激光干涉儀主要是做什么的呢?主要有哪些應用呢?可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,滿足機床誤差修正的要求。具有實現線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能。可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等;同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并可以校準機床的回轉軸。內置國內外通用的標準。可依據各種不同的機床標準分析處理數據,并可打印相應的曲線圖和數據報告。激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快。工業激光干涉儀維修數控機床設備在維修維保或機床設備大修之后,使用雷尼紹XL-80激光干涉儀來實現線性數控軸直線度、垂直度、平行度、平面度...
激光干涉儀主要是做什么的呢?主要有哪些應用呢?可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,滿足機床誤差修正的要求。具有實現線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能。可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等;同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并可以校準機床的回轉軸。內置國內外通用的標準。可依據各種不同的機床標準分析處理數據,并可打印相應的曲線圖和數據報告。激光干涉儀的測量讀數均與激光波長有關。英國激光干涉儀設計激光干涉儀常見故障及解決方法:開機無顯示:1、是否接上電源打開開關。2、顯示器是否切換到BNC模式。視場不完整:1、標準鏡...
激光干涉儀是激光在計量領域中比較成功的應用之一。利用光的干涉實現測量,具有非接觸、無損檢測的特點,已經在各個不同領域得到普遍的應用。現代激光干涉技術是在人類關于光學的幾乎全部知識的基礎上發展起來的。激光與普通光源相比,具有一些獨特的性質:單色性好、相干性好、方向性強、亮度高。激光干涉儀是以激光波長為已知長度,利用邁克爾遜干涉系統測量位移的通用長度測量,普遍應用于各領域,已經成為人類認知世界的重要工具。由于激光具有極好的時間相干性,自問世以來,已研制出多種激光干涉儀:單頻激光干涉儀、激光干涉儀、半導體激光干涉儀、法布里-珀羅(f-p)干涉儀、x射線干涉儀等。激光干涉儀的應用:數控機床動態的性能檢...
數控機床設備在維修維保或機床設備大修之后,使用雷尼紹XL-80激光干涉儀來實現線性數控軸直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量,把檢測的數據值通過數控系統參數補償進入數控系統,利用數控系統消除數控軸的正常磨損誤差,利用球桿儀檢測數控軸聯動加工的真圓度,不但可以提高相關聯的幾個數控軸聯動加工的精度等級,還保證了數控軸的精度、延長數控軸的壽命。保證數控機床更高的定位精度、更小的公差及更高的進給率。它是一種精密測量儀器,對數控機床設備進行精度的再校準。雷尼紹激光干涉儀為機床檢定提供一種高精度標準,它具備自動線性誤差補償功能,可以方便恢復機床精度。激光干涉儀是檢定數控機床、坐標測量機位置...
激光干涉儀在數控機床檢定中的應用:隨著數控機床應用的普及,采用激光干涉儀對數控機床進行定位精度檢測已經成為目前公認的高效、高精度的檢測方法。激光干涉儀可用于精密機床、大規模集成電路加工設備等在線位置測量、誤差修正和控制,其中激光干涉儀應用比較多。與傳統的檢定方法相比,激光干涉儀具有較高的精度和效率,并能及時處理數據,為機床誤差修正提供依據,位置精度是機床的重要指標,目前各國機床檢定標準中都推薦使用激光干涉儀。激光干涉儀在機床中的應用是其它傳統測量手段難以實現和替代的。激光干涉儀是一種高精度位移傳感器。安徽激光干涉儀廠家有哪些Z軸激光光路快速準直方法具體調整方法如下:Z軸置于低處,利用激光器外殼...
激光干涉儀初步調整后,它的固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶,通過“整體”調整精確瞄準光靶后,取下分光鏡光靶,將Z軸升高,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度,同時透過“尾部”調整使激光對準反光鏡光靶,若在此過程中因“尾部”的調整導致分光鏡遮擋了部分激光,則將Z軸停止上升回到起始處,重新調整“整體”,再次對準反射鏡光靶。緊接著再升Z軸,繼續調整“尾部”,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度。重復整個過程,往往幾次即可達到準直要求。激光干涉儀選擇哪個牌子比較好?廣東工業級激光干涉儀設備廠家激光干涉儀具有有線性測量鏡組、角度測量鏡組、平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準直輔助鏡等等,實際使用中...
影響激光干涉儀測量精度的因素包括:①激光器頻率(波長)及頻率穩定性;②測量讀數軟件系統帶來的誤差;③反射鏡、角錐棱角誤差;④溫濕度、壓力傳感器誤差;當然,在具體測量任務中的測量精度還與測量人員、現場環境條件等因素有關。激光干涉儀在實際使用中,需要確認其在各個測量應用中能夠達到的真實精度水平以確保測量數據準確可靠。激光干涉儀的測量讀數Z終均與激光波長有關,因此激光器頻率的準確性和穩定性是激光干涉儀測量精度的保障。此外,激光干涉儀的環境條件補償系統(壓力、溫濕度傳感器)的讀數準確性對Z終的測量精度有著重要的影響。影響激光干涉儀測量精度的因素包括:溫濕度、壓力傳感器誤差。鄭州激光干涉儀價格激光干涉儀...
現代激光干涉技術是在人類關于光學的知識的基礎上發展起來的。激光與普通光源相比,具有一些獨特的性質:單色性好、相干性好、方向性強、亮度高。激光干涉儀是以激光波長為已知長度,利用邁克爾遜干涉系統測量位移的通用長度測量,普遍應用于各領域,已經成為人類認知世界的重要工具。由于激光具有極好的時間相干性,自問世以來,已研制出多種激光干涉儀:單頻激光干涉儀、激光干涉儀、半導體激光干涉儀、法布里-珀羅(f-p)干涉儀、x射線干涉儀等。激光干涉儀是激光在計量領域中比較成功的應用之一。利用光的干涉實現測量,具有非接觸、無損檢測的特點,已經在各個不同領域得到普遍的應用。激光干涉儀要設置專庫存放,環境要求干燥、通風、...
激光干涉儀主要是做什么的呢?主要有哪些應用呢?可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,滿足機床誤差修正的要求。具有實現線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能。可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等;同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并可以校準機床的回轉軸。內置國內外通用的標準。可依據各種不同的機床標準分析處理數據,并可打印相應的曲線圖和數據報告。激光干涉儀的應用:數控機床動態性能檢測。濟南數控設備定位精度激光干涉儀設備廠家激光干涉儀的使用方法:透鏡面形檢測:調節沉座到被檢透鏡的適合尺寸,(建議大批量固定透鏡的檢測,自己加...
激光干涉儀以干涉技術為關鍵,其光波可直接對米進行定義。可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;具有動態測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等;支持手動或自動進行環境補償。軟件強:友好的人機界面;豐富的應用功能模塊;向導式的操作流程;簡潔化的記錄管理;支持中文、英文和俄文界面;支持企業專屬模板定制。激光干涉儀具有有平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準直輔助鏡等等。數控設備定位精度激光干涉儀廠家激光干涉儀使用環境:因為光學玻璃受熱變形將產生光學表面光圈的變...
激光干涉儀輔助工具的選擇:雖然激光干涉儀安裝組件比較齊全,但在實際使用過程中還是需要另外配置一些輔助工具:①研制低高度云臺支架;部分機床工作臺高度與地面是基本相平的,那么測量Z軸時,如果使用激光干涉儀原裝三角架及云臺安放激光器于地面,則肯定會因為三角架本身的高度,損失測量范圍。②選擇磁性表座;磁性表座是激光干涉儀常用的輔助工具,選擇時需要注意,表座工作面上需有螺孔以配合安裝鏡組安裝桿,主磁性吸面位于底面和側面的表座各選擇兩個(實驗室或工廠多采用的是主磁性吸面位于底面的表座),在測量時,往往側面吸的表座更利于激光干涉儀鏡組的安裝。激光干涉儀在機床中的應用是其它傳統測量手段難以實現和替代的。鄭州進...
數控機床的傳動機構一般是滾珠絲桿副,滾珠絲桿副在生產制造和裝配過程中都存在一定誤差,且長期使用造成的磨損等因素都會使其精度下降,當前為有效且普遍應用的方法是利用激光干涉儀對數控機床進行螺距誤差補償。數控機床機械誤差補償包含記憶式相對位置補償(值)與記憶式螺距誤差補償(增量值)兩種,三菱和法那科系統就是增量值補償的表示之一。當采用激光干涉儀進行增量值補償時,會遇到數據怎么對應補償點位置的問題。機床系統種類繁多,正逐步向自動補償邁進。激光干涉儀的測量讀數均與激光波長有關。遼寧機床誤差修正激光干涉儀供應商當高壓連接在陽極和陰極之間時,混合氣體被激發,形成激光光束,通過放大激光光強使一些光透射出來成為...
激光干涉儀引力波探測器對光學鏡的要求:(1)體積和重量;激光干涉儀引力波探測器的臂長一般為千米量級,由于光束傳播過程中的發散,光斑變大。為了避免邊緣效應光學鏡的直徑都比較大,如LIGO鏡子的直徑是25cm。由于輻射壓力噪聲與鏡子的質量成反比,為了降低這種噪聲提高它的靈敏度,鏡子的質量一般為20kg左右。(2)熱傳導及熱噪聲;當激光干涉儀引力波探測器運行時,臂上法布里-珀羅腔內的激光功率非常強,例如高級LIGO達到800kW以上,因此,鏡子要有很好的散熱性,而且鏡子內部不能有結構上的缺陷。為減小由于局部發熱而產生的熱噪聲和避免鏡面的熱損傷,鏡子材料一般為熔硅。激光干涉儀可以進驅動系統的響應特性分...
激光干涉儀當高壓連接在陽極和陰極之間時,混合氣體被激發,形成激光光束,通過放大激光光強使一些光透射出來成為輸出激光光束。其中,為實現平衡狀態,通過加熱器控制激光管長度讓激光穩頻的精度保持在±0.05ppm以內,此時穩定輸出后,激光器即可進行干涉測量。如今大多數現代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管,這些激光管具有633納米的波長輸出。激光器的頻率、功率、穩定性、可靠性、光束質量及壽命等指標參數,都關系著激光干涉儀的Z終性能。其中激光頻率是激光干涉儀Z基本的參數,其頻率(波長)的準確性和穩定性是激光干涉儀測量精度的保證。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。鄭州精密儀器激光干涉儀報價激...
激光干涉儀是激光的應用之一,它以激光波長為已知長度,利用邁克爾遜干涉系統測量位移的通用長度測量。激光干涉儀除了可以用來測量長度以外,如果配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。未來,激光干涉儀可從光源、探測器、信號處理系統、光學系統等方面進行發展,從測量數據的可靠性、精確性,以及測量儀器的便攜性等,不斷改善激光干涉儀的各項性能。激光干涉儀要設置專庫存放,環境要求干燥、通風、防震、防霧、防塵、防銹。英國激光干涉儀采購激光干涉儀的應用:1、幾何精度檢測可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。2...
激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器。激光干涉儀是檢定數控機床、坐標測量機位置精度的理想工具,可按照規定標準處理測量數據并輸出誤差曲線,為數控機床的誤差修正提供可靠依據,現場使用尤為方便。激光干涉儀配有各種附件,可測量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差。激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器,可直接用于高精度、大尺寸的動態位移測量系統。激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應同步器等精密測量元件的檢測和刻劃功能,可按預定的間距自動完成檢測和刻劃定位。影響激光干涉儀測量精度的因素包括:反射鏡、角錐棱角誤差。深圳科研開發激光干涉儀訂購激光干涉儀是以激光波長為長度計量基準的高精度測量儀器,隨...
激光干涉儀;光的干涉:光具有波粒二象性。兩列或幾列光波在空間相遇時相互迭加,在某些區域始終加強,在另一些區域則始終削弱,形成穩定的強弱分布的現象。產生穩定干涉的條件:只有兩列光波的頻率相同,位相差恒定,振動方向一致的相干光源,才能產生光的穩定干涉。由兩個普通獨特光源發出的光,不可能具有相同的頻率,更不可能存在固定的相差,因此,不能產生穩定干涉現象。若光的振幅相等:相位角相同時,復合光強為原先的2倍,產生明條紋。當相位角相差180o(半個波長)時,復合光強為0,產生暗條紋。激光干涉儀原理:激光器發射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束。數控校準激光干涉儀品牌哪家好隨著數控機床應用的普及,...
激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。激光具有強度較高、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。目前常用來測量長度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,激光干涉儀并以穩頻氦氖激光為光源,構成一個具有干涉作用的測量系統。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種方式。長沙雷尼紹XL-80激光干涉儀供應廠家利用激光干涉儀的線性測長功能,不但能夠測量出數控機床的定位精度、重復定位精度和反向間隙等數據并對精度進行補償。還能...
激光干涉儀使用技巧;Z軸激光光路快速準直方法:用激光干涉儀進行線性測量時,Z軸測量時激光光路的準直相對X、Y軸準直來說,要困難的多。尤其是在Z軸距離較長的情況下,要保證激光光束經反射鏡反射后回到激先探測器的強度滿足測量對對光強的要求,準直激光光路往往需要很長時間。Z軸激光光路快速準直方法具體調整方法如下:Z軸置于低處,利用激光器外殼中部的瞄準槽,正對Z軸放置分光鏡,左右移開Z軸,觀察激光光路,保證激光轉向后大致平行于Z軸,左右移回Z軸放置線性反射鏡及光靶(可以蓋在反射或分光鏡上以幫助入眼瞄準及控制光路的靶),激光打在反射鏡光靶上。激光干涉儀使用注意事項:儀器的光學零件在不用時,應在清潔干燥的器...
激光干涉儀的應用:1、幾何精度檢測可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。2、器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償,比通常的補償方法節省了大量時間,并且避免了手工計算和手動數控鍵入而引起的操作者誤差,同時可蕞大限度地選用被測軸上的補償點數,使機床達到蕞佳精度,另外操作者無需具有機床參數及補償方法的知識。3、數控轉臺分度精度的檢測及其自動補償現在,利用ML10激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置,以任意角度間隔進行全自動測量,其精度達±1。比傳統用自準直儀和多面體的方法不只節約了大量的測量時間,而且還得到完整的回轉軸精...
激光干涉儀作為數控機床精度常用的檢測工具,能對數控機床進行線性測量、直線度測量、平面度測量、角度測量、回轉軸分度精度等進行測量。其中線性測量功能通過機床運行一段直線插補程序,能檢測線性坐標軸的定位精度、重復定位精度,反向間隙等其線性測長精度可達到±0.5ppm(0~40℃),線性測量長可以達到80m,較高線性測長分辨率0.001μm,較高測量速度240m/min。對于不同的數控機床,檢測的曲線各不相同,其完善的軟件功能通過對不同的曲線進行分析,能夠將影響機床精度的原因列出來,數控機床維修人員能夠很直觀通過分析圖形和數據,了解到機床在哪些方面存在誤差,這樣就為調整和數控機床維修提供了充分的數據支...
激光具有高的強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。目前常用來測量長度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,并以穩頻氦氖激光為光源,構成一個具有干涉作用的測量系統。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。以激光波長為已知長度利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量.工具激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。激光干涉儀在實際使用中,需要確認其在各個測量應用中能夠達到的真實精度水平以確保測量數據準確可靠。湖南激光干涉儀值得推薦激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件,可根據具體測量需求而選...
單頻激光干涉儀:從激光器發出的光束,經擴束準直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時,干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號,經整形、放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數,再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數),算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時,要求周圍大氣處于穩定狀態,各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。激光干涉儀使用注意事項:必要時要使用精密儀表油潤滑。鄭州激光干涉儀訂購激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體,產品采用進口高性能氦...
激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器。激光干涉儀是檢定數控機床、坐標測量機位置精度的理想工具,可按照規定標準處理測量數據并輸出誤差曲線,為數控機床的誤差修正提供可靠依據,現場使用尤為方便。激光干涉儀配有各種附件,可測量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差。激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器,可直接用于高精度、大尺寸的動態位移測量系統。激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應同步器等精密測量元件的檢測和刻劃功能,可按預定的間距自動完成檢測和刻劃定位。激光干涉儀可實現線性位移、角度和直線度的動態測量。四川激光干涉儀激光干涉儀發射單一頻率光束,光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡,這...
激光干涉儀發射單一頻率光束,光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,比較后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒有變化時,激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。若光程差有變化時,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。當高壓連接在陽極和陰極之間時,混合氣體被激發,形成激光光束,通過放大激光光強使一些光透射出來成為輸出激光光束。其中,為實現平衡狀態,通過加熱器控制激光管長度讓激光穩頻的精度保持在±0.05ppm以內,此時穩定輸出后,激光器即可進行干涉測量。如今大多數現代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管,這些激光管具有633納米的波長...
激光干涉儀引力波探測器要求激光束的橫向剖面具有純凈的TEM00模式,即應該是基模厄米-高斯模式。因為高階模式與干涉儀的不對稱性相耦合,會使輸出信號的對比度變差,而且高階模式會使法布里-珀羅腔鏡子表面光強分布改變,產生附加的熱噪聲。高階模式的振幅是不穩定的,它會使鏡子不同部位受到的輻射壓力發生變化,產生附加的輻射壓力噪聲,嚴重時會使鏡子抖動引起干涉儀鎖定狀態的不穩定。通過清模器可以清理高階橫向模式,清模器的主體部分是一個具有較高透射率的行波諧振腔,常采用由三面光學鏡組成的銳三角形結構,其優點是清模效果好,光束抖動噪聲小,能選擇偏振形式,具有高的頻率穩定性,沒有光從清模器返回激光器。合理設計三面鏡...
激光干涉儀;光的干涉:光具有波粒二象性。兩列或幾列光波在空間相遇時相互迭加,在某些區域始終加強,在另一些區域則始終削弱,形成穩定的強弱分布的現象。產生穩定干涉的條件:只有兩列光波的頻率相同,位相差恒定,振動方向一致的相干光源,才能產生光的穩定干涉。由兩個普通獨特光源發出的光,不可能具有相同的頻率,更不可能存在固定的相差,因此,不能產生穩定干涉現象。若光的振幅相等:相位角相同時,復合光強為原先的2倍,產生明條紋。當相位角相差180o(半個波長)時,復合光強為0,產生暗條紋。激光干涉儀使用注意事項:如必須擦拭則應當小心擦拭,利用科學的方法進行清潔。湖南精密激光干涉儀廠家供應利用激光干涉儀的線性測長...
激光干涉儀系統具有豐富的模塊化組件,可根據具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺。其中,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。激光器發射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡。激光干涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角等。北京激光干涉儀價格激光干涉儀的測量精...
在激光干涉儀引力波探測器中要盡可能地使用高激光功率,使用功率循環技術。可以有效地做到這一點,其基本的想法是把從干涉儀亮出來的光重新收集起來,再注入干涉儀中,進行循環利用。因為激光干涉儀引力波探測器的工作點選擇在暗紋條件,如果干涉儀內的光損耗很小,幾乎所有的入射光功率都會經載頻出,這是極大的浪費。在激光器和分光鏡之間放上一面鏡子,就能實現光能的回收。這面鏡子稱為功率循環鏡,它把這部分漏出的光與從激光器來的新鮮光混合,一起注入到干涉儀內,則干涉儀內的有效功率將增加。激光干涉儀的測量精度高。浙江英國激光干涉儀購買激光干涉儀在立式配置下,樣品的放置,夾持和調整更方便,提高了測試效率。立式架構整機占地更...
激光干涉儀是激光在計量領域中比較成功的應用之一。利用光的干涉實現測量,具有非接觸、無損檢測的特點,已經在各個不同領域得到普遍的應用。現代激光干涉技術是在人類關于光學的幾乎全部知識的基礎上發展起來的。激光與普通光源相比,具有一些獨特的性質:單色性好、相干性好、方向性強、亮度高。激光干涉儀是以激光波長為已知長度,利用邁克爾遜干涉系統測量位移的通用長度測量,普遍應用于各領域,已經成為人類認知世界的重要工具。由于激光具有極好的時間相干性,自問世以來,已研制出多種激光干涉儀:單頻激光干涉儀、激光干涉儀、半導體激光干涉儀、法布里-珀羅(f-p)干涉儀、x射線干涉儀等。激光干涉儀使用注意事項:儀器應放置在干...