微電子材料所指的材料范圍很廣,這是因?yàn)槲㈦娮釉O(shè)備很復(fù)雜,包含大量的單個(gè)組件。例如,微處理器的失效分析可能會(huì)要求金相工作者正好從多層鍍層(例如氧化物、聚合物、易延展的金屬如銅或鋁、難熔金屬如鎢或鈦-鎢)的硅片的橫截面切割。另外,包裝材料也可能含有機(jī)械性能各異的材料如I氧化鋁或焊料。這些焊料有可能含有高達(dá)97%的鉛。可以想象將這么多性能各異的材料整合到一個(gè)單一的設(shè)備里,并開發(fā)出一個(gè)適用于所有材料的制備程序的可能性就不存在,所以我們必須將注意力集中在幾種材料上,去開發(fā)我們所要關(guān)注材料的試樣制備程序。初定義的微電子材料是硅。硅是一種相當(dāng)硬的脆的材料,不容易用大顆粒的SiC研磨。因?yàn)镾iC砂紙粘有堅(jiān)硬的磨削顆粒,當(dāng)它們接觸時(shí)會(huì)在硅片的邊緣造成損傷。另外,會(huì)在硅片的邊緣產(chǎn)生拉應(yīng)力,將導(dǎo)致較深的破壞裂紋。盡量接近切割目標(biāo)區(qū)切割,但也不能太接近目標(biāo)區(qū)切割,精細(xì)研磨仍然是必不可少的。因此硅的制備被劃分成兩種截然不同的方法,第一種是傳統(tǒng)的金相方法,第二種用特殊的夾具和研磨顆粒制備沒有封裝的硅片。磨拋機(jī)在工業(yè)生產(chǎn)線上的集成應(yīng)用方式?山東金相磨拋機(jī)替代斯特爾
現(xiàn)代制備方法新的制備概念和新的制備材料被大量引入試樣制備領(lǐng)域,使得金相工作者利用較短的時(shí)間就可獲得一個(gè)更理想的結(jié)果。大部分這些改善都是想法減少或取消研磨步驟中防水SiC砂紙的使用。幾乎所有的初步驟都要用SiC砂紙,但也有許多材料可以用其它材料替代SiC砂紙。第一步使用SiC砂紙沒有任何不對(duì),只是使用周期太短。如果自動(dòng)設(shè)備使用,試樣被緊緊固定在試樣夾持器(中心加載),第一步必須將每個(gè)試樣上的切割損傷去除,同時(shí)把每個(gè)試樣磨到同一平面。因此第一步經(jīng)常被稱為“磨平研磨”,SiC砂紙可以用于該步驟,盡管可能會(huì)消耗不止一張的SiC砂紙。磨平步驟也可以用45pm金屬黏結(jié)盤來實(shí)現(xiàn),或者用30pm樹脂黏結(jié)盤來實(shí)現(xiàn),具體選擇主要根據(jù)被制備材料。硬研磨盤不含研磨介質(zhì),必須添加相應(yīng)的研磨介質(zhì),簡單的辦法就是加懸浮液。對(duì)大多數(shù)金屬和合金而言,由于多晶人造金剛石懸浮液比單晶人造金剛石懸浮液切割效率高,所以使用多晶人造金剛石懸浮液要比單晶人造金剛石懸浮液獲得的效果要高的多。磨平步驟也可以用45pm金屬黏結(jié)盤來實(shí)現(xiàn),或者用30pm樹脂黏結(jié)盤UltraPrep來實(shí)現(xiàn),或者用ApexHerculesH硬研磨盤及15pm或30pm金剛石盤來實(shí)現(xiàn),具體選擇主要根據(jù)被制備的材料。湖北PCB研磨金相磨拋機(jī)廠家直銷賦耘磨拋機(jī)的防塵措施及對(duì)工作環(huán)境的改善效果?
金相全自動(dòng)研磨拋光設(shè)備采用多頭試樣夾持器,初的磨拋步驟叫磨平步驟。本步驟必須把切割損傷去除,以便給所有的試樣建立一個(gè)統(tǒng)一的平面,保證在隨后的步驟中每一個(gè)試樣所受的影響都一樣。碳化硅和氧化鋁砂紙通常被用于磨平步驟,并且效果理想。除了這些砂紙之外,還有其它的選擇。其中一種,是用傳統(tǒng)的氧化鋁磨拋石磨平。這就要求一部特殊的設(shè)備,氧化鋁磨拋石必須高速旋轉(zhuǎn),≥1500rpm以有效研磨。這些氧化鋁磨拋石除了必須定期用金剛石韌磨以保持平整度,研磨損傷大及研磨顆粒容易嵌到試樣里可能會(huì)是一個(gè)要面對(duì)的問題。其它材料也被用于磨平步驟和隨后的步驟,以替代SiC砂紙。對(duì)那些非常硬的材料,如陶瓷和燒結(jié)碳化物,一個(gè)或多個(gè)金屬黏結(jié)或樹脂黏結(jié)的金剛石磨盤(傳統(tǒng)類型)粒度從70μm到9μm可以使用。
金相磨拋機(jī)、金相拋光機(jī)和金相預(yù)磨機(jī)在金相分析中起著不同的作用,其區(qū)別如下:金相預(yù)磨機(jī)主要用于在金相試樣制備的初期階段。它的作用是對(duì)切割后的試樣進(jìn)行粗磨,去除切割時(shí)產(chǎn)生的變形層和劃痕等。預(yù)磨機(jī)通常采用不同粒度的砂輪,通過旋轉(zhuǎn)的砂輪與試樣接觸進(jìn)行磨削。其特點(diǎn)是磨削效率較高,但磨削后的表面較為粗糙,仍需進(jìn)一步處理。金相拋光機(jī)則專注于對(duì)試樣進(jìn)行精細(xì)拋光。它通過高速旋轉(zhuǎn)的拋光盤和拋光劑的作用,使試樣表面達(dá)到光滑如鏡的效果,以便在顯微鏡下進(jìn)行觀察和分析。拋光機(jī)的拋光盤材質(zhì)多樣,如羊毛盤、絲綢盤等,配合不同的拋光劑可以滿足不同材料的拋光需求。金相磨拋機(jī)則是一種集成了磨削和拋光功能的設(shè)備。它可以先進(jìn)行粗磨,然后自動(dòng)切換到拋光程序,方便快捷。磨拋機(jī)通常具有多個(gè)磨盤和拋光盤,可根據(jù)需要選擇不同的磨削和拋光參數(shù)。它減少了試樣在不同設(shè)備之間轉(zhuǎn)移的時(shí)間和操作步驟,提高了工作效率。總的來說,金相預(yù)磨機(jī)側(cè)重于粗磨,為后續(xù)的精細(xì)處理打下基礎(chǔ);金相拋光機(jī)專注于拋光,使試樣表面達(dá)到高平整度;而金相磨拋機(jī)則兼具磨削和拋光功能,為金相分析提供了更高效的解決方案。
賦耘磨拋機(jī)對(duì)陶瓷材料磨拋的效果及操作要點(diǎn)?
金相研磨機(jī)磨盤直徑有200mm、230mm、250mm、300mm可選!大直徑的研磨盤會(huì)增加試樣在給定時(shí)間內(nèi)的運(yùn)動(dòng)距離。例如,轉(zhuǎn)速一樣時(shí),試樣在直徑10英寸或直徑12英寸(250或300mm)研磨盤上的運(yùn)動(dòng)距離,分別是在8英寸(200mm)直徑研磨盤上運(yùn)動(dòng)距離的。因此當(dāng)使用10英寸或12英寸(250或300mm)研磨盤時(shí),建議將時(shí)間減少為8英寸(200mm)研磨盤的80%或67%。大直徑的研磨機(jī)的試樣制備時(shí)間要短,但耗材消耗稍多,所以大直徑的研磨機(jī)更適合試樣數(shù)量多試樣尺寸大的地方使用。根據(jù)報(bào)道,研磨和拋光速率因晶體方向不同而不同。錸是非常敏感于冷作的金屬,并生產(chǎn)機(jī)械孿晶。.鉭是比鈮更軟的更難制備的金屬,因?yàn)樗菀子汕懈詈脱心ギa(chǎn)生變形層。鉭可能會(huì)含有硬的相,這將引起難控制的浮雕問題。釩是軟的有延展性的金屬,可能因氫變脆,否則釩就可以象不銹鋼那樣制備了。盡管研磨和拋光的速率較低,但鎢制備不是很難。硬的碳化物和氧化物可能會(huì)出現(xiàn)在這些金屬里,這將浮雕缺陷問題的產(chǎn)生。機(jī)械拋光經(jīng)常會(huì)在步驟使用侵蝕拋光劑或者跟隨一個(gè)震動(dòng)拋光步驟或化學(xué)拋光步驟。手工制備這些金屬和合金相對(duì)乏味,因?yàn)樗鼈兊难心ズ蛼伖馑俣刃侍汀R话阃扑]使用自動(dòng)制備方法,特別當(dāng)采用侵蝕拋光時(shí)。磨拋機(jī)的防塵措施及對(duì)工作環(huán)境的改善效果?山東金相磨拋機(jī)替代斯特爾
賦耘金相磨拋機(jī)不同型號(hào)的功能差異及適用場景?山東金相磨拋機(jī)替代斯特爾
金相研磨機(jī)磨盤直徑有200mm、230mm、250mm、300mm可選!大直徑的研磨盤會(huì)增加試樣在給定時(shí)間內(nèi)的運(yùn)動(dòng)距離。例如,轉(zhuǎn)速一樣時(shí),試樣在直徑10英寸或直徑12英寸(250或300mm)研磨盤上的運(yùn)動(dòng)距離,分別是在8英寸(200mm)直徑研磨盤上運(yùn)動(dòng)距離的。因此當(dāng)使用10英寸或12英寸(250或300mm)研磨盤時(shí),傳統(tǒng)控制方法對(duì)于復(fù)雜性、不確定性、突變性所帶來的問題總有些力不從心。為了適應(yīng)不同技術(shù)領(lǐng)域和社會(huì)發(fā)展對(duì)控制科學(xué)提出的新要求,我們必須發(fā)展新的控制模式。近年來,在傳統(tǒng)控制中加人邏輯推理和啟發(fā)式知識(shí),將傳統(tǒng)控制理論與模糊邏輯拋光機(jī)的智能控制。賦耘金相研磨機(jī)磨盤直徑有200mm、230mm、250mm、300mm可選!大直徑的研磨盤會(huì)增加試樣在給定時(shí)間內(nèi)的運(yùn)動(dòng)距離。例如,轉(zhuǎn)速一樣時(shí),試樣在直徑10英寸或直徑12英寸(250或300mm)研磨盤上的運(yùn)動(dòng)距離,分別是在8英寸(200mm)直徑研磨盤上運(yùn)動(dòng)距離的。因此當(dāng)使用10英寸或12英寸(250或300mm)研磨盤時(shí),建議將時(shí)間減少為8英寸(200mm)研磨盤的80%或67%。大直徑的研磨機(jī)的試樣制備時(shí)間要短,但耗材消耗稍多,所以大直徑的研磨機(jī)更適合試樣數(shù)量多試樣尺寸大的地方使用。山東金相磨拋機(jī)替代斯特爾