玻璃基微流控芯片的精密刻蝕與鍵合工藝：玻璃因其高透光性、化學穩定性及表面平整性，成為光學檢測類微流控芯片的理想材料。公司采用濕法刻蝕與干法刻蝕結合工藝，在玻璃基板上實現1-200μm深度的微流道加工，配合雙面光刻對準技術，確保流道結構的三維高精度匹配。刻蝕后的玻璃芯片通過高溫鍵合（300-450℃）或陽極鍵合實現密封，鍵合強度可達5MPa以上，耐受高壓流體傳輸（如100kPa壓力下無泄漏）。典型應用包括熒光顯微成像芯片、拉曼光譜檢測芯片，其光滑的玻璃表面可直接進行生物分子修飾，用于DNA雜交、蛋白質吸附等反應。公司在玻璃芯片加工中攻克了大尺寸基板（如4英寸晶圓）的均勻刻蝕難題，通過優化刻蝕液配比與等離子體參數，將流道深度誤差控制在±2%以內，滿足前端科研與工業檢測對芯片一致性的嚴苛要求。微流控芯片的瓶頸和難題是什么？浙江微流控芯片技術規范

Lee等人先前解釋說，與2D模型相比，微流控3D技術中腎單位的藥效學和病理生理學反應更為實用。KoC已被開發并證明可顯示出更好的藥物腎毒性體內后果，該系統已被進一步用于確定各種藥物誘導的生物反應。此外，它還有助于培養近端小管，用于觀察預測藥物誘導的腎損傷（DIKI）和藥物相互作用的生物標志物。腎臟器官芯片模型的簡單設計基本上由兩層組成。上層包含近端小管上皮細胞，下層包含內皮細胞。如圖1D所示，位于中間的多孔膜將兩層分開。廣東微流控芯片品牌深硅刻蝕實現 500μm 以上深度微流道，適用于高壓流體控制與微反應器。

公司獨特的MEMS多重轉印工藝：將硅母模上的微結構通過紫外固化膠轉印至硬質塑料，可在10個工作日內完成從設計到成品的全流程開發。以器官芯片為例，通過該工藝制造的PMMA多層芯片，集成血管內皮屏障與組織隔室，可模擬肺、肝等的生理功能，用于藥物毒性評估時，數據一致性較傳統細胞實驗提升80%。此外，PDMS芯片憑借優異的氣體滲透性（O?擴散系數達3×10??cm2/s），廣泛應用于氣體傳感領域，其標準化產線可實現月產10,000片的高效交付。

肺組織微流控器官芯片（LoC）：這是另一種在微型設備上的人肺的3D工程復雜模型。它基本上構成了人類的肺和血管。該系統可能在很大程度上有助于肺部的生理研究。此外，它還有助于研究肺泡囊中吸收的納米顆粒的特征，并進一步模擬病原體引發的炎癥反應。此外，它可用于測試由環境toxin和氣溶膠產品引起的影響。LoC使研究人員能夠研究apparatus或人體的體外生理作用，因此，它被用于不同肺部疾病醫療方式的戰略實施。在組織設計中，微流控創新通過提供氧氣，營養和血液，在復雜組織的發展方面發揮著重要作用。它為肺細胞開發了一個微環境來研究生理活動。Wyss研究所設計了各種肺部微芯片，以演示典型LoC的工作。這些微芯片還能夠模擬肺水腫。支持 0.5-5μm 微米級尺度微流控芯片加工，滿足單分子檢測等高精需求。

安捷倫在微流控技術平臺上的三個主要產品是Agilent 2100、 Bioanalyzer/5100、 Automated Lab-on-a-Chip （后有斯坦福大學Stephen Quake研究小組開發的微流體控制因素大規模地綜合應用和瑞士Spinx Technologies開發的激光控制閥門。澳大利亞墨爾本蒙納士大學的研究者正在開發可在微通道內吸取、混合和濃縮分析樣品的等離子體偏振方法。等離子體不接觸工作流體便可產生“推力”，具有維持流體穩定流動，對電解質溶液不敏感也不受其污染的優點。瑞士蘇黎士聯邦工業大學的David Juncker認為，流體的驅動沒有必要采用這類高新技術，利用簡單的毛細管效應就可以驅動流體通過微通道。玻璃基微流控芯片經精密刻蝕與鍵合，確保高透光性與化學穩定性。北京微流控芯片之PI柔性器件

硬質塑料微流控芯片可加工 PMMA、COC 等材質，滿足工業檢測與 POCT 需求。浙江微流控芯片技術規范

高聚物材料加工工藝：是以高聚物材料為基片加工微流控芯片的方法主要有:模塑法、熱壓法、LIGA技術、激光刻蝕法和軟光刻等。模塑法是先利用半導體/MEMS光刻和蝕刻的方法制作出通道部分突起的陽模，然后在陽模上澆注液體的高分子材料，將固化后的高分子材料與陽模剝離后就得到了具有微結構的基片，之后與蓋片(多為玻璃)封接后就制得高聚物微流控芯片。這一方法簡單易行，不需要高技術設備，是大量生產廉價芯片的方法。熱壓法也需要事先獲得適當的陽模。浙江微流控芯片技術規范