玻璃基微流控芯片的精密刻蝕與鍵合工藝：玻璃因其高透光性、化學(xué)穩(wěn)定性及表面平整性，成為光學(xué)檢測類微流控芯片的理想材料。公司采用濕法刻蝕與干法刻蝕結(jié)合工藝，在玻璃基板上實現(xiàn)1-200μm深度的微流道加工，配合雙面光刻對準(zhǔn)技術(shù)，確保流道結(jié)構(gòu)的三維高精度匹配。刻蝕后的玻璃芯片通過高溫鍵合（300-450℃）或陽極鍵合實現(xiàn)密封，鍵合強(qiáng)度可達(dá)5MPa以上，耐受高壓流體傳輸（如100kPa壓力下無泄漏）。典型應(yīng)用包括熒光顯微成像芯片、拉曼光譜檢測芯片，其光滑的玻璃表面可直接進(jìn)行生物分子修飾，用于DNA雜交、蛋白質(zhì)吸附等反應(yīng)。公司在玻璃芯片加工中攻克了大尺寸基板（如4英寸晶圓）的均勻刻蝕難題，通過優(yōu)化刻蝕液配比與等離子體參數(shù)，將流道深度誤差控制在±2%以內(nèi)，滿足前端科研與工業(yè)檢測對芯片一致性的嚴(yán)苛要求。微流控芯片的瓶頸和難題是什么？浙江微流控芯片技術(shù)規(guī)范

Lee等人先前解釋說，與2D模型相比，微流控3D技術(shù)中腎單位的藥效學(xué)和病理生理學(xué)反應(yīng)更為實用。KoC已被開發(fā)并證明可顯示出更好的藥物腎毒性體內(nèi)后果，該系統(tǒng)已被進(jìn)一步用于確定各種藥物誘導(dǎo)的生物反應(yīng)。此外，它還有助于培養(yǎng)近端小管，用于觀察預(yù)測藥物誘導(dǎo)的腎損傷（DIKI）和藥物相互作用的生物標(biāo)志物。腎臟器官芯片模型的簡單設(shè)計基本上由兩層組成。上層包含近端小管上皮細(xì)胞，下層包含內(nèi)皮細(xì)胞。如圖1D所示，位于中間的多孔膜將兩層分開。廣東微流控芯片品牌深硅刻蝕實現(xiàn) 500μm 以上深度微流道，適用于高壓流體控制與微反應(yīng)器。

公司獨特的MEMS多重轉(zhuǎn)印工藝：將硅母模上的微結(jié)構(gòu)通過紫外固化膠轉(zhuǎn)印至硬質(zhì)塑料，可在10個工作日內(nèi)完成從設(shè)計到成品的全流程開發(fā)。以器官芯片為例，通過該工藝制造的PMMA多層芯片，集成血管內(nèi)皮屏障與組織隔室，可模擬肺、肝等的生理功能，用于藥物毒性評估時，數(shù)據(jù)一致性較傳統(tǒng)細(xì)胞實驗提升80%。此外，PDMS芯片憑借優(yōu)異的氣體滲透性（O?擴(kuò)散系數(shù)達(dá)3×10??cm2/s），廣泛應(yīng)用于氣體傳感領(lǐng)域，其標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)線可實現(xiàn)月產(chǎn)10,000片的高效交付。

肺組織微流控器官芯片（LoC）：這是另一種在微型設(shè)備上的人肺的3D工程復(fù)雜模型。它基本上構(gòu)成了人類的肺和血管。該系統(tǒng)可能在很大程度上有助于肺部的生理研究。此外，它還有助于研究肺泡囊中吸收的納米顆粒的特征，并進(jìn)一步模擬病原體引發(fā)的炎癥反應(yīng)。此外，它可用于測試由環(huán)境toxin和氣溶膠產(chǎn)品引起的影響。LoC使研究人員能夠研究apparatus或人體的體外生理作用，因此，它被用于不同肺部疾病醫(yī)療方式的戰(zhàn)略實施。在組織設(shè)計中，微流控創(chuàng)新通過提供氧氣，營養(yǎng)和血液，在復(fù)雜組織的發(fā)展方面發(fā)揮著重要作用。它為肺細(xì)胞開發(fā)了一個微環(huán)境來研究生理活動。Wyss研究所設(shè)計了各種肺部微芯片，以演示典型LoC的工作。這些微芯片還能夠模擬肺水腫。支持 0.5-5μm 微米級尺度微流控芯片加工，滿足單分子檢測等高精需求。

安捷倫在微流控技術(shù)平臺上的三個主要產(chǎn)品是Agilent 2100、 Bioanalyzer/5100、 Automated Lab-on-a-Chip （后有斯坦福大學(xué)Stephen Quake研究小組開發(fā)的微流體控制因素大規(guī)模地綜合應(yīng)用和瑞士Spinx Technologies開發(fā)的激光控制閥門。澳大利亞墨爾本蒙納士大學(xué)的研究者正在開發(fā)可在微通道內(nèi)吸取、混合和濃縮分析樣品的等離子體偏振方法。等離子體不接觸工作流體便可產(chǎn)生“推力”，具有維持流體穩(wěn)定流動，對電解質(zhì)溶液不敏感也不受其污染的優(yōu)點。瑞士蘇黎士聯(lián)邦工業(yè)大學(xué)的David Juncker認(rèn)為，流體的驅(qū)動沒有必要采用這類高新技術(shù)，利用簡單的毛細(xì)管效應(yīng)就可以驅(qū)動流體通過微通道。玻璃基微流控芯片經(jīng)精密刻蝕與鍵合，確保高透光性與化學(xué)穩(wěn)定性。北京微流控芯片之PI柔性器件

硬質(zhì)塑料微流控芯片可加工 PMMA、COC 等材質(zhì)，滿足工業(yè)檢測與 POCT 需求。浙江微流控芯片技術(shù)規(guī)范

高聚物材料加工工藝：是以高聚物材料為基片加工微流控芯片的方法主要有:模塑法、熱壓法、LIGA技術(shù)、激光刻蝕法和軟光刻等。模塑法是先利用半導(dǎo)體/MEMS光刻和蝕刻的方法制作出通道部分突起的陽模，然后在陽模上澆注液體的高分子材料，將固化后的高分子材料與陽模剝離后就得到了具有微結(jié)構(gòu)的基片，之后與蓋片(多為玻璃)封接后就制得高聚物微流控芯片。這一方法簡單易行，不需要高技術(shù)設(shè)備，是大量生產(chǎn)廉價芯片的方法。熱壓法也需要事先獲得適當(dāng)?shù)年柲！Ｕ憬⒘骺匦酒夹g(shù)規(guī)范