深硅刻蝕工藝在高深寬比結(jié)構(gòu)中的技術(shù)突破：深硅刻蝕（DRIE）是制備高深寬比微流道的主要工藝，公司通過優(yōu)化Bosch工藝參數(shù)，實現(xiàn)了深度100-500μm、寬深比1:10至1:20的微結(jié)構(gòu)加工。刻蝕過程中采用電感耦合等離子體（ICP）源，結(jié)合氟基氣體（如SF6）與碳基氣體（如C4F8）的交替刻蝕與鈍化，確保側(cè)壁垂直度>89°，表面粗糙度<50nm。該技術(shù)應(yīng)用于地質(zhì)勘探模擬芯片時，可精確復(fù)制地下巖層的微孔結(jié)構(gòu)，用于油氣滲流特性研究；在生化試劑反應(yīng)腔中，高深寬比流道增加了反應(yīng)物接觸面積，使酶促反應(yīng)速率提升40%。公司還開發(fā)了雙面刻蝕與通孔對齊技術(shù)，實現(xiàn)三維立體流道網(wǎng)絡(luò)加工，為微反應(yīng)器、微換熱器等復(fù)雜器件提供了關(guān)鍵制造能力，推動MEMS技術(shù)在能源、環(huán)境等領(lǐng)域的跨學(xué)科應(yīng)用。干濕結(jié)合刻蝕技術(shù)制備納米級微針，可用于組織液提取與電化學(xué)檢測器件。貴州微流控芯片發(fā)展現(xiàn)狀

微米級尺度微流控芯片的精密加工與應(yīng)用：在0.5-5μm微米級尺度微流控芯片加工領(lǐng)域，公司依托MEMS光刻、深硅刻蝕及納米壓印等技術(shù)，實現(xiàn)亞微米級精度的微流道、微孔陣列及三維結(jié)構(gòu)制造。電鏡下可見的精細(xì)流道網(wǎng)絡(luò)，其寬度誤差可控制在±50nm以內(nèi)，適用于單分子檢測、液滴生成等超高精度場景。例如，在單分子免疫檢測芯片中，微米級微孔陣列可實現(xiàn)單個生物分子的捕獲與熒光信號放大，檢測靈敏度較傳統(tǒng)方法提升10倍以上。該尺度芯片的加工難點在于材料刻蝕均勻性與表面粗糙度控制，公司通過干濕結(jié)合刻蝕工藝與表面化學(xué)修飾技術(shù)，解決了高深寬比結(jié)構(gòu)（如10:1以上）的加工瓶頸，成功應(yīng)用于外泌體分選、循環(huán)腫瘤細(xì)胞捕獲等前沿生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域，為精細(xì)醫(yī)療提供器件支撐。微流控芯片的微加工10-100μm 幾十微米級微流控芯片可實現(xiàn)多樣化結(jié)構(gòu)設(shè)計與精密加工。

利用微流控芯片對tumour標(biāo)志物檢測：通過檢測tumour特異性生物標(biāo)志物含量可以在早期得知患病信息，也可用于監(jiān)測抗tumour藥物治療效果。在tumour檢測領(lǐng)域，Regiart等研制一種用于tumour生物標(biāo)志物檢測的超敏感便攜式微流控設(shè)備，總檢測時間只需20 min，具有穩(wěn)定性高、攜帶方便、敏感性高等優(yōu)點。由于tumour的分子機(jī)制復(fù)雜，不能依靠單一生物標(biāo)志物來診斷，同時測定一組生物標(biāo)志物可顯著提高診斷的特異性和準(zhǔn)確性。Jones等人設(shè)計了一款可同時檢測8種標(biāo)志物的微流控免疫芯片，用于診斷前列腺cancer并區(qū)分是否具有侵襲性，以減少患者不必要的活檢和手術(shù)。

微孔陣列芯片在液滴分散與生化反應(yīng)中的應(yīng)用：微孔陣列作為微流控芯片的主要功能單元，其加工精度直接影響液滴生成效率與反應(yīng)均一性。公司通過光刻膠模塑、激光微加工等技術(shù)，在PDMS或硬質(zhì)塑料基板上制備直徑5-50μm、間距可控的微孔陣列，孔密度可達(dá)10^4個/cm2以上。在數(shù)字PCR芯片中，微孔陣列將反應(yīng)液分割成微腔，結(jié)合油相封裝實現(xiàn)單分子級核酸擴(kuò)增，檢測靈敏度可達(dá)0.1%突變頻率。針對生化試劑反應(yīng)腔需求，開發(fā)了表面疏水處理技術(shù)，使液滴在微孔內(nèi)的滯留時間延長30%，確保酶促反應(yīng)充分進(jìn)行。此外，微孔陣列與微流道的集成設(shè)計實現(xiàn)了液滴的高通量生成與分選，每分鐘可處理10^3個以上液滴，適用于高通量藥物篩選與細(xì)胞分選芯片，為醫(yī)療與生物制藥提供高效工具。微孔陣列技術(shù)實現(xiàn)液滴陣列化，用于數(shù)字 PCR、高通量藥物篩選等場景。

Cascade 有兩個測試用戶：馬里蘭大學(xué)Don DeVoe教授的微流體實驗室和加州大學(xué)Carl Meinhart教授的微流體實驗室。德國thinXXS公司開發(fā)了另一套微流控分析設(shè)備。該設(shè)備提供了一個由微反應(yīng)板裝配平臺、模塊載片以及連接器和管道所組成的結(jié)構(gòu)工具包。可單獨購買模塊載片。 ThinXXS還制造獨有芯片，生產(chǎn)微流體和微光學(xué)設(shè)備和部件并提供相應(yīng)的服務(wù)。將微流控技術(shù)應(yīng)用于光學(xué)檢測已經(jīng)計劃很多年了，thinXXS一直都在進(jìn)行這方面的綜合研究，但未提供詳細(xì)資料。但是，據(jù)了解，該技術(shù)采用了先進(jìn)的MEMS傳感器的微納米制造工藝，所以芯片得到了非常好的測試效果。微流控芯片的基本實現(xiàn)方式有：MEMS微納米加工技術(shù)、光刻、飛秒激光直寫、LIGA、注塑、刻蝕等等；西藏微流控芯片產(chǎn)業(yè)化

微流控芯片技術(shù)用于基因測序。貴州微流控芯片發(fā)展現(xiàn)狀

腎臟組織微流控器官芯片（KoC）：傳統(tǒng)方法或常規(guī)方法的局限性，例如細(xì)胞功能和生理學(xué)的變化或不適當(dāng)，使得腎單位的病理生理學(xué)研究不準(zhǔn)確且容易出錯。相比之下，與微流控技術(shù)的集成已被證明可以產(chǎn)生更好和更精確的結(jié)果。KoC基本上是通過將腎小管細(xì)胞與微流控芯片技術(shù)相結(jié)合來制備的。它主要用于評估腎毒性。在臨床前階段能篩查出2%的失敗藥物，利用微流控技術(shù)能在臨床階段后檢測出約20%的失敗藥物。這證明了使用KoC在單個微型芯片上研究人類腎單位的合理性。貴州微流控芯片發(fā)展現(xiàn)狀