如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中宣泄孔的孔徑小于3毫米(millimeter,mm)。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中宣泄孔為千鳥排列或矩陣排列等其中的一種排列方式。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中宣泄孔為直通孔或斜錐孔等其中的一種態(tài)樣或兩者的混合。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中宣泄孔具有一***壁面,以及一第二壁面,且第二擋板具有一下表面,當(dāng)宣泄孔為斜錐孔態(tài)樣時,***壁面與下表面的***夾角不同于第二壁面與下表面的第二夾角。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中當(dāng)宣泄孔為斜錐孔態(tài)樣時,宣泄孔的上孔徑與下孔徑不相等。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中當(dāng)宣泄孔為斜錐孔態(tài)樣時,宣泄孔的上孔徑小于下孔徑。如上所述的擋液板結(jié)構(gòu),其中當(dāng)宣泄孔為斜錐孔態(tài)樣時,宣泄孔由第二擋板的下表面朝向上表面的方向漸縮。此外,為了達到上述的實施目的,本實用新型另提出一種蝕刻設(shè)備,設(shè)置于一濕式蝕刻機的一槽體內(nèi),蝕刻設(shè)備至少包括有一如上所述的擋液板結(jié)構(gòu)、一基板、一輸送裝置,以及一風(fēng)刀裝置;基板設(shè)置于擋液板結(jié)構(gòu)的下方;輸送裝置設(shè)置于基板的下方,輸送裝置包括有至少一滾輪,其中滾輪與基板接觸以運行基板;風(fēng)刀裝置設(shè)置于擋液板結(jié)構(gòu)的一端部,風(fēng)刀裝置包括有一設(shè)置于基板上方的***風(fēng)刀。蝕刻液的怎么找到好的廠家;安慶京東方用的蝕刻液蝕刻液推薦廠家
本發(fā)明涉及一種用來在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦的蝕刻液及使用該蝕刻液的蝕刻方法。背景技術(shù):以往,在蝕刻鈦時一直使用含有氫氟酸或過氧化氫的蝕刻液。例如專利文獻1中提出了一種鈦的蝕刻液,該鈦的蝕刻液是用來在銅或鋁的存在下蝕刻鈦,并且該蝕刻液的特征在于:利用由10重量%至40重量%的過氧化氫、%至5重量%的磷酸、%至%的膦酸系化合物及氨所構(gòu)成的水溶液將pH值調(diào)整為7至9。但是,含有氫氟酸的蝕刻液存在毒性高的問題,含有過氧化氫的蝕刻液存在缺乏保存穩(wěn)定性的問題。現(xiàn)有技術(shù)文獻專利文獻專利文獻1:日本特許第4471094號說明書。技術(shù)實現(xiàn)要素:發(fā)明所要解決的問題本發(fā)明是鑒于所述實際情況而成,其目的在于提供一種蝕刻液及使用該蝕刻液的蝕刻方法,所述蝕刻液可在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦,而且毒性低,保存穩(wěn)定性優(yōu)異。解決問題的技術(shù)手段本發(fā)明的蝕刻液是為了在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦而使用,并且含有:選自由硫酸、鹽酸及三氯乙酸所組成的群組中的至少一種酸;以及選自由硫酮系化合物及硫醚系化合物所組成的群組中的至少一種有機硫化合物。所述硫酮系化合物推薦為選自由硫脲、二乙基硫脲及三甲基硫脲所組成的群組中的至少一種。成都天馬用的蝕刻液蝕刻液質(zhì)量好的做蝕刻液的公司。
以帶動該基板20由該噴灑裝置50下端部朝向該風(fēng)刀裝置40的該***風(fēng)刀41下端部的方向移動。該風(fēng)刀裝置40設(shè)置于該擋液板結(jié)構(gòu)10的一端部,該風(fēng)刀裝置40包括有一設(shè)置于該基板20上方的***風(fēng)刀41,以及一設(shè)置于該基板20下方的第二風(fēng)刀42,其中該***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42分別吹出一氣體43至該基板20,以將該基板20上的一藥液51帶往與相反于該基板20的行進方向,以使該基板20上該藥液51減少,其中該氣體43遠(yuǎn)離該***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42的方向分別與該基板20的法線方向夾設(shè)有一第三夾角θ3,且該第三夾角θ3介于20度至35度之間。此外,請一并參閱圖8與圖9所示,為本實用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風(fēng)刀裝置示意圖,以及宣泄孔的表面張力局部放大圖,其中該宣泄孔121為直通孔的態(tài)樣,當(dāng)該風(fēng)刀裝置40的***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42為了減少該基板(本圖式未標(biāo)示)上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時,該氣體43碰到該擋液板結(jié)構(gòu)10后部分會往該復(fù)數(shù)個宣泄孔121流動,并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出(如圖8所示),除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的蝕刻不均現(xiàn)象,亦可達到以破真空的原理避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸引問題;此外。
可以充分的將蝕刻液中的亞銅離子電解轉(zhuǎn)化為金屬銅,起到循環(huán)電解蝕刻液的作用;裝置主體1左端表面靠近上端固定安裝有抽氣泵19,抽氣泵19下方設(shè)置有集氣箱21,集氣箱21與抽氣泵19之間連接有排氣管20,電解池4下端連接有二號排液管22,二號排液管22內(nèi)部上端設(shè)置有二號電磁閥23,裝置主體1內(nèi)部底端靠近左側(cè)設(shè)置有傾斜板24,裝置主體1前端表面靠近左上邊角位置設(shè)置有活動板25,分隔板2右端放置有蓄水箱26,蓄水箱26上端靠近右側(cè)連接有進水管27,回流管15下端連接有抽水管28,抽水管28內(nèi)部上端設(shè)置有三號電磁閥29,裝置主體1前端表面靠近右側(cè)安裝有控制面板30,傾斜板24的傾斜角度設(shè)計為10°,活動板25前端設(shè)置有握把,活動板25與裝置主體1之間設(shè)置有鉸鏈,且活動板25通過鉸鏈活動安裝在裝置主體1前端,控制面板30的輸出端分別與增壓泵16、一號電磁閥18、二號電磁閥23和三號電磁閥29的輸入端呈電性連接,通過設(shè)置有集氣箱21與蓄水箱26,能夠在電解蝕刻液結(jié)束后,啟動抽氣泵19,將電解池4中產(chǎn)生的有害氣體抽入到排氣管20并導(dǎo)入到集氣箱21中,實現(xiàn)有害氣體的清理,接著啟動增壓泵16并打開三號電磁閥29,將蓄水箱26中的清水通過抽水管28抽入到進液管8中。蝕刻液 [博洋化學(xué)] 新工藝,實現(xiàn)循環(huán)使用!
對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例,基于本實用新型中的實施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。實施例一,請參閱圖1-4,本實用新型提供技術(shù)方案:高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,包括裝置主體1、支撐腿2、電源線3和單片機4,裝置主體1的底端固定連接有支撐腿2,裝置主體1的后面一側(cè)底部固定連接有電源線3,裝置主體1的一側(cè)中間部位固定連接有控制器5,裝置主體1的內(nèi)部底端一側(cè)固定連接有單片機4,裝置主體1的頂部一端固定連接有去離子水儲罐14,裝置主體1的頂部一側(cè)固定連接有磷酸儲罐15,磷酸儲罐15的底部固定連接有攪拌倉23,攪拌倉23的內(nèi)部頂部固定連接有攪拌電機13,攪拌倉23的另一側(cè)頂部固定連接有醋酸儲罐16,裝置主體1的頂部中間一側(cè)固定連接有硝酸儲罐17,裝置主體1的頂部中間另一側(cè)固定連接有陰離子表面活性劑儲罐18,陰離子表面活性劑儲罐18的另一側(cè)固定連接有聚氧乙烯型非離子表面活性劑儲罐19,裝置主體1的頂部另一側(cè)固定連接有氯化鉀儲罐20。蘇州博洋化學(xué)股份有限公司使命必達。天馬用的蝕刻液蝕刻液銷售公司
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12、伸縮桿;13、圓環(huán)塊;14、連接桿;15、回流管;16、增壓泵;17、一號排液管;18、一號電磁閥;19、抽氣泵;20、排氣管;21、集氣箱;22、二號排液管;23、二號電磁閥;24、傾斜板;25、活動板;26、蓄水箱;27、進水管;28、抽水管;29、三號電磁閥;30、控制面板。具體實施方式下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖,對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例是本發(fā)明一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發(fā)明保護的范圍。請參閱圖1-5,本發(fā)明提供一種技術(shù)方案:一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置,包括裝置主體1,裝置主體1內(nèi)部中間位置固定安裝有分隔板2,分隔板2左端表面靠近中間位置固定安裝有承載板3,承載板3上端表面放置有電解池4,電解池4內(nèi)部中間位置設(shè)置有隔膜5,裝置主體1上端表面靠近右側(cè)安裝有進液漏斗6,進液漏斗6上設(shè)置有過濾網(wǎng)7,裝置主體1內(nèi)部靠近頂端設(shè)置有進液管8,進液管8左端連接有伸縮管9,伸縮管9下端安裝有噴頭10,裝置主體1上端表面靠近左側(cè)固定安裝有液壓缸11,液壓缸11下端安裝有伸縮桿12。安慶京東方用的蝕刻液蝕刻液推薦廠家