激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計量測試方法，是公認的高精度、高靈敏度的檢測手段，在制造領域應用普遍。激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、測速下分辨率高、測量范圍大等優點。通過與不同的光學組件結合，可以實現對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關軟件的配合下，還可以對數控機床進行動態性能檢測，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態特性分析，驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性分析等，具有極高的精度和效率，為機床誤差修正提供依據。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用。深圳顯微式激光干涉儀加工設計

在激光干涉儀引力波探測器運行過程中,需要使用光杠桿對測試質量的狀態進行實時控制,使干涉儀穩定地保持鎖定狀態。光杠桿的工作原理如下:當干涉儀調整到初始工作狀態并鎖定之后,從激光器來的一束光射到鏡子背面選定的一個靈敏點上,經過反射后進入到一個多單元光探測器內,輸出一個確定的信號。當鏡子的角度偶然發生變動時,反射光束就入射到多單元光探測器的不同位置上,輸出一個位置誤差信號。該位置誤差信號經放大成形后輸入到一個自動控制系統,驅動設在鏡子背面相應的驅動裝置,使鏡子復原。由于激光器到鏡子的距離遠小于光探測器到鏡子的距離,在光探測器所處的位置上,反射光斑的位移會很大。因其作用類似于力學中的杠桿,故得其名。廣州機床精度激光干涉儀若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。

激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。激光具有強度較高、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，激光干涉儀并以穩頻氦氖激光為光源，構成一個具有干涉作用的測量系統。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。

激光干涉儀作為數控機床精度常用的檢測工具，能對數控機床進行線性測量、直線度測量、平面度測量、角度測量、回轉軸分度精度等進行測量。其中線性測量功能通過機床運行一段直線插補程序，能檢測線性坐標軸的定位精度、重復定位精度，反向間隙等。以我司生產的型號XL-80激光干涉儀為例，其線性測長精度可達到±0.5ppm(0~40℃)，線性測量比較長可以達到80m，比較高線性測長分辨率0.001μm，比較高測量速度240m/min。激光干涉儀以光波為載體，具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、Zgao測速下分辨率高等特點，其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標準。因此，激光干涉儀普遍應用于數控機床、PCB鉆孔機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質量控制與校準以及科研開發、設備制造等領域。激光干涉儀是以激光波長為長度計量基準的高精度測量儀器。

現代激光干涉技術是在人類關于光學的知識的基礎上發展起來的。激光與普通光源相比，具有一些獨特的性質：單色性好、相干性好、方向性強、亮度高。激光干涉儀是以激光波長為已知長度，利用邁克爾遜干涉系統測量位移的通用長度測量，普遍應用于各領域，已經成為人類認知世界的重要工具。由于激光具有極好的時間相干性，自問世以來，已研制出多種激光干涉儀：單頻激光干涉儀、激光干涉儀、半導體激光干涉儀、法布里-珀羅（f-p）干涉儀、x射線干涉儀等。激光干涉儀是激光在計量領域中比較成功的應用之一。利用光的干涉實現測量，具有非接觸、無損檢測的特點，已經在各個不同領域得到普遍的應用。激光干涉儀在制造領域應用普遍。廣東數控校準激光干涉儀廠家直銷

激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計量測試方法。深圳顯微式激光干涉儀加工設計

激光干涉儀的應用：1、幾何精度檢測可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。2、器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償，比通常的補償方法節省了大量時間，并且避免了手工計算和手動數控鍵入而引起的操作者誤差，同時可蕞大限度地選用被測軸上的補償點數，使機床達到蕞佳精度，另外操作者無需具有機床參數及補償方法的知識。3、數控轉臺分度精度的檢測及其自動補償現在，利用ML10激光干涉儀加上RX10轉臺基準還能進行回轉軸的自動測量。它可對任意角度位置，以任意角度間隔進行全自動測量，其精度達±1。新的國際標準已推薦使用該項新技術。它比傳統用自準直儀和多面體的方法不只節約了大量的測量時間，而且還得到完整的回轉軸精度曲線，知曉其精度的每一細節，并給出按相關標準處理的統計結果。深圳顯微式激光干涉儀加工設計