激光具有高的強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。目前常用來測量長度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,并以穩頻氦氖激光為光源,構成一個具有干涉作用的測量系統。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。以激光波長為已知長度利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量.工具激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。激光干涉儀要設置專庫存放,環境要求干燥、通風、防震、防霧。上海高精度測量激光干涉儀廠商
激光干涉儀:誤差影響精確度:大氣折射率。激光頻率穩定性:在激光干涉儀中,將激光波長作為長度基準,激光頻率變化直接影響測量結果。余弦誤差:在測定三坐標測量機的定位誤差時,需仔細調整,使光束與滑座的運動方向平等。死程誤差:在零位時,激光干涉儀兩相干光的還有一段光程差,這一段光程差稱為死程。死程的變化會引起測量誤差,死程誤差是激光干涉儀的一項重要誤差。細分誤差:在干涉條紋一個周期內由插細分不均勻引起的誤差。安徽數控軸平面度激光干涉儀供應商激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應同步器等精密測量元件的檢測。
隨著高精度數控機床行業的快速發展,激光干涉儀在機床行業的使用越來越普遍,然而其在使用過程中對激光光路的準直調整卻一直是困擾廣大激光干涉儀用戶的一大問題,因為激光干涉儀在使用過程中光路準直調整占用了很大一部分時間。目前大多數生產企業的激光干涉儀操作人員的校準方法都是憑經驗,來回反復調整,也有人提出“高處動尾部,低處動整體”的方法。其實后一種方法只是對前者的一種方法的經驗總結,后一種方法是從整體上把握了調整的方向,可以讓操作人員少走彎路,但并未提出一種定量的調整方法,所以在光路大體調整好后,還是靠經驗感覺反復進行進一步精調,所以光路準直工作的效率還是亟待提高。
影響激光干涉儀測量精度的因素包括:①激光器頻率(波長)及頻率穩定性;②測量讀數軟件系統帶來的誤差;③反射鏡、角錐棱角誤差;④溫濕度、壓力傳感器誤差;當然,在具體測量任務中的測量精度還與測量人員、現場環境條件等因素有關。激光干涉儀的使用注意事項:激光干涉儀必須定人保管,機加技術組人員專人使用,專人送檢,他人不得隨意動用,以防損壞,降低精度。激光干涉儀要設置專庫存放,環境要求干燥、通風、防震、防霧、防塵、防銹。儀器應保持干燥。各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫,儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。激光干涉儀在機床中的應用是其它傳統測量手段難以實現和替代的。
激光干涉儀以光波為載體,具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、比較高測速下分辨率高等特點,其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標準。因此,激光干涉儀普遍應用于數控機床、PCB鉆孔機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質量控制與校準以及科研開發、設備制造等領域。激光干涉儀會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。若光程差有變化時,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。激光干涉儀發射單一頻率光束,光束射入線性干涉鏡后分成兩道光束射向反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,比較后重新匯聚返回激光干涉儀。激光干涉儀可按照規定標準處理測量數據并輸出誤差曲線。進囗激光干涉儀廠家有哪些
激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器。上海高精度測量激光干涉儀廠商
干涉儀是以激光波長為已知長度、利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量工具。有單頻的和雙頻的兩種。單頻的是在20世紀60年代中期出現的,初用于檢定基準線紋尺,后又用于在計量室中精密測長。雙頻激光干涉儀是1970年出現的,它適宜在車間中使用。激光干涉儀在極接近標準狀態(溫度為20℃、大氣壓力為101325帕、相對濕度59%、CO2含量0.03%)下的測量精確度很高,可達1×10。在通常情況下需要數天時間進行的測試,使用API激光干涉儀只需幾個小時即可完成,實際應用結果表明,節省時間可達80%。該儀器體積小,重量輕,可以直接安裝到機床導軌上。上海高精度測量激光干涉儀廠商