激光干涉儀原理：激光器發射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個探測器監控兩道光束之間的干涉（見圖）。若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。若光程差有變化時，探測器會在每一次光程變化時，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。影響激光干涉儀測量精度的因素包括：測量讀數軟件系統帶來的誤差。上海數控設備幾何精度激光干涉儀廠家有哪些

為什么要用雙頻激光干涉儀？單頻激光干涉儀是一種直流測量系統，存在較大的零漂；同時由于空氣湍流，機床油霧，切削屑等會使光束發生偏移或波面扭曲，導致激光束強度發生變化，就有可能使光電信號低于計數器的觸發電平而使計數器停止計數。雙頻激光干涉儀的信號交流信號，因而對于雙頻激光干涉儀來說，可用放大倍數較大的交流放大器對干涉信號進行放大，這樣，即使光強衰減90%，依然可以得到合適的電信號。雙頻激光干涉儀可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等，也可以在普通車間內為大型機床的刻度進行標定。上海數控設備幾何精度激光干涉儀廠家有哪些激光干涉儀是檢定數控機床、坐標測量機位置精度的工具。

激光干涉儀是激光在計量領域中比較成功的應用之一。利用光的干涉實現測量，具有非接觸、無損檢測的特點，已經在各個不同領域得到普遍的應用。現代激光干涉技術是在人類關于光學的幾乎全部知識的基礎上發展起來的。激光與普通光源相比，具有一些獨特的性質：單色性好、相干性好、方向性強、亮度高。激光干涉儀是以激光波長為已知長度，利用邁克爾遜干涉系統測量位移的通用長度測量，普遍應用于各領域，已經成為人類認知世界的重要工具。由于激光具有極好的時間相干性，自問世以來，已研制出多種激光干涉儀：單頻激光干涉儀、激光干涉儀、半導體激光干涉儀、法布里-珀羅（f-p）干涉儀、x射線干涉儀等。

激光干涉儀是利用激光作為長度基準，對數控設備（加工中心、三座標測量機等）的位置精度（定位精度、重復定位精度等）、幾何精度（俯仰扭擺角度、直線度、垂直度等）進行精密測量的精密測量儀器。激光干涉儀以光波為載體，具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、測速下分辨率高等特點，其光波波長可直接對米進行定義并溯源至國家標準。因此，激光干涉儀普遍應用于數控機床、PCB鉆孔機、坐標測量機、位移傳感器等精密儀器的質量控制與校準以及科研開發、設備制造等領域。激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應同步器等精密測量元件的檢測。

激光干涉儀使用環境：因為光學玻璃受熱變形將產生光學表面光圈的變化，溫度不穩定將直接影響測量精度的可靠性，所以激光干涉儀的使用對環境也有一定的要求：1、溫度要求在20℃左右，濕度不大于60%。2、遠離振動源，以免條紋產生抖動影響測量精度的判斷。目前激光干涉儀已普遍地應用在光學加工企業、光學檢測機構以及其他需要進行光學表面檢測的場合，南京光研推出的一款激光干涉儀還具有體積小、重量輕、移動靈活的特點，用12v電源，其耗電量極低，干涉圖像與對準系統同步、不需要切換，任何人都能簡單操作，非常適合大批量快速檢測。若光程差有變化時，探測器會在每一次光程變化時，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號。上海數控設備幾何精度激光干涉儀廠家有哪些

激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。上海數控設備幾何精度激光干涉儀廠家有哪些

激光干涉儀在實際使用中，需要確認其在各個測量應用中能夠達到的真實精度水平以確保測量數據準確可靠。激光干涉儀的測量讀數Z終均與激光波長有關，因此激光器頻率的準確性和穩定性是激光干涉儀測量精度的保障。此外，激光干涉儀的環境條件補償系統(壓力、溫濕度傳感器)的讀數準確性對Z終的測量精度有著重要的影響。總結起來，影響激光干涉儀測量精度的因素包括：①激光器頻率(波長)及頻率穩定性;②測量讀數軟件系統帶來的誤差;③反射鏡、角錐棱角誤差;④溫濕度、壓力傳感器誤差;當然，在具體測量任務中的測量精度還與測量人員、現場環境條件等因素有關。上海數控設備幾何精度激光干涉儀廠家有哪些