1965年劃揭陽縣西部及陸豐縣部分地區分置揭西縣，因在揭陽縣西得名。秦為古揭陽地。東晉咸和六年（311）為東官郡海陽縣地，義熙九年（413）為義安郡海陽縣地。隋開皇十一年（591）為潮州義安縣（后再改海陽縣）地。北宋宣和三年（1121）為潮州揭陽縣地。南宋紹興二～八年（1132—1138），曾隨揭陽縣并入海陽縣。元至元十六年（1350）為潮州路揭陽縣地。明洪武二年（1359）為潮州府揭陽縣地。

1914年隨揭陽縣隸屬于潮循道，1925年隸屬于東江行政委員會。1928年隸屬于東江善后委員公署。1932年隸屬東區綏晉委員公署。1936年7月隸屬廣東省第五區行政督察專員公署等。1948年中國共產黨領導人民反抗國民黨政府腐敗統治，在這里建立根據地，1949年7月潮梅人民行政委員會在這里成立。10月，中華人民共和國成立，隨揭陽縣隸屬潮汕專員公署。

1965年7月，經國務院全體會議第157次會議決定：以揭陽縣的良田、河婆，坪上、龍潭、灰寨、五經富、京溪園、錢坑、金和、塔頭、東園、鳳江等12個公社和棉湖鎮；陸豐縣的上砂、五云公社共14個公社和1個鎮建置揭西縣，成立揭西縣人民政府，隸屬汕頭地區專員公署。1968年2月成立揭西縣革命委員會，隸屬汕頭地區革命委員會。1980年9月，恢復揭西縣人民政府建制，隸屬汕頭地區行政公署。1983年12月隸屬汕頭市。1991年12月改由新成立的地級揭陽市管轄。

1975年2月，劃普寧縣的貢山、湖西和四鄉等3個生產大隊歸揭西縣管轄。1986年12月，撤區建制改鄉鎮建制；由五云鎮劃出嶺新、保新、陂蘇、寶石、崠坑等5個村增設下砂鄉。

1996年末，揭西縣總面積1352.3406平方千米（本年土地資源詳查數據），總人口78.65萬人，轄16個鎮、4個鄉：河婆鎮、棉湖鎮、上砂鎮、五云鎮、坪上鎮、龍潭鎮、南山鎮、灰寨鎮、東園鎮、大溪鎮、錢坑鎮、金和鎮、鳳江鎮、塔頭鎮、京溪園鎮、五經富鎮、下砂鄉、良田鄉、西田鄉、大洋鄉。共有32個居委會、279個管理區，1629個村民小組。

2000年第五次全國人口普查，揭西縣總人口716789人，其中：河婆鎮96781人、棉湖鎮90706人、鳳江鎮62843人、金和鎮58711人、五經富鎮34618人、上砂鎮38115人、京溪園鎮38210人、塔頭鎮36117人、五云鎮35687人、錢坑鎮37322人、灰寨鎮31105人、坪上鎮26203人、龍潭鎮29022人、東園鎮27801人、南山鎮24798人、大溪鎮21976人、良田鄉9419人、下砂鄉9257人、西田鄉4541人、大洋鄉3557人。

2003年，撤銷下砂鄉，將其行政區域并入五云鎮；撤銷大洋鄉，將其行政區域并入五經富鎮；撤銷西田鄉，將其行政區域并入良田鄉。至此，揭西縣轄河婆、龍潭、南山、灰寨、塔頭、東園、鳳江、棉湖、金和、大溪、錢坑、坪上、五云、上砂、五經富、京溪園16個鎮和良田1個鄉。

2006年2月6日，廣東省民政廳（粵民區[2006]3號）批準：撤銷河婆鎮，設立河婆街道。

2009年末，揭西縣面積1365平方千米，轄1個街道、15個鎮、1個鄉，38個社區、280個行政村。縣政府駐河婆街道霖都大道52號。

2010年第六次人口普查，揭西縣常住總人口825727人，其中：河婆街道121221人，龍潭鎮32795人，南山鎮30733人，五經富鎮49087人，京溪園鎮42250人，灰寨鎮36286人，塔頭鎮42959人，東園鎮32980人，鳳江鎮69127人，棉湖鎮99769人，金和鎮65062人，大溪鎮23102人，錢坑鎮39381人，坪上鎮36140人，五云鎮47669人，上砂鎮44871人，良田鄉11731人，北山農林場196人，果林場94人，油桐林場75人，高田農場104人，河輋農場25人，縣苗圃場70人。

2012年末，揭西縣面積1346.53平方千米。戶籍人口97.99萬人，常住人口83.64萬人。轄1個街道、15個鎮、1個鄉。