超聲掃描顯微鏡（Scanning Acoustic Microscope）簡稱超聲SAM，是用于工業材料的無損檢測儀器設備。原理主要是利用超聲在不同介質中的聲學傳播特性，通過超聲換能器掃描接收到的超聲波幅值、相位等參數，來確定缺陷所在的位置、大小和缺陷類型。超聲SAM相較于其他無損檢測方式，在檢測精度和成像掃描方式占有很大優勢，特別是在材料內部分層檢測中脫穎而出。隨著計算機的快速發展，超聲掃描顯微鏡的信號采集頻率和掃描精度都有很大提升。因此，在半導體封裝集成電路中，像晶圓Water鍵合缺陷、大功率電子IGBT，金屬焊接質量等問題，都會使用這種高頻超聲顯微鏡設備來檢測。

超聲掃描顯微鏡（Scanning Acoustic Microscope, SAM）的掃描方式是決定其檢測能力和應用場景的專項因素。根據聲束發射與接收方式的不同，主要分為以下幾種類型：脈沖回波法（Pulse-Echo Mode）；穿透法（Through-Transmission Mode）；C掃描（C-Scan）；B掃描（B-Scan）；相控陣掃描（Phased Array）；共聚焦掃描（Confocal Scanning）......選擇建議： 單面檢測：優先選擇脈沖回波法或相控陣掃描。 雙面檢測：穿透法更合適。 高精度需求：共聚焦掃描是優先。 快速在線檢測：相控陣掃描效率比較高。 通過結合多種掃描方式，超聲掃描顯微鏡可滿足從微米級到宏觀尺度的全場景檢測需求。