激光干涉儀以光波為載體,具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、比較高測速下分辨率高等特點,其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標準。因此,激光干涉儀普遍應用于數控機床、PCB鉆孔機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質量控制與校準以及科研開發、設備制造等領域。激光干涉儀結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態測量軟件的配合下,激光干涉儀可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析。激光干涉儀的應用:數控機床動態性能檢測。數控設備定位精度激光干涉儀加工生產
激光干涉儀以干涉技術為關鍵,其光波可直接對米進行定義。可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;具有動態測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等;支持手動或自動進行環境補償。軟件強:友好的人機界面;豐富的應用功能模塊;向導式的操作流程;簡潔化的記錄管理;支持中文、英文和俄文界面;支持企業專屬模板定制。數控設備定位精度激光干涉儀加工生產激光干涉儀具有有線性測量鏡組、垂直度測量鏡組、激光器準直輔助鏡等等。
激光干涉儀當高壓連接在陽極和陰極之間時,混合氣體被激發,形成激光光束,通過放大激光光強使一些光透射出來成為輸出激光光束。其中,為實現平衡狀態,通過加熱器控制激光管長度讓激光穩頻的精度保持在±0.05ppm以內,此時穩定輸出后,激光器即可進行干涉測量。如今大多數現代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管,這些激光管具有633納米的波長輸出。激光器的頻率、功率、穩定性、可靠性、光束質量及壽命等指標參數,都關系著激光干涉儀的Z終性能。其中激光頻率是激光干涉儀Z基本的參數,其頻率(波長)的準確性和穩定性是激光干涉儀測量精度的保證。
激光干涉儀以干涉技術為關鍵,其光波可直接對米進行定義。激光干涉儀可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;具有動態測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等;支持手動或自動進行環境補償。軟件強:友好的人機界面;豐富的應用功能模塊;向導式的操作流程;簡潔化的記錄管理;支持中文、英文和俄文界面;支持企業專屬模板定制。激光干涉儀可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。
為什么要用雙頻激光干涉儀?單頻激光干涉儀是一種直流測量系統,存在較大的零漂;同時由于空氣湍流,機床油霧,切削屑等會使光束發生偏移或波面扭曲,導致激光束強度發生變化,就有可能使光電信號低于計數器的觸發電平而使計數器停止計數。雙頻激光干涉儀的信號交流信號,因而對于雙頻激光干涉儀來說,可用放大倍數較大的交流放大器對干涉信號進行放大,這樣,即使光強衰減90%,依然可以得到合適的電信號。雙頻激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計量室內檢定量塊,量桿,刻尺和坐標測量機等,也可以在普通車間內為大型機床的刻度進行標定。激光干涉儀有數控機床動態性能檢測的應用。數控設備定位精度激光干涉儀加工生產
激光干涉儀應避免在溫度變化大、有風、潮濕環境下測量。數控設備定位精度激光干涉儀加工生產
當高壓連接在陽極和陰極之間時,混合氣體被激發,形成激光光束,通過放大激光光強使一些光透射出來成為輸出激光光束。其中,為實現平衡狀態,通過加熱器控制激光管長度讓激光穩頻的精度保持在±0.05ppm以內,此時穩定輸出后,激光器即可進行干涉測量。如今大多數現代位移干涉儀都使用氦氖(HeNe)激光管,這些激光管具有633納米的波長輸出。從激光頭射出的激光光束①具有單一頻率,標稱波長為633nm,長期波長穩定性(真空中)優于0.05ppm。當此光束到達偏振分光鏡時,被分成兩束光——反射光束②和透射光束③。這兩束光被傳送到各自的角錐反射鏡中,然后反射回分光鏡中,在嵌于激光頭中的探測器中形成干涉光束④。數控設備定位精度激光干涉儀加工生產
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