激光干涉儀當高壓連接在陽極和陰極之間時，混合氣體被激發，形成激光光束，通過放大激光光強使一些光透射出來成為輸出激光光束。其中，為實現平衡狀態，通過加熱器控制激光管長度讓激光穩頻的精度保持在±0.05ppm以內，此時穩定輸出后，激光器即可進行干涉測量。如今大多數現代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管，這些激光管具有633納米的波長輸出。激光器的頻率、功率、穩定性、可靠性、光束質量及壽命等指標參數，都關系著激光干涉儀的Z終性能。其中激光頻率是激光干涉儀Z基本的參數，其頻率(波長)的準確性和穩定性是激光干涉儀測量精度的保證。影響激光干涉儀測量精度的因素包括：反射鏡、角錐棱角誤差。數控機床激光干涉儀維護

隨著高精度數控機床行業的快速發展，激光干涉儀在機床行業的使用越來越普遍，然而其在使用過程中對激光光路的準直調整卻一直是困擾廣大激光干涉儀用戶的一大問題，因為激光干涉儀在使用過程中光路準直調整占用了很大一部分時間。目前大多數生產企業的激光干涉儀操作人員的校準方法都是憑經驗，來回反復調整，也有人提出“高處動尾部，低處動整體”的方法。其實后一種方法只是對前者的一種方法的經驗總結，后一種方法是從整體上把握了調整的方向，可以讓操作人員少走彎路，但并未提出一種定量的調整方法，所以在光路大體調整好后，還是靠經驗感覺反復進行進一步精調，所以光路準直工作的效率還是亟待提高。數控軸直線度激光干涉儀哪家好激光干涉儀有哪些種類？

激光干涉儀發射單一頻率光束，光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，Z后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒有變化時，激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。若光程差有變化時，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。激光干涉儀發射單一頻率光束，光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，Z后重新匯聚返回激光干涉儀。若光程差沒有變化時，激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。若光程差有變化時，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。

激光干涉儀的應用：幾何精度檢測。可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。位置精度的檢測及其自動補償可檢測數控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用激光干涉儀不只能自動測量機器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償，比通常的補償方法節省了大量時間，并且避免了手工計算和手動數控鍵入而引起的操作者誤差，同時可比較大限度地選用被測軸上的補償點數，使機床達到比較佳精度，另外操作者無需具有機床參數及補償方法的知識。激光干涉儀配有各種附件，可測量小角度、平面度、直線度、平 行度、垂直度等形位誤差。

激光干涉儀具有有線性測量鏡組、角度測量鏡組、平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準直輔助鏡等等，實際使用中，有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用，以滿足測量需要。比如角度測量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測量鏡組中的反射鏡;激光器準直輔助鏡的使用可以減少準直調整的時間。同時，激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用，常見的利用分光鏡或者光學直角器，達到改變光路，方便測量的目的。這需要，了解設備性能、掌握測量技巧，在滿足測量準確度的前提下活學活用。激光干涉儀的測量讀數均與激光波長有關。遼寧激光干涉儀定制

激光干涉儀使用注意事項：盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等。數控機床激光干涉儀維護

激光干涉儀的測試質量是由鏡子本身和反沖質量組成的復合體。這個復合體是將鏡子的一部分嵌在一個與其質量相等的反沖質量體內做成的。鏡子和反沖質量兩者的縱軸要重合,鏡體的背面分布著四個永磁體做成的針,而相應的線圈固定在反沖質量體與其相對的面上。針伸入對應的線圈內,組成磁鐵-線圈驅動器。這四組磁鐵-線圈驅動器用來調整和控制鏡體的方向和位置。在激光干涉儀引力波探測器運行過程中,需要使用光杠桿對測試質量的狀態進行實時控制,使干涉儀穩定地保持鎖定狀態。數控機床激光干涉儀維護