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儀器校準激光干涉儀加工設計

來源: 發布時間:2022年06月15日

激光干涉儀使用技巧;Z軸激光光路快速準直方法:用激光干涉儀進行線性測量時,Z軸測量時激光光路的準直相對X、Y軸準直來說,要困難的多。尤其是在Z軸距離較長的情況下,要保證激光光束經反射鏡反射后回到激先探測器的強度滿足測量對對光強的要求,準直激光光路往往需要很長時間。Z軸激光光路快速準直方法具體調整方法如下:Z軸置于低處,利用激光器外殼中部的瞄準槽,正對Z軸放置分光鏡,左右移開Z軸,觀察激光光路,保證激光轉向后大致平行于Z軸,左右移回Z軸放置線性反射鏡及光靶(可以蓋在反射或分光鏡上以幫助入眼瞄準及控制光路的靶),激光打在反射鏡光靶上。激光干涉儀的應用:數控機床動態性能檢測。儀器校準激光干涉儀加工設計

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激光干涉儀原理:激光器發射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會有一個探測器監控兩道光束之間的干涉(見圖)。若光程差沒有變化時,探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。若光程差有變化時,探測器會在每一次光程變化時,在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。儀器校準激光干涉儀加工設計激光干涉儀應避免在溫度變化大、有風、潮濕環境下測量。

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激光干涉儀組件:要測量線性軸的定位精度、重復定位精度和反向間隙等數據,需要使用激光測量系統的以下組件,主要有:XL激光頭、三腳架和云臺、XC環境補償單元、空氣溫度傳感器和材料溫度傳感器、線性測量光學鏡組、光學鏡安裝組件及安裝激光測量軟件的計算機。激光干涉儀工作原理多普勒效應(DopplerEffect):任何形式的波傳播,都是由于波源、傳播介質或中間反射器的運動,會使頻率發生變化的現象。這種因多普勒效應所引起的頻率變化稱為多普勒偏移或頻移(DopplerShift),其頻移大小與介質、波源和觀察物的運動有關。

激光干涉儀在數控機床檢定中的應用:隨著數控機床應用的普及,采用激光干涉儀對數控機床進行定位精度檢測已經成為目前公認的高效、高精度的檢測方法。激光干涉儀可用于精密機床、大規模集成電路加工設備等在線位置測量、誤差修正和控制,其中激光干涉儀應用比較多。與傳統的檢定方法相比,激光干涉儀具有較高的精度和效率,并能及時處理數據,為機床誤差修正提供依據,位置精度是機床的重要指標,目前各國機床檢定標準中都推薦使用激光干涉儀。激光干涉儀在機床中的應用是其它傳統測量手段難以實現和替代的。激光干涉儀在機床中的應用是其它傳統測量手段難以實現和替代的。

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激光干涉儀初步調整后,它的固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶,通過“整體”調整精確瞄準光靶后,取下分光鏡光靶,將Z軸升高,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度,同時透過“尾部”調整使激光對準反光鏡光靶,若在此過程中因“尾部”的調整導致分光鏡遮擋了部分激光,則將Z軸停止上升回到起始處,重新調整“整體”,再次對準反射鏡光靶。緊接著再升Z軸,繼續調整“尾部”,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度。重復整個過程,往往幾次即可達到準直要求。激光干涉儀的光源——激光。儀器校準激光干涉儀加工設計

激光干涉儀的測量精度高:以激光干涉技術為關鍵。儀器校準激光干涉儀加工設計

激光干涉儀:從激光器發出的光束,經擴束準直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時,干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號,經整形、放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數,再由電子計算機按計算式式中λ為激光波長(N為電脈沖總數),算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時,要求周圍大氣處于穩定狀態,各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。儀器校準激光干涉儀加工設計

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