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四川數(shù)控軸幾何參量激光干涉儀設(shè)計(jì)

來源: 發(fā)布時(shí)間:2022年06月24日

激光干涉儀常配合筆記本電腦使用,但如果不注意使用的問題,無論是軟件矛盾、抑或是電腦病毒,往往會(huì)影響到測量和使用。激光干涉儀具有有線性測量鏡組、角度測量鏡組、平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準(zhǔn)直輔助鏡等等,實(shí)際使用中,有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用,以滿足測量需要。比如角度測量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測量鏡組中的反射鏡;激光器準(zhǔn)直輔助鏡的使用可以減少準(zhǔn)直調(diào)整的時(shí)間。同時(shí),激光干涉儀各個(gè)測量鏡組也可以在別的測量工作中使用,常見的利用分光鏡或者光學(xué)直角器,達(dá)到改變光路,方便測量的目的。這需要,了解設(shè)備性能、掌握測量技巧,在滿足測量準(zhǔn)確度的前提下活學(xué)活用。激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器,可直接用于高精度、大 尺寸的動(dòng)態(tài)位移測量系統(tǒng)。四川數(shù)控軸幾何參量激光干涉儀設(shè)計(jì)

四川數(shù)控軸幾何參量激光干涉儀設(shè)計(jì),激光干涉儀

隨著數(shù)控機(jī)床應(yīng)用的普及,采用激光干涉儀對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行定位精度檢測已經(jīng)成為目前公認(rèn)的高效、高精度的檢測方法。激光干涉儀測量原理:激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個(gè)反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會(huì)有一個(gè)探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉。若光程差沒有變化時(shí),探測器會(huì)在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。四川數(shù)控軸幾何參量激光干涉儀設(shè)計(jì)激光干涉儀是一種高精度位移傳感器。

四川數(shù)控軸幾何參量激光干涉儀設(shè)計(jì),激光干涉儀

激光干涉儀是以激光波長為長度計(jì)量基準(zhǔn)的高精度測量儀器,隨著雙頻激光干涉儀的出現(xiàn),因其具有性能穩(wěn)定、檢測精度高及數(shù)據(jù)可靠性好等優(yōu)點(diǎn),已成為高精密機(jī)械生產(chǎn)中校準(zhǔn)及補(bǔ)償?shù)臉?biāo)準(zhǔn)儀器,在機(jī)械制造、金屬切削加工及航空航天等領(lǐng)域得到了普遍的應(yīng)用。激光干涉儀有單頻和雙頻之分,單頻激光干涉儀受環(huán)境因素影響較大,一般用于特定環(huán)境的實(shí)驗(yàn)室。雙頻激光干涉儀應(yīng)用頻率變化來測量位移,對(duì)由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感,抗干擾能力強(qiáng),普遍應(yīng)用于各種工況下。

激光干涉儀以干涉技術(shù)為關(guān)鍵,其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。軟件強(qiáng):友好的人機(jī)界面;豐富的應(yīng)用功能模塊;向?qū)降牟僮髁鞒蹋缓啙嵒挠涗浌芾恚恢С种形摹⒂⑽暮投砦慕缑妫恢С制髽I(yè)專屬模板定制。激光干涉儀是精度比較高的線性位移測量儀器,其光波可以直接對(duì)米進(jìn)行定義。

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干涉儀是以激光波長為已知長度、利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量工具。有單頻的和雙頻的兩種。單頻的是在20世紀(jì)60年代中期出現(xiàn)的,初用于檢定基準(zhǔn)線紋尺,后又用于在計(jì)量室中精密測長。雙頻激光干涉儀是1970年出現(xiàn)的,它適宜在車間中使用。激光干涉儀在極接近標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(溫度為20℃、大氣壓力為101325帕、相對(duì)濕度59%、CO2含量0.03%)下的測量精確度很高,可達(dá)1×10。在通常情況下需要數(shù)天時(shí)間進(jìn)行的測試,使用API激光干涉儀只需幾個(gè)小時(shí)即可完成,實(shí)際應(yīng)用結(jié)果表明,節(jié)省時(shí)間可達(dá)80%。該儀器體積小,重量輕,可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上。激光干涉儀的維護(hù):儀器應(yīng)妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi)。四川數(shù)控軸幾何參量激光干涉儀設(shè)計(jì)

激光干涉儀哪種質(zhì)量比較好?四川數(shù)控軸幾何參量激光干涉儀設(shè)計(jì)

激光干涉儀組件:要測量線性軸的定位精度、重復(fù)定位精度和反向間隙等數(shù)據(jù),需要使用激光測量系統(tǒng)的以下組件,主要有:XL激光頭、三腳架和云臺(tái)、XC環(huán)境補(bǔ)償單元、空氣溫度傳感器和材料溫度傳感器、線性測量光學(xué)鏡組、光學(xué)鏡安裝組件及安裝激光測量軟件的計(jì)算機(jī)。激光干涉儀工作原理多普勒效應(yīng)(DopplerEffect):任何形式的波傳播,都是由于波源、傳播介質(zhì)或中間反射器的運(yùn)動(dòng),會(huì)使頻率發(fā)生變化的現(xiàn)象。這種因多普勒效應(yīng)所引起的頻率變化稱為多普勒偏移或頻移(DopplerShift),其頻移大小與介質(zhì)、波源和觀察物的運(yùn)動(dòng)有關(guān)。四川數(shù)控軸幾何參量激光干涉儀設(shè)計(jì)

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