賽瑞達智能電子裝備（無錫）有限公司2025-06-17

離子注入會造成晶圓晶格損傷，需通過退火修復。管式爐采用快速熱退火（RTA）技術，利用鹵素燈或激光加熱，升溫速率可達 100℃/s，在 1100℃高溫下短時間（數秒）處理，激其活摻雜離子（如硼、磷），同時減少雜質擴散。為避免氧化，爐內通入高純氮氣或氬氣，部分工藝還會加入微量氫氣鈍化缺陷。精確的溫度控制和短熱預算，能有效提升晶體管的載流子遷移率和開關速度。

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