激光干涉儀是利用激光作為長度基準(zhǔn)，對數(shù)控設(shè)備（加工中心、三座標(biāo)測量機等）的位置精度（定位精度、重復(fù)定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等）進行精密測量的精密測量儀器。為通過受激發(fā)射線的放射達到光的放大，即激光。大多數(shù)現(xiàn)代位移干涉儀都使用氦氛（He-Ne）激光管，這些激光管具有633納米（nm）的波長輸出。激光具有三個重要特性：激光波長非常穩(wěn)定，可以滿足精密測量的要求。激光波長非常短，可以用于高精度測量。激光具有干涉特性。激光干涉儀可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理測量數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線。廣州數(shù)控機床激光干涉儀設(shè)計

激光干涉儀laserinterferometer以激光波長為已知長度利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量.工具激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。激光具有高的強度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平。常用于檢定測長機、三坐標(biāo)測量機、光刻機和加工中心等的坐標(biāo)精度，也可用作測長機、高精度三坐標(biāo)測量機等的測量系統(tǒng)。利用相應(yīng)附件，還可進行高精度直線度測量、平面度測量、回轉(zhuǎn)精度測量、平行度測量和小角度測量。西安儀器校準(zhǔn)激光干涉儀設(shè)計影響激光干涉儀測量精度的因素包括：溫濕度、壓力傳感器誤差。

激光干涉儀使用環(huán)境：因為光學(xué)玻璃受熱變形將產(chǎn)生光學(xué)表面光圈的變化，溫度不穩(wěn)定將直接影響測量精度的可靠性，所以激光干涉儀的使用對環(huán)境也有一定的要求：1、溫度要求在20℃左右，濕度不大于60%。2、遠(yuǎn)離振動源，以免條紋產(chǎn)生抖動影響測量精度的判斷。目前激光干涉儀已普遍地應(yīng)用在光學(xué)加工企業(yè)、光學(xué)檢測機構(gòu)以及其他需要進行光學(xué)表面檢測的場合，南京光研推出的一款激光干涉儀還具有體積小、重量輕、移動靈活的特點，用12v電源，其耗電量極低，干涉圖像與對準(zhǔn)系統(tǒng)同步、不需要切換，任何人都能簡單操作，非常適合大批量快速檢測。

Z軸激光光路快速準(zhǔn)直方法具體調(diào)整方法如下：Z軸置于低處，利用激光器外殼中部的瞄準(zhǔn)槽，正對Z軸放置分光鏡，左右移開Z軸，觀察激光光路，保證激光轉(zhuǎn)向后大致平行于Z軸，左右移回Z軸放置線性反射鏡及光靶(可以蓋在反射或分光鏡上以幫助入眼瞄準(zhǔn)及控制光路的靶)，激光打在反射鏡光靶上。激光干涉儀初步調(diào)整后，固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶，通過“整體”調(diào)整精確瞄準(zhǔn)光靶后，取下分光鏡光靶，將Z軸升高，觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度，同時透過“尾部”調(diào)整使激光對準(zhǔn)反光鏡光靶，若在此過程中因“尾部”的調(diào)整導(dǎo)致分光鏡遮擋了部分激光，則將Z軸停止上升回到起始處，重新調(diào)整“整體”，再次對準(zhǔn)反射鏡光靶。激光干涉儀的測量精度高：以激光干涉技術(shù)為關(guān)鍵。

激光干涉儀的注意事項：儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無振動的環(huán)境中應(yīng)用。在移動儀器時，為防止導(dǎo)軌變形，應(yīng)托住底座再進行移動。儀器的光學(xué)零件在不用時，應(yīng)在清潔干燥的器皿中進行存放，以防止發(fā)霉。盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應(yīng)當(dāng)小心擦拭，利用科學(xué)的方法進行清潔。導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動部件，應(yīng)當(dāng)保持良好的潤滑。因此必要時要使用精密儀表油潤滑。在使用時應(yīng)避免強旋、硬扳等情況，合理恰當(dāng)?shù)恼{(diào)整部件。避免劃傷或腐蝕導(dǎo)軌面絲桿，保持其不失油。激光干涉儀以光波為載體，具有測量精度高、測量速度快的特點。廣州數(shù)控機床激光干涉儀設(shè)計

激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、平行度和垂直度等測量工作。廣州數(shù)控機床激光干涉儀設(shè)計

雖然激光干涉儀安裝組件比較齊全，但在實際使用過程中還是需要另外配置一些輔助工具：研制低高度云臺支架。部分機床工作臺高度與地面是基本相平的，那么測量Z軸時，如果使用激光干涉儀原裝三角架及云臺安放激光器于地面，則肯定會因為三角架本身的高度，損失測量范圍。磁性表座是激光干涉儀常用的輔助工具，選擇時需要注意，表座工作面上需有螺孔以配合安裝鏡組安裝桿，主磁性吸面位于底面和側(cè)面的表座各選擇兩個(實驗室或工廠多采用的是主磁性吸面位于底面的表座)，在測量時，往往側(cè)面吸的表座更利于激光干涉儀鏡組的安裝。廣州數(shù)控機床激光干涉儀設(shè)計