激光干涉儀是利用激光作為長度基準，對數控設備（加工中心、三座標測量機等）的位置精度（定位精度、重復定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等）進行精密測量的精密測量儀器。激光干涉儀以光波為載體，具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、測速下分辨率高等特點，其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標準。因此，激光干涉儀普遍應用于數控機床、PCB鉆孔機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質量控制與校準以及科研開發、設備制造等領域。激光干涉儀是以激光波長為長度計量基準的高精度測量儀器。數控設備幾何精度激光干涉儀設備廠家

激光干涉儀是利用激光作為長度基準，對數控設備（加工中心、三座標測量機等）的位置精度（定位精度、重復定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等）進行精密測量的精密測量儀器。為通過受激發射線的放射達到光的放大，即激光。大多數現代位移干涉儀都使用氦氛（He-Ne）激光管，這些激光管具有633納米（nm）的波長輸出。激光具有三個重要特性：激光波長非常穩定，可以滿足精密測量的要求。激光波長非常短，可以用于高精度測量。激光具有干涉特性。數控設備幾何精度激光干涉儀設備廠家激光干涉儀的應用：幾何精度檢測。

激光干涉儀的使用注意事項：1、激光干涉儀必須定人保管，機加技術組人員專人用，專人送檢，他人不得隨意動用，以防損壞，降低精度。2、激光干涉儀要設置專庫存放，環境要求干燥、通風、防震、防霧、防塵、防銹。儀器應保持干燥。各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫，儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。3、對激光干涉儀要小心輕放，避免強烈的沖擊震動，安置儀器前應檢查三腳架的牢固性，整個作業過程中工作人員不得離開儀器，防止意外發生。

雙頻激光干涉儀：在氦氖激光器上，加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應和頻率牽引效應,激光器產生1和2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經1/4波片后成為兩個互相垂直的線偏振光,再經分光鏡分為兩路。一路經偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。另一路經偏振分光鏡后又分為兩路：一路成為只含有f1的光束,另一路成為只含有f2的光束。當可動反射鏡移動時,含有f2的光束經可動反射鏡反射后成為含有f2±Δf的光束，Δf是可動反射鏡移動時因多普勒效應產生的附加頻率,正負號表示移動方向(多普勒效應是奧地利人C.J.多普勒提出的，即波的頻率在波源或接受器運動時會產生變化)。這路光束和由固定反射鏡反射回來只含有f1的光的光束經偏振片2后會合成為f1-(f2±Δf）的測量光束。激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快。

激光干涉儀組件：要測量線性軸的定位精度、重復定位精度和反向間隙等數據，需要使用激光測量系統的以下組件，主要有：XL激光頭、三腳架和云臺、XC環境補償單元、空氣溫度傳感器和材料溫度傳感器、線性測量光學鏡組、光學鏡安裝組件及安裝激光測量軟件的計算機。激光干涉儀工作原理多普勒效應（DopplerEffect）:任何形式的波傳播，都是由于波源、傳播介質或中間反射器的運動，會使頻率發生變化的現象。這種因多普勒效應所引起的頻率變化稱為多普勒偏移或頻移（DopplerShift）,其頻移大小與介質、波源和觀察物的運動有關。激光干涉儀的應用：數控機床動態的性能檢測。數控設備幾何精度激光干涉儀設備廠家

激光干涉儀的使用注意事項：各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫，儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。數控設備幾何精度激光干涉儀設備廠家

在激光干涉儀引力波探測器運行過程中,需要使用光杠桿對測試質量的狀態進行實時控制,使干涉儀穩定地保持鎖定狀態。光杠桿的工作原理如下:當干涉儀調整到初始工作狀態并鎖定之后,從激光器來的一束光射到鏡子背面選定的一個靈敏點上,經過反射后進入到一個多單元光探測器內,輸出一個確定的信號。當鏡子的角度偶然發生變動時,反射光束就入射到多單元光探測器的不同位置上,輸出一個位置誤差信號。該位置誤差信號經放大成形后輸入到一個自動控制系統,驅動設在鏡子背面相應的驅動裝置,使鏡子復原。由于激光器到鏡子的距離遠小于光探測器到鏡子的距離,在光探測器所處的位置上,反射光斑的位移會很大。因其作用類似于力學中的杠桿,故得其名。數控設備幾何精度激光干涉儀設備廠家