激光干涉儀具有有線性測量鏡組、角度測量鏡組、平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準直輔助鏡等等，實際使用中，有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用，以滿足測量需要。比如角度測量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測量鏡組中的反射鏡;激光器準直輔助鏡的使用可以減少準直調整的時間。同時，激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用，常見的利用分光鏡或者光學直角器，達到改變光路，方便測量的目的。這需要，了解設備性能、掌握測量技巧，在滿足測量準確度的前提下活學活用。激光干涉儀可以進行機床振動測試與分析。濟南數控軸精度激光干涉儀

利用激光干涉儀的線性測長功能，不但能夠測量出數控機床的定位精度、重復定位精度和反向間隙等數據并對精度進行補償。還能幫助我們利用檢測圖形和數據，來分析數控機床出現故障的原因及解決辦法，從而迅速恢復機床，縮短數控機床維修時間，提高數控機床維修的效率。激光干涉儀是根據光學干涉基本原理設計而成的。具體到API激光干涉儀，即激光器射出單一頻率波，當此光束抵達偏振分光鏡時，會被分為兩道光束(一道反射光束和一道投射光束)，在這兩道光射向其反光鏡，然后透過分光鏡反射回去，在激光頭內的探測器形成一道干涉光束，若光程差沒有任何變化，探測器會在每一次光程改變時，在相長性和相消性干涉的兩極找到變動的信號。計算處理系統可以通過此變化來測量兩光程間差異變化。濟南數控軸精度激光干涉儀激光干涉儀受環境因素影響較大。

激光干涉儀以光波為載體，具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、較高測速下分辨率高等特點，其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標準。因此，激光干涉儀普遍應用于數控機床、PCB鉆孔機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質量控制與校準以及科研開發、設備制造等領域。激光干涉儀的工作原理：激光干涉儀發射單一頻率光束，光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，然后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒有變化時，激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。若光程差有變化時，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化

激光干涉儀是激光在計量領域中比較成功的應用之一。利用光的干涉實現測量，具有非接觸、無損檢測的特點，已經在各個不同領域得到普遍的應用。現代激光干涉技術是在人類關于光學的幾乎全部知識的基礎上發展起來的。激光與普通光源相比，具有一些獨特的性質：單色性好、相干性好、方向性強、亮度高。激光干涉儀是以激光波長為已知長度，利用邁克爾遜干涉系統測量位移的通用長度測量，普遍應用于各領域，已經成為人類認知世界的重要工具。由于激光具有極好的時間相干性，自問世以來，已研制出多種激光干涉儀：單頻激光干涉儀、激光干涉儀、半導體激光干涉儀、法布里-珀羅（f-p）干涉儀、x射線干涉儀等。激光干涉儀系統可同步測量大型龍門移動式數控機床。

激光干涉儀引力波探測器對光學鏡的要求：(1)體積和重量；激光干涉儀引力波探測器的臂長一般為千米量級,由于光束傳播過程中的發散,光斑變大。為了避免邊緣效應光學鏡的直徑都比較大,如LIGO鏡子的直徑是25cm。由于輻射壓力噪聲與鏡子的質量成反比,為了降低這種噪聲提高它的靈敏度,鏡子的質量一般為20kg左右。(2)熱傳導及熱噪聲；當激光干涉儀引力波探測器運行時,臂上法布里-珀羅腔內的激光功率非常強,例如高級LIGO達到800kW以上,因此,鏡子要有很好的散熱性,而且鏡子內部不能有結構上的缺陷。為減小由于局部發熱而產生的熱噪聲和避免鏡面的熱損傷,鏡子材料一般為熔硅。激光干涉儀配有各種附件，可測量小角度、平面度、直線度、平 行度、垂直度等形位誤差。濟南數控軸精度激光干涉儀

激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快。濟南數控軸精度激光干涉儀

激光干涉儀是精度比較高的線性位移測量儀器，其光波可以直接對米進行定義，可溯源至國家標準。但是我們在使用中往往會出現檢測偏離值，偏離我們的預估，以至于在高精度檢測時，對設備產生懷疑。因測量光學鏡組的安裝高度不在被測設備的運動軸上引起的測量誤差稱之為阿貝誤差。產生的原因是設備移動時存在俯仰、扭擺差，因此光學鏡組與運動軸偏置距離越遠，引起的阿貝誤差越大。環境補償單元能準確采集空氣溫度、壓力、相對濕度信息，基于Edlen公式計算空氣折射率，以此對激光波長進行補償。濟南數控軸精度激光干涉儀

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