激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。激光具有強度較高、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，激光干涉儀并以穩頻氦氖激光為光源，構成一個具有干涉作用的測量系統。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。激光干涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角等。數控軸直線度激光干涉儀加工生產

激光干涉儀是利用激光作為長度基準，對數控設備（加工中心、三座標測量機等）的位置精度（定位精度、重復定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等）進行精密測量的精密測量儀器。激光干涉儀以光波為載體，具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、測速下分辨率高等特點，其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標準。因此，激光干涉儀普遍應用于數控機床、PCB鉆孔機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質量控制與校準以及科研開發、設備制造等領域。數控軸直線度激光干涉儀加工生產激光干涉儀的測量精度高。

激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計量測試方法，是公認的高精度、高靈敏度的檢測手段，在制造領域應用普遍。激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、測速下分辨率高、測量范圍大等優點。通過與不同的光學組件結合，可以實現對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關軟件的配合下，還可以對數控機床進行動態性能檢測，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態特性分析，驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性分析等，具有極高的精度和效率，為機床誤差修正提供依據。

激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體，產品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時；采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調理及細分技術，可實現較高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環境補償模塊，可實現激光波長和材料的自動補償；采用高性能計算機控制系統及軟件技術，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。可用激光干涉儀進行機床振動測試與分析。

隨著高精度數控機床行業的快速發展，激光干涉儀在機床行業的使用越來越普遍，然而其在使用過程中對激光光路的準直調整卻一直是困擾廣大激光干涉儀用戶的一大問題，因為激光干涉儀在使用過程中光路準直調整占用了很大一部分時間。目前大多數生產企業的激光干涉儀操作人員的校準方法都是憑經驗，來回反復調整，也有人提出“高處動尾部，低處動整體”的方法。其實后一種方法只是對前者的一種方法的經驗總結，后一種方法是從整體上把握了調整的方向，可以讓操作人員少走彎路，但并未提出一種定量的調整方法，所以在光路大體調整好后，還是靠經驗感覺反復進行進一步精調，所以光路準直工作的效率還是亟待提高。激光干涉儀的應用：數控機床動態性能檢測。數控軸直線度激光干涉儀加工生產

激光干涉儀哪種質量比較好？數控軸直線度激光干涉儀加工生產

激光干涉儀：誤差影響精確度：大氣折射率。激光頻率穩定性：在激光干涉儀中，將激光波長作為長度基準，激光頻率變化直接影響測量結果。余弦誤差：在測定三坐標測量機的定位誤差時，需仔細調整，使光束與滑座的運動方向平等。死程誤差：在零位時，激光干涉儀兩相干光的還有一段光程差，這一段光程差稱為死程。死程的變化會引起測量誤差，死程誤差是激光干涉儀的一項重要誤差。細分誤差：在干涉條紋一個周期內由插細分不均勻引起的誤差。數控軸直線度激光干涉儀加工生產

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