真空鍍膜：離子鍍膜法：目前比較常用的組合方式有：活性反應蒸鍍法(ABE)。利用電子束加熱使膜材氣化；依靠正偏置探極和電子束間的低壓等離子體輝光放電或二次電子使充入的氧氣、氮氣、乙炔等反應氣體離化。這種方法的特點是：基板溫升小，要對基板加熱，蒸鍍效率高，能獲得三氧化鋁、氮化鈦(TiN)、碳化鈦(TiC)等薄膜；可用于鍍機械制品、電子器件、裝飾品?？招年帢O離子鍍(HCD)。利用等離子電子束加熱使膜材氣化；依靠低壓大電流的電子束碰撞使充入的氣體Ar或其它惰性氣體、反應氣體離化。這種方法的特點是：基板溫升小，要對基板加熱，離化率高，電子束斑較大，能鍍金屬膜、介質膜、化合物膜；可用于鍍裝飾鍍層、機械制品。真空鍍膜鍍層附著性能好。汕尾光學真空鍍膜

真空鍍膜技術與濕式鍍膜技術相比較，具有下列優點：薄膜和基體選材普遍，薄膜厚度可進行控制，以制備具有各種不同功能的功能性薄膜。在真空條件下制備薄膜，環境清潔，薄膜不易受到污染，因此可獲得致密性好、純度高和涂層均勻的薄膜。薄膜與基體結合強度好，薄膜牢固。干式鍍膜既不產生廢液，也無環境污染。真空鍍膜技術主要有真空蒸發鍍、真空濺射鍍、真空離子鍍、真空束流沉積、化學氣相沉積等多種方法。除化學氣相沉積法外，其他幾種方法均具有以下的共同特點：各種鍍膜技術都需要一個特定的真空環境，以保證制膜材料在加熱蒸發或濺射過程中所形成蒸氣分子的運動，不致受到大氣中大量氣體分子的碰撞、阻擋和干擾，并消除大氣中雜質的不良影響。汕尾光學真空鍍膜真空鍍膜離子鍍中不同的蒸發源與不同的電離或激發方式可以有多種不同的組合。

廣義的真空鍍膜還包括在金屬或非金屬材料表面真空蒸鍍聚合物等非金屬功能性薄膜。在所有被鍍材料中，以塑料較為常見，其次，為紙張鍍膜。相對于金屬、陶瓷、木材等材料，塑料具有來源充足、性能易于調控、加工方便等優勢，因此種類繁多的塑料或其他高分子材料作為工程裝飾性結構材料，大量應用于汽車、家電、日用包裝、工藝裝飾等工業領域。但塑料材料大多存在表面硬度不高、外觀不夠華麗、耐磨性低等缺陷，如在塑料表面蒸鍍一層極薄的金屬薄膜，即可賦予塑料程亮的金屬外觀，合適的金屬源還可增加材料表面耐磨性能，拓寬了塑料的裝飾性和應用范圍。

電子束蒸發可以蒸發高熔點材料，比一般電阻加熱蒸發熱效率高、 束流密度大、蒸發速度快，制成的薄膜純度高、質量好，通過晶振控制，厚度可以較準確地控制，可以廣泛應用于制備高純薄膜和各種光學材料薄膜。電子束蒸發的金屬粒子只能考自身能量附著在襯底表面，臺階覆蓋性比較差，如果需要追求臺階覆蓋性和薄膜粘附力，建議使用磁控濺射。在蒸發溫度以上進行蒸發試，蒸發源溫度的微小變化即可引起蒸發速率發生很大變化。因此，在鍍膜過程中，想要控制蒸發速率，必須精確控制蒸發源的溫度，加熱時應盡量避免產生過大的溫度梯度。蒸發速率正比于材料的飽和蒸氣壓，溫度變化10%左右，飽和蒸氣壓就要變化一個數量級左右。真空蒸鍍是真空鍍膜技術的一種。

熱氧化與化學氣相沉積不同，她是通過氧氣或水蒸氣擴散到硅表面并進行化學反應形成氧化硅。熱氧化形成氧化硅時，會消耗相當于氧化硅膜厚的45%的硅。熱氧化氧化過程主要分兩個步驟：步驟一：氧氣或者水蒸氣等吸附到氧化硅表面，步驟二：氧氣或者水蒸氣等擴散到硅表面，步驟三：氧氣或者水蒸氣等與硅反應生成氧化硅。熱氧化是在一定的溫度和氣體條件下，使硅片表面氧化一定厚度的氧化硅的。主要有干法氧化和濕法氧化，干法氧化是在硅片表面通入氧氣，硅片與氧化反應生成氧化硅，氧化速率比較慢，氧化膜厚容易控制。濕法氧化在爐管當中通入氧氣和氫氣，兩者反應生長水蒸氣，水蒸氣與硅片表面反應生長氧化硅，濕法氧化，速率比較快，可以生長比較厚的薄膜。真空鍍膜中制備化合物薄膜可以用各種化學氣相沉積或物理的氣相沉積方法。汕尾光學真空鍍膜

真空鍍膜的鍍層質量好。汕尾光學真空鍍膜

真空鍍膜：隨著沉積方法和技術的提升，物理的氣相沉積技術不僅可沉積金屬膜、合金膜、還可以沉積化合物、陶瓷、半導體、聚合物膜等。物理的氣相沉積技術早在20世紀初已有些應用，但30年迅速發展成為一門極具廣闊應用前景的新技術，并向著環保型、清潔型趨勢發展。在鐘表行業，尤其是較好手表金屬外觀件的表面處理方面達到越來越為普遍的應用。物理的氣相沉積技術基本原理可分三個工藝步驟：鍍料的氣化：即使鍍料蒸發，升華或被濺射，也就是通過鍍料的氣化源。鍍料原子、分子或離子的遷移：由氣化源供出原子、分子或離子經過碰撞后，產生多種反應。鍍料原子、分子或離子在基體上沉積。汕尾光學真空鍍膜

廣東省科學院半導體研究所成立于2016-04-07，是一家專注于微納加工技術服務，真空鍍膜技術服務，紫外光刻技術服務，材料刻蝕技術服務的高新技術企業，公司位于長興路363號。公司經常與行業內技術專家交流學習，研發出更好的產品給用戶使用。公司主要經營微納加工技術服務，真空鍍膜技術服務，紫外光刻技術服務，材料刻蝕技術服務等產品，我們依托高素質的技術人員和銷售隊伍，本著誠信經營、理解客戶需求為經營原則，公司通過良好的信譽和周到的售前、售后服務，贏得用戶的信賴和支持。公司會針對不同客戶的要求，不斷研發和開發適合市場需求、客戶需求的產品。公司產品應用領域廣，實用性強，得到微納加工技術服務，真空鍍膜技術服務，紫外光刻技術服務，材料刻蝕技術服務客戶支持和信賴。芯辰實驗室,微納加工秉承著誠信服務、產品求新的經營原則，對于員工素質有嚴格的把控和要求，為微納加工技術服務，真空鍍膜技術服務，紫外光刻技術服務，材料刻蝕技術服務行業用戶提供完善的售前和售后服務。