激光具有高的強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩頻氦氖激光為光源，構成一個具有干涉作用的測量系統。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。以激光波長為已知長度利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量.工具激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。激光干涉儀使用注意事項：避免劃傷或腐蝕導軌面絲桿，保持其不失油。數控軸垂直度激光干涉儀加工生產

激光干涉儀有單頻的和的兩種。單頻激光干涉儀：從激光器發出的光束，經擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號，經整形、放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數，再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為激光波長(N為電脈沖總數)，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩定狀態，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。濟南機床精度激光干涉儀維修激光干涉儀使用注意事項：如必須擦拭則應當小心擦拭，利用科學的方法進行清潔。

為什么要用雙頻激光干涉儀？單頻激光干涉儀是一種直流測量系統，存在較大的零漂；同時由于空氣湍流，機床油霧，切削屑等會使光束發生偏移或波面扭曲，導致激光束強度發生變化，就有可能使光電信號低于計數器的觸發電平而使計數器停止計數。雙頻激光干涉儀的信號交流信號，因而對于雙頻激光干涉儀來說，可用放大倍數較大的交流放大器對干涉信號進行放大，這樣，即使光強衰減90%，依然可以得到合適的電信號。雙頻激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等，也可以在普通車間內為大型機床的刻度進行標定。

激光干涉儀：誤差影響精確度：大氣折射率。激光頻率穩定性：在激光干涉儀中，將激光波長作為長度基準，激光頻率變化直接影響測量結果。余弦誤差：在測定三坐標測量機的定位誤差時，需仔細調整，使光束與滑座的運動方向平等。死程誤差：在零位時，激光干涉儀兩相干光的還有一段光程差，這一段光程差稱為死程。死程的變化會引起測量誤差，死程誤差是激光干涉儀的一項重要誤差。細分誤差：在干涉條紋一個周期內由插細分不均勻引起的誤差。激光干涉儀可按照規定標準處理測量數據并輸出誤差曲線。

激光干涉儀常配合筆記本電腦使用，但如果不注意使用的問題，無論是軟件矛盾、抑或是電腦病毒，往往會影響到測量和使用。激光干涉儀具有有線性測量鏡組、角度測量鏡組、平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準直輔助鏡等等，實際使用中，有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用，以滿足測量需要。比如角度測量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測量鏡組中的反射鏡;激光器準直輔助鏡的使用可以減少準直調整的時間。同時，激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用，常見的利用分光鏡或者光學直角器，達到改變光路，方便測量的目的。這需要，了解設備性能、掌握測量技巧，在滿足測量準確度的前提下活學活用。用激光干涉儀對數控機床進行定位精度檢測。濟南機床精度激光干涉儀維修

激光干涉儀為數控機床的誤差修正提供可靠依據，現場使用尤為方便。數控軸垂直度激光干涉儀加工生產

激光干涉儀初步調整后，固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶，通過“整體”調整精確瞄準光靶后，取下分光鏡光靶，將Z軸升高，觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度，同時透過“尾部”調整使激光對準反光鏡光靶，若在此過程中因“尾部”的調整導致分光鏡遮擋了部分激光，則將Z軸停止上升回到起始處，重新調整“整體”，再次對準反射鏡光靶。緊接著再升Z軸，繼續調整“尾部”，觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度。重復整個過程，往往幾次即可達到準直要求。數控軸垂直度激光干涉儀加工生產