激光干涉儀作為數控機床精度常用的檢測工具,能對數控機床進行線性測量、直線度測量、平面度測量、角度測量、回轉軸分度精度等進行測量。其中線性測量功能通過機床運行一段直線插補程序,能檢測線性坐標軸的定位精度、重復定位精度,反向間隙等。以我司生產的型號XL-80激光干涉儀為例,其線性測長精度可達到±0.5ppm(0~40℃),線性測量比較長可以達到80m,比較高線性測長分辨率0.001μm,比較高測量速度240m/min。激光干涉儀以光波為載體,具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、Zgao測速下分辨率高等特點,其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標準。因此,激光干涉儀普遍應用于數控機床、PCB鉆孔機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質量控制與校準以及科研開發、設備制造等領域。激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、比較高測速下分辨率高、測量范圍大等優點。滄州機床誤差修正激光干涉儀設備廠家
激光干涉儀常配合筆記本電腦使用,但如果不注意使用的問題,無論是軟件矛盾、抑或是電腦病毒,往往會影響到測量和使用。激光干涉儀具有有線性測量鏡組、角度測量鏡組、平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準直輔助鏡等等,實際使用中,有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用,以滿足測量需要。比如角度測量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測量鏡組中的反射鏡;激光器準直輔助鏡的使用可以減少準直調整的時間。同時,激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用,常見的利用分光鏡或者光學直角器,達到改變光路,方便測量的目的。這需要,了解設備性能、掌握測量技巧,在滿足測量準確度的前提下活學活用。江蘇數控軸平行度激光干涉儀定購激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。
激光干涉儀在實際使用中,需要確認其在各個測量應用中能夠達到的真實精度水平以確保測量數據準確可靠。激光干涉儀的測量讀數Z終均與激光波長有關,因此激光器頻率的準確性和穩定性是激光干涉儀測量精度的保障。此外,激光干涉儀的環境條件補償系統(壓力、溫濕度傳感器)的讀數準確性對Z終的測量精度有著重要的影響。總結起來,影響激光干涉儀測量精度的因素包括:①激光器頻率(波長)及頻率穩定性;②測量讀數軟件系統帶來的誤差;③反射鏡、角錐棱角誤差;④溫濕度、壓力傳感器誤差;當然,在具體測量任務中的測量精度還與測量人員、現場環境條件等因素有關。
激光干涉儀還具有體積小、重量輕、移動靈活的特點,用12v電源,其耗電量極低,干涉圖像與對準系統同步、不需要切換,任何人都能簡單操作,非常適合大批量快速檢測。激光干涉儀成為眾多光學冷加工廠商的夢想與追求,擁有一臺激光干涉儀,就擁有世界先進的檢測手段,就擁有令人信服的檢測結果,就能證明可以生產先進的產品。激光干涉儀是以激光波長為已知長度,利用邁克爾遜干涉系統測量位移的通用長度測量,普遍應用于各領域,已經成為人類認知世界的重要工具。激光干涉儀通過與不同的光學組件結合,可以實現對直線度、垂直度、角度、平面度的測量。
多功能激光干涉儀,適用于測量光脈沖、電脈沖、磁脈沖和超快變電場以及超短光脈沖信號的變化。它含有超短脈沖發射光源、雙脈沖形成裝置、擴束器、微分時間延遲器、聚焦系統、干涉系統、轉換元件、干涉條紋和接收處理顯示系統、被測信號接口、同步裝置和補償元件。具有時間分辨率精度高、響應速度快、用途廣,可以實時測量的優點。多功能激光干涉儀由十一部分構成:超短脈沖發射光源1、雙脈沖形成裝置2、擴束器3、微分時間延遲器4、聚焦系統5、干涉系統6、轉換元件7、干涉條紋的接收處理顯示系統8、被測信號接口9、同步裝置10和補償元件11。其中,轉換元件7在干涉系統6的一個臂的光路A中,補償元件11是在干涉系統6的另一個臂的光路B中。若光程差沒有變化時,探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。深圳數控軸精度激光干涉儀維修
激光干涉儀受環境因素影響較大。滄州機床誤差修正激光干涉儀設備廠家
激光干涉儀的測量精度高:以激光干涉技術為關鍵,分辨率可達納米級;采用高精度環境補償模塊,解決溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環境因素對測量結果的影響;使用激光熱穩頻控制系統,保證激光長期穩頻精度;干涉鏡與主機分離設計,避免干涉鏡受熱變形,保證干涉光路穩定。具有實現線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能。可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等;同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并且可滿足回轉軸分度精度的測量。滄州機床誤差修正激光干涉儀設備廠家