激光干涉儀具有有線性測量鏡組、角度測量鏡組、平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準直輔助鏡等等，實際使用中，有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用，以滿足測量需要。比如角度測量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測量鏡組中的反射鏡;激光器準直輔助鏡的使用可以減少準直調整的時間。同時，激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用，常見的利用分光鏡或者光學直角器，達到改變光路，方便測量的目的。這需要，了解設備性能、掌握測量技巧，在滿足測量準確度的前提下活學活用。激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度進行測量。河北工業(yè)級激光干涉儀

激光干涉儀的注意事項：儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應用。在移動儀器時，為防止導軌變形，應托住底座再進行移動。儀器的光學零件在不用時，應在清潔干燥的器皿中進行存放，以防止發(fā)霉。盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應當小心擦拭，利用科學的方法進行清潔。導軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件，應當保持良好的潤滑。因此必要時要使用精密儀表油潤滑。在使用時應避免強旋、硬扳等情況，合理恰當?shù)恼{整部件。避免劃傷或腐蝕導軌面絲桿，保持其不失油。河北工業(yè)級激光干涉儀激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器。

數(shù)控機床維修是一項集計算機、自動控制、自動檢測和電機拖動等于一體的技術，需要數(shù)控機床維修人員掌握大量的專業(yè)知識和豐富的數(shù)控機床維修經驗。因此，在日常數(shù)控機床維修中，如何盡快的找到故障原因并排除故障，提高設備完好率，是數(shù)控機床維修人員的首要任務。當出現(xiàn)機床精度異常、零件表面質量變差等問題時，就需要借助一些先進的精度檢測儀器。激光干涉儀作為數(shù)控機床精度常用的檢測工具，能對數(shù)控機床進行線性測量、直線度測量、平面度測量、角度測量、回轉軸分度精度等進行測量。

激光干涉儀是激光在計量領域中比較成功的應用之一。利用光的干涉實現(xiàn)測量，具有非接觸、無損檢測的特點，已經在各個不同領域得到普遍的應用。現(xiàn)代激光干涉技術是在人類關于光學的幾乎全部知識的基礎上發(fā)展起來的。激光與普通光源相比，具有一些獨特的性質：單色性好、相干性好、方向性強、亮度高。激光干涉儀是以激光波長為已知長度，利用邁克爾遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量，普遍應用于各領域，已經成為人類認知世界的重要工具。由于激光具有極好的時間相干性，自問世以來，已研制出多種激光干涉儀：單頻激光干涉儀、激光干涉儀、半導體激光干涉儀、法布里-珀羅（f-p）干涉儀、x射線干涉儀等。激光干涉儀作為精密工具機或測量儀器的校正工作。

激光干涉儀在實際使用中，需要確認其在各個測量應用中能夠達到的真實精度水平以確保測量數(shù)據(jù)準確可靠。激光干涉儀的測量讀數(shù)Z終均與激光波長有關，因此激光器頻率的準確性和穩(wěn)定性是激光干涉儀測量精度的保障。此外，激光干涉儀的環(huán)境條件補償系統(tǒng)(壓力、溫濕度傳感器)的讀數(shù)準確性對Z終的測量精度有著重要的影響。總結起來，影響激光干涉儀測量精度的因素包括：①激光器頻率(波長)及頻率穩(wěn)定性;②測量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來的誤差;③反射鏡、角錐棱角誤差;④溫濕度、壓力傳感器誤差;當然，在具體測量任務中的測量精度還與測量人員、現(xiàn)場環(huán)境條件等因素有關。激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。河北工業(yè)級激光干涉儀

激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種方式。河北工業(yè)級激光干涉儀

激光干涉儀的應用：數(shù)控轉臺分度精度的檢測及其自動補償現(xiàn)在，利用激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置，以任意角度間隔進行全自動測量，其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術。它比傳統(tǒng)用自準直儀和多面體的方法不只節(jié)約了大量的測量時間，而且還得到完整的回轉軸精度曲線，知曉其精度的每一細節(jié)，并給出按相關標準處理的統(tǒng)計結果。雙軸定位精度的檢測及其自動補償。激光干涉儀系統(tǒng)可同步測量大型龍門移動式數(shù)控機床，由雙伺服驅動某一軸向運動的定位精度，而且還能通過RS232接口，自動對兩軸線性誤差分別進行補償。河北工業(yè)級激光干涉儀