本發明下述示例性實施例可以多種不同的形式來實施,并且不應當被解釋為只限于這里所闡述的具體實施例。應當理解的是,提供這些實施例是為了使得本發明的公開徹底且完整,并且將這些示例性具體實施例的技術方案充分傳達給本領域技術人員。如圖1所示,本發明提供的光刻膠剝離去除方法主要實施例,用于半導體制造工藝中,可應用于包括但不限于mos、finfet等所有現有技術中涉及光刻膠剝離去除的生產步驟,主要包括以下步驟:s1,在半導體襯底上淀積介質層;s2,旋涂光刻膠并曝光顯影,形成光刻圖形阻擋層;s3,執行離子注入:s4,采用氮氫混合氣體執行等離子刻蝕,對光刻膠進行干法剝離;s5,對襯底表面進行清洗。本發明刻膠剝離去除方法主要實施例采用能與主要光刻膠層和第二光刻膠層反應生成含氨揮發性化合物氣體,與主要光刻膠層和第二光刻膠層反應速率相等的等離子體氮氫混合氣體能更高效的剝離去除光刻膠,有效降低光刻膠殘留。進而避免由于光刻膠殘留造成對后續工藝的影響,提高產品良率。參考圖11和圖12所示,在生產線上采用本發明的光刻膠剝離去除方法后,監控晶圓產品缺陷由585顆降低到32顆,證明本發明光刻膠剝離去除方法的的改善的產品缺陷,促進了產品良率的提升。剝離液的特性是什么?南通哪家蝕刻液剝離液私人定做
如遇水,圖案則隨著背膠的脫落而脫落。這種印刷方法是通過滾筒式膠質印模把沾在膠面上的油墨轉印到紙面上。由于膠面是平的,沒有凹下的花紋,所以印出的紙面上的圖案和花紋也是平的,沒有立體感,防偽性較差。膠版印刷所需的油墨較少,模具的制造成本也比凹版低。目前我國汽車尾氣直接排入空氣中,并未進行回收處理,對空氣造成了巨大污染,同時會對人體造成傷害。技術實現思路本**技術的目的就在于為了解決上述問題而提供一種印刷品膠面印刷剝離復合裝置。嘉興配方剝離液產品介紹華星光電用的哪家的剝離液?
圖2為本申請實施例提供的剝離液機臺的第二種結構示意圖。圖3為本申請實施例提供的剝離液機臺的第三種結構示意圖。圖4為本申請實施例提供的剝離液機臺的第四種結構示意圖。圖5為本申請實施例提供的剝離液機臺的工作方法的流程示意圖。具體實施方式目前剝離液機臺在工作時,如果過濾剝離光阻時產生的薄膜碎屑的過濾器被阻塞,則需要剝離液機臺內的所有工作單元,待被阻塞的過濾器被清理后,才能重新進行剝離制程,使得機臺需頻繁停線以更換過濾器,極大的降低了生產效率。請參閱圖1,圖1為本申請實施例提供的過濾液機臺100的種結構示意圖。本申請實施例提供一種剝離液機臺100,包括:依次順序排列的多級腔室10、每一級所述腔室10對應連接一存儲箱20;過濾器30,所述過濾器30的一端設置通過管道40與當前級腔室101對應的存儲箱20連接,所述過濾器30的另一端通過第二管道50與下一級腔室102連接;其中,至少在管道40或所述第二管道50上設置有閥門開關60。具體的,圖1所示出的是閥門開關60設置在管道40上的示例圖。當當前級別腔室101對應的過濾器30被薄膜碎屑阻塞后,通過閥門開關60關閉當前級別腔室101對應的存儲箱20與過濾器30之間的液體流通。
利用提升泵將一級過濾罐中濾液抽取到攪拌釜內;再向攪拌釜中輸入沉淀劑,如酸性溶液,與前述濾液充分攪拌混合再次析出沉淀物,即二級線性酚醛樹脂,打開二級過濾罐進料管路上的電磁閥,帶有沉淀物的混合液進入二級過濾罐中,由其中的過濾筒過濾得到二級線性酚醛樹脂,廢液二級過濾罐底部的廢液出口流出,送往剝離成分處理系統。上述過濾得到的一級線性酚醛樹脂可用于光刻膠產品的原料,而二級線性酚醛樹脂可用于其他場合。綜上,實現了對光刻膠樹脂的充分的回收利用,回收率得到提高。附圖說明圖1是本實用新型的結構示意圖;圖2是過濾筒的結構示意圖。具體實施方式如圖1、圖2所示,該光刻膠廢剝離液回收裝置,包括攪拌釜10和與攪拌釜10連通的過濾罐,所述過濾罐的數量為兩個,由一級過濾罐16和二級過濾罐13組成。所述一級過濾罐16和二級過濾罐13在垂直方向上位于攪拌釜10下方,一級過濾罐16和二級過濾罐13的進料管路15、14分別與攪拌釜10底部連通,且進料管路15、14上分別設有電磁閥18、17。所述一級過濾罐16的底部出液口19連接有提升泵6,所述提升泵6的出料管路末端與攪拌釜10頂部的循環料口7連通。攪拌釜10頂部另設有廢剝離液投料口5和功能切換口3。哪家的剝離液的價格低?
本發明涉及剝離液技術領域:,更具體的說是涉及一種高世代面板銅制程光刻膠剝離液。背景技術::電子行業飛速發展,光刻膠應用也越來越。在半導體元器件制造過程中,經過涂敷-顯影-蝕刻過程,在底層金屬材料上蝕刻出所需線條之后,必須在除去殘余光刻膠的同時不能損傷任何基材,才能再進行下道工序。因此,光刻膠的剝離質量也有直接影響著產品的質量。但是傳統光刻膠剝離液雖然能剝離絕大部分光阻,但對于高世代面板(高世代面板是代指大尺寸的液晶面板),傳統剝離液親水性不夠,水置換能力較差,容易造成面板邊緣光刻膠殘留。技術實現要素:本發明的目的是提供一種高世代面板銅制程光刻膠剝離液。為了實現上述目的,本發明采用如下技術方案:本申請公開了一種高世代面板銅制程光刻膠剝離液,包括以下質量組分:酰胺:50-60%;醇醚:35-45%;環胺與鏈胺:3-7%;緩蝕劑:%%;潤濕劑:%%。的技術方案中,所述的酰胺為n-甲基甲酰胺、n-甲基乙酰胺、n,n-二甲基甲酰胺中的任意一種或多種。的技術方案中,所述的醇醚為二乙二醇丁醚、二乙二醇甲醚、乙二醇甲醚、乙二醇乙醚中的任意一種或多種。的技術方案中。剝離液適用于哪些行業。嘉興配方剝離液產品介紹
剝離液,高效去除光刻膠,不留痕跡。南通哪家蝕刻液剝離液私人定做
本發明涉及能夠從施加有抗蝕劑的基材剝離抗蝕劑的抗蝕劑的剝離液。背景技術::印刷布線板的制造、主要是半加成法中使用的干膜抗蝕劑等抗蝕劑的剝離液中,伴隨微細布線化而使用胺系的剝離液。然而,以往的胺系的抗蝕劑的剝離液有廢液處理性難、海外的法規制度的問題,而避免其使用。近年來,為了避免胺系的抗蝕劑的剝離液的問題點,還報道了一種含有氫氧化鈉和溶纖劑的剝離液(專利文獻1),由于剝離時的抗蝕劑沒有微細地粉碎,因此存在近年的微細的布線間的抗蝕劑難以除去的問題點。現有技術文獻專利文獻專利文獻1:日本特開2002-323776號公報技術實現要素:發明要解決的問題因此,本發明的課題在于,提供容易除去微細的布線間的抗蝕劑的技術。用于解決問題的手段本發明人等為了解決上述課題而深入研究的結果發現,含有鉀鹽和溶纖劑的溶液與專利文獻1那樣的含有氫氧化鈉和溶纖劑的溶液相比,即使是非常微細的布線間的抗蝕劑也能細小地粉碎,從而完成本發明。即,本發明涉及一種抗蝕劑的剝離液,其特征在于,含有鉀鹽和溶纖劑。另外,本發明涉及一種抗蝕劑的除去方法,其特征在于,用上述抗蝕劑的剝離液處理施加有抗蝕劑的基材。南通哪家蝕刻液剝離液私人定做