真空鍍膜技術是一種在真空條件下,通過物理或化學方法將靶材表面的原子或分子轉移到基材表面的技術。這一技術具有鍍膜純度高、均勻性好、附著力強、生產效率高等優點。常見的真空鍍膜方法包括蒸發鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍等。蒸發鍍膜是通過加熱靶材使其蒸發,然后冷凝在基材表面形成薄膜;濺射鍍膜則是利用高能粒子轟擊靶材,使其表面的原子或分子被濺射出來,沉積在基材上;離子鍍則是結合了蒸發和濺射的優點,通過電場加速離子,使其撞擊基材并沉積形成薄膜;真空鍍膜在所有被鍍材料中,以塑料較為常見。南京真空鍍膜廠家
真空鍍膜:技術原理:濺射鍍膜基本原理:充氬(Ar)氣的真空條件下,使氬氣進行輝光放電,這時氬(Ar)原子電離成氬離子(Ar),氬離子在電場力的作用下,加速轟擊以鍍料制作的陰極靶材,靶材會被濺射出來而沉積到工件表面。濺射鍍膜中的入射離子,一般采用輝光放電獲得,在l0-2Pa~10Pa范圍,所以濺射出來的粒子在飛向基體過程中,易和真空室中的氣體分子發生碰撞,使運動方向隨機,沉積的膜易于均勻。離子鍍基本原理:在真空條件下,采用某種等離子體電離技術,使鍍料原子部分電離成離子,同時產生許多高能量的中性原子,在被鍍基體上加負偏壓。這樣在深度負偏壓的作用下,離子沉積于基體表面形成薄膜。茂名小家電真空鍍膜真空鍍膜的操作規程:在離子轟擊和蒸發時,應特別注意高壓電線接頭,不得觸動,以防觸電。
磁控濺射的工作原理是指電子在電場E的作用下,在飛向基片過程中與氬原子發生碰撞,使其電離產生出Ar正離子和新的電子;新電子飛向基片,Ar離子在電場作用下加速飛向陰極靶,并以高能量轟擊靶表面,使靶材發生濺射。在濺射粒子中,中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜,而產生的二次電子會受到電場和磁場作用,產生E(電場)×B(磁場)所指的方向漂移,簡稱E×B漂移,其運動軌跡近似于一條擺線。若為環形磁場,則電子就以近似擺線形式在靶表面做圓周運動,它們的運動路徑不僅很長,而且被束縛在靠近靶表面的等離子體區域內,并且在該區域中電離出大量的Ar 來轟擊靶材,從而實現了高的沉積速率。
在真空鍍膜工藝中,反應氣體的控制是實現高質量鍍膜的關鍵。有效的氣體控制可以確保鍍膜過程的穩定性和可控性,從而提高鍍膜的質量和性能。以下是幾種常用的反應氣體控制方法:流量控制:通過精確控制反應氣體的流量,可以確保鍍膜過程中氣體濃度的穩定性和均勻性。這通常需要使用高精度的氣體質量流量控制器(MFC)來實現。MFC能夠實時監測和控制氣體流量,確保鍍膜過程中的氣體供應穩定可靠。壓力控制:真空鍍膜過程中的氣體壓力對鍍膜質量和性能具有重要影響。通過精確控制真空室內的氣體壓力,可以優化鍍膜過程并提高鍍膜質量。這通常需要使用高精度的真空泵和壓力傳感器來實現。真空鍍膜過程中需避免鍍膜材料污染。
通過PVD制備的薄膜通常存在應力問題,不同材料與襯底間可能存在壓應力或張應力,在多層膜結構中可能同時存在多種形式的應力。薄膜應力的起源是薄膜生長過程中的某種結構不完整性(雜質、空位、晶粒邊界、錯位等)、表面能態的存在、薄膜與基底界面間的晶格錯配等.對于薄膜應力主要有以下原因:1.薄膜生長初始階段,薄膜面和界面的表面張力的共同作用;2.沉積過程中膜面溫度遠高于襯底溫度產生熱應變;3.薄膜和襯底間點陣錯配而產生界面應力;4.金屬膜氧化后氧化物原子體積增大產生壓應力;5.斜入射造成各向異性成核、生長;6.薄膜內產生相變或化學組分改變導致原子體積變化 先進的真空鍍膜技術提升產品美觀度。南京真空鍍膜廠家
真空鍍膜機壓鑄技術用于生產鋁、鎂、鋅、銅基合金鑄件,在機械制造行業應用已有多年的歷史。南京真空鍍膜廠家
基材表面可能存在的氧化物和銹蝕也是影響鍍膜質量的重要因素。這些雜質會在鍍膜過程中形成缺陷,降低鍍層的附著力和耐久性。因此,在預處理過程中,需要使用酸、堿、溶劑等化學藥液浸泡或超聲波、等離子清洗基材,以去除表面的氧化物、銹蝕等雜質。處理后的基材表面應呈現清潔、無銹蝕的狀態,為后續的鍍膜操作提供干凈、新鮮的金屬表面。活化處理是預處理過程中的重要一環。通過在弱酸或特殊溶液中侵蝕基材表面,可以去除表面的鈍化層,提高表面的活性。活化處理有助于促進鍍膜材料與基材表面的化學反應或物理結合,提高鍍膜的結合力和耐久性。同時,活化處理還可以進一步清潔基材表面,確保鍍膜材料與基底之間的緊密結合。南京真空鍍膜廠家