微流控芯片（microfluidic chip）是當前微全分析系統（Miniaturized Total Analysis Systems）發展的熱點領域。微流控芯片分析以芯片為操作平臺, 同時以分析化學為基礎，以MEMS微機電加工技術為依托,以微管道網絡為結構特征,以生命科學為目前主要應用對象，是當前微全分析系統領域發展的重點。它的目標是把整個化驗室的功能，包括采樣、稀釋、加試劑、反應、分離、檢測等集成在微芯片上,且可以多次使用。包括：白金電阻芯片, 壓力傳感芯片, 電化學傳感芯片, 聲學微流控芯片，微/納米反應器芯片, 微流體燃料電池芯片, 微/納米流體過濾芯片等。在微流控芯片上檢測所需要被檢測的樣本量體積往往只需要微升級別。山東微流控芯片單細胞分析

硅片微流道加工在微納器件中的應用拓展：硅片作為MEMS工藝的主流材料，在微流控芯片中兼具機械強度與加工精度優勢。公司利用深硅刻蝕（DRIE）技術實現高深寬比（>20:1）微流道加工，深度可達500μm以上，適用于高壓流體控制、微反應器等場景。硅片表面通過熱氧化或氮化處理形成絕緣層，可集成微電極、壓力傳感器等功能單元，構建“芯片實驗室”（Lab-on-a-Chip）系統。例如，在腦機接口柔性電極芯片中，硅基微流道與鉑銥電極的集成設計，實現了神經信號記錄與藥物微灌注的同步功能，其生物相容性通過表面PEG涂層優化，可長期植入體內穩定工作。公司還開發了硅片與PDMS、玻璃的異質鍵合技術，解決了不同材料熱膨脹系數差異導致的應力問題，推動硅基微流控芯片在生物醫學、環境監測等領域的跨學科應用。陜西微流控芯片節能規范顯微鏡與電鏡測量確保微流道精度，支撐高精度生物芯片開發與生產。

肺組織微流控器官芯片（LoC）：這是另一種在微型設備上的人肺的3D工程復雜模型。它基本上構成了人類的肺和血管。該系統可能在很大程度上有助于肺部的生理研究。此外，它還有助于研究肺泡囊中吸收的納米顆粒的特征，并進一步模擬病原體引發的炎癥反應。此外，它可用于測試由環境toxin和氣溶膠產品引起的影響。LoC使研究人員能夠研究apparatus或人體的體外生理作用，因此，它被用于不同肺部疾病醫療方式的戰略實施。在組織設計中，微流控創新通過提供氧氣，營養和血液，在復雜組織的發展方面發揮著重要作用。它為肺細胞開發了一個微環境來研究生理活動。Wyss研究所設計了各種肺部微芯片，以演示典型LoC的工作。這些微芯片還能夠模擬肺水腫。

深硅刻蝕工藝在高深寬比結構中的技術突破：深硅刻蝕（DRIE）是制備高深寬比微流道的主要工藝，公司通過優化Bosch工藝參數，實現了深度100-500μm、寬深比1:10至1:20的微結構加工。刻蝕過程中采用電感耦合等離子體（ICP）源，結合氟基氣體（如SF6）與碳基氣體（如C4F8）的交替刻蝕與鈍化，確保側壁垂直度>89°，表面粗糙度<50nm。該技術應用于地質勘探模擬芯片時，可精確復制地下巖層的微孔結構，用于油氣滲流特性研究；在生化試劑反應腔中，高深寬比流道增加了反應物接觸面積，使酶促反應速率提升40%。公司還開發了雙面刻蝕與通孔對齊技術，實現三維立體流道網絡加工，為微反應器、微換熱器等復雜器件提供了關鍵制造能力，推動MEMS技術在能源、環境等領域的跨學科應用。多材料鍵合技術解決 PDMS 與硬質基板密封問題，推動復合芯片應用。

標準化PDMS芯片產線：公司自建的PDMS芯片產線采用全自動化模塑工藝，涵蓋原料混煉、真空脫泡、高溫固化（80℃/2 h）及等離子親水化處理等關鍵環節。產線配備高精度模具（公差±2 μm）與光學檢測系統，可批量生產單分子檢測芯片、液滴生成芯片等產品。例如，液滴芯片通過流聚焦結構生成單分散乳液（CV<3%），通量達10,000滴/秒，用于單細胞RNA測序時，細胞捕獲效率超過95%。此外，PDMS芯片的表面改性技術（如二氧化硅涂層）可降低生物污染，在長期細胞培養中保持表面親水性超過30天。該產線已為多家IVD企業提供定制化服務，例如開發的核酸快檢芯片，將樣本到結果的時間縮短至30分鐘，靈敏度達98%，成為基層醫療機構的主要檢測工具。POCT 微流控芯片通過集成設計，實現無泵閥自動化樣本處理與快速檢測。陜西微流控芯片節能規范

微流控芯片技術用于基因測序。山東微流控芯片單細胞分析

公司獨特的MEMS多重轉印工藝：將硅母模上的微結構通過紫外固化膠轉印至硬質塑料，可在10個工作日內完成從設計到成品的全流程開發。以器官芯片為例，通過該工藝制造的PMMA多層芯片，集成血管內皮屏障與組織隔室，可模擬肺、肝等的生理功能，用于藥物毒性評估時，數據一致性較傳統細胞實驗提升80%。此外，PDMS芯片憑借優異的氣體滲透性（O?擴散系數達3×10??cm2/s），廣泛應用于氣體傳感領域，其標準化產線可實現月產10,000片的高效交付。
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