者光學直角器,達到改變光路,方便測量的目的。激光干涉儀具有極高的精度和效率,為機床誤差修正提供依據。山東專業激光干涉儀加工設計激光干涉儀有單頻的和的兩種。單頻激光干...
激光干涉儀以其優異的亞納米精度和精密度普遍應用于光學表面的評價,在精密儀器的質量控制與校準以及科研開發、設備制造等領域用途普遍。到激光干涉儀工作原理和一臺干涉儀所應具備的基本組構。激光干涉儀是精度較高的線性位移測量儀器,其光波可以直接對米進行定義,可溯源至國家標準。激光束路徑與被測軸之間存在的任何未準直都會造成測得的距離和實際的運動距離之間有差異,此誤差被稱為余弦誤差。當激光測量系統與運動軸未準直時,余弦誤差會使得測量的距離比實際距離要短。隨著未準直角度的增加,誤差也跟著明顯增加。若光程差有變化時,探測器會在每一次光程變化時,在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號。數控軸垂直度激光干涉儀品...
激光干涉儀的應用:數控機床動態性能檢測。利用RENISHAW動態特性測量與評估軟件,可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析(FFT),滾珠絲杠的動態特性分析,伺服驅動系統的響應特性分析,導軌的動態特性(低速爬行)分析等。雙軸定位精度的檢測及其自動補償雷尼紹雙激光干涉儀系統可同步測量大型龍門移動式數控機床,由雙伺服驅動某一軸向運動的定位精度,而且還能通過RS232接口,自動對兩軸線性誤差分別進行補償。激光波長非常穩定,可以滿足精密測量的要求。激光具有干涉特性。影響激光干涉儀測量精度的因素包括:反射鏡、角錐棱角誤差。滄州數控機床公差激光干涉儀哪個牌子好激光干涉儀常配合筆記本電腦使用,但如果不注意使用...
激光干涉儀引力波探測器的基本光學結構:激光干涉儀引力波探測器是一種大型綜合性實驗裝置,由光學部分、機械部分、信號轉換部分和控制部分等組成。本質上講,它應該是一臺超大型高精度的光學儀器,其光學部分的主體。激光器是激光干涉儀引力波探測器的光源[2],用于引力波探測的干涉儀對光源有如下要求:(1)高輸出功率和好的功率穩定性:激光功率漲落產生的霰彈噪聲是影響激光干涉儀引力波探測器靈敏度的主要噪聲之一。(2)單一的振動頻率和高的頻率穩定性:為使激光干涉儀引力波探測器能夠穩定地鎖定在需要的工作點上,要求激光器輸出的光束具有單一的振動頻率。激光頻率漲落引起的噪聲是影響干涉儀靈敏度嚴重的噪聲之一,我們稱此噪聲...
激光干涉儀在位移傳感器檢定中的應用已成為一大發展趨勢,其特點是測量精度快、反應速度快、易于數字化測量。在測量中設計一個精密導軌,將反射鏡同被測傳感器放在一起同步檢測,從而形成對比,位移傳感器自動檢定系統與HP干涉儀對定位移進行測試對比,得出往復測試實驗結果。激光干涉儀除了可以用來測量長度以外,如果配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。激光干涉儀使用注意事項:在移動儀器時,為防止導軌變形,應托住底座再進行移動。山東高精度測量激光干涉儀定制激光干涉儀引力波探測器要求激光束的橫向剖面具有純凈的TEM00模式,...
激光干涉儀的應用:幾何精度檢測。可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。位置精度的檢測及其自動補償可檢測數控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用激光干涉儀不只能自動測量機器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償,比通常的補償方法節省了大量時間,并且避免了手工計算和手動數控鍵入而引起的操作者誤差,同時可比較大限度地選用被測軸上的補償點數,使機床達到比較佳精度,另外操作者無需具有機床參數及補償方法的知識。激光干涉儀在制造領域應用普遍。數控軸幾何參量激光干涉儀維修激光干涉儀是以激光波長為長度計量基準的高精度測量儀器,隨著雙頻激光干涉儀的出現,因其具有性...
激光干涉儀是以激光波長為長度計量基準的高精度測量儀器,隨著激光干涉儀的出現,因其具有性能穩定、檢測精度高及數據可靠性好等優點,已成為高精密機械生產中校準及補償的標準儀器,在機械制造、金屬切削加工及航空航天等領域得到了普遍的應用。激光干涉儀有單頻和之分,單頻激光干涉儀受環境因素影響較大,一般用于特定環境的實驗室。激光干涉儀應用頻率變化來測量位移,對由光強變化引起的直流電平變化不敏感,抗干擾能力強,普遍應用于各種工況下。激光干涉儀使用注意事項:儀器的光學零件在不用時,應在清潔干燥的器皿中進行存放,以防止發霉。數控軸幾何參量激光干涉儀品牌哪家好在激光干涉儀引力波探測器運行過程中,需要使用光杠桿對測試...
激光干涉儀的注意事項:儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環境中應用。在移動儀器時,為防止導軌變形,應托住底座再進行移動。儀器的光學零件在不用時,應在清潔干燥的器皿中進行存放,以防止發霉。盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等,如必須擦拭則應當小心擦拭,利用科學的方法進行清潔。導軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件,應當保持良好的潤滑。因此必要時要使用精密儀表油潤滑。在使用時應避免強旋、硬扳等情況,合理恰當的調整部件。避免劃傷或腐蝕導軌面絲桿,保持其不失油。激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種方式。河南顯微式激光干涉儀激光平面干涉儀產品簡介:1、防震性能好、有極好的條紋鎖定度、視場清晰、生產場所可用性較優...
激光干涉儀的應用:1、幾何精度檢測可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。2、器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償,比通常的補償方法節省了大量時間,并且避免了手工計算和手動數控鍵入而引起的操作者誤差,同時可蕞大限度地選用被測軸上的補償點數,使機床達到蕞佳精度,另外操作者無需具有機床參數及補償方法的知識。3、數控轉臺分度精度的檢測及其自動補償現在,利用ML10激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置,以任意角度間隔進行全自動測量,其精度達±1。比傳統用自準直儀和多面體的方法不只節約了大量的測量時間,而且還得到完整的回轉軸精...
激光干涉儀引力波探測器要求激光束的橫向剖面具有純凈的TEM00模式,即應該是基模厄米-高斯模式。因為高階模式與干涉儀的不對稱性相耦合,會使輸出信號的對比度變差,而且高階模式會使法布里-珀羅腔鏡子表面光強分布改變,產生附加的熱噪聲。高階模式的振幅是不穩定的,它會使鏡子不同部位受到的輻射壓力發生變化,產生附加的輻射壓力噪聲,嚴重時會使鏡子抖動引起干涉儀鎖定狀態的不穩定。通過清模器可以清理高階橫向模式,清模器的主體部分是一個具有較高透射率的行波諧振腔,常采用由三面光學鏡組成的銳三角形結構,其優點是清模效果好,光束抖動噪聲小,能選擇偏振形式,具有高的頻率穩定性,沒有光從清模器返回激光器。合理設計三面鏡...
激光干涉儀輔助工具的選擇:雖然激光干涉儀安裝組件比較齊全,但在實際使用過程中還是需要另外配置一些輔助工具:①研制低高度云臺支架;部分機床工作臺高度與地面是基本相平的,那么測量Z軸時,如果使用激光干涉儀原裝三角架及云臺安放激光器于地面,則肯定會因為三角架本身的高度,損失測量范圍。②選擇磁性表座;磁性表座是激光干涉儀常用的輔助工具,選擇時需要注意,表座工作面上需有螺孔以配合安裝鏡組安裝桿,主磁性吸面位于底面和側面的表座各選擇兩個(實驗室或工廠多采用的是主磁性吸面位于底面的表座),在測量時,往往側面吸的表座更利于激光干涉儀鏡組的安裝。激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通...
激光干涉儀具有有線性測量鏡組、角度測量鏡組、平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準直輔助鏡等等,實際使用中,有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用,以滿足測量需要。比如角度測量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測量鏡組中的反射鏡;激光器準直輔助鏡的使用可以減少準直調整的時間。同時,激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用,常見的利用分光鏡或者光學直角器,達到改變光路,方便測量的目的。這需要,了解設備性能、掌握測量技巧,在滿足測量準確度的前提下活學活用。激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度進行測量。河北工業級激光干涉儀激光干涉儀的注意事項:儀...
在激光干涉儀引力波探測器中要盡可能地使用高激光功率,使用功率循環技術。可以有效地做到這一點,其基本的想法是把從干涉儀亮出來的光重新收集起來,再注入干涉儀中,進行循環利用。因為激光干涉儀引力波探測器的工作點選擇在暗紋條件,如果干涉儀內的光損耗很小,幾乎所有的入射光功率都會經載頻出,這是極大的浪費。在激光器和分光鏡之間放上一面鏡子,就能實現光能的回收。這面鏡子稱為功率循環鏡,它把這部分漏出的光與從激光器來的新鮮光混合,一起注入到干涉儀內,則干涉儀內的有效功率將增加。激光干涉儀具有極高的精度和效率,為機床誤差修正提供依據。成都激光干涉儀求購激光干涉儀:誤差影響精確度:大氣折射率。激光頻率穩定性:在激...
激光干涉儀以光波為載體,具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、比較高測速下分辨率高等特點,其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標準。因此,激光干涉儀普遍應用于數控機床、PCB鉆孔機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質量控制與校準以及科研開發、設備制造等領域。激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。若光程差有變化時,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。激光干涉儀發射單一頻率光束,光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,比較后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差有變化時,探測器會在每一次光程變化時,在相長性和相消性干涉的兩極之間找...