激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量?!案缮娣ā笔且环N利用波(通常是光波、無線電波或聲波)干涉現象的測量方法。測量可以包括波本身的某些特性以及波與之相互作用的材料。激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、較高測速下分辨率高等優點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度。激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、較高測速下分辨率高等優點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態測量軟件配合下,可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析,如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。激光干涉儀具有較高的精度和效率。安徽激光干涉儀廠家
激光干涉儀;光的干涉:光具有波粒二象性。兩列或幾列光波在空間相遇時相互迭加,在某些區域始終加強,在另一些區域則始終削弱,形成穩定的強弱分布的現象。產生穩定干涉的條件:只有兩列光波的頻率相同,位相差恒定,振動方向一致的相干光源,才能產生光的穩定干涉。由兩個普通獨特光源發出的光,不可能具有相同的頻率,更不可能存在固定的相差,因此,不能產生穩定干涉現象。若光的振幅相等:相位角相同時,復合光強為原先的2倍,產生明條紋。當相位角相差180o(半個波長)時,復合光強為0,產生暗條紋。安徽激光干涉儀廠家激光干涉儀的應用:數控機床動態的性能檢測。
激光干涉儀在立式配置下,樣品的放置,夾持和調整更方便,提高了測試效率。立式架構整機占地更小;整個干涉腔,處于穩定的框架結構下,這樣對抗振要求更低,可省去昂貴和龐大的抗震平臺。立式配置對于某些特殊應用的特殊優勢,比如高精度曲率半徑測量,大口徑平面樣品的拼接測量。對于很多超高精度測量,要求樣品表面保持和工作狀態一致的條件下測量。工業現場測試環境下,立式配置下,樣品的夾持放置,更有效率,更加穩定。在某些應用場合,基于測試效率,樣品夾持,測試方式或精度的要求,立式配置會更有優勢。
激光干涉儀具有有線性測量鏡組、角度測量鏡組、平面度測量組件、直線度測量組件、垂直度測量鏡組、激光器準直輔助鏡等等,實際使用中,有些不同功能的鏡組也可以相互組合使用,以滿足測量需要。比如角度測量鏡組中的反射鏡也可以替換線性測量鏡組中的反射鏡;激光器準直輔助鏡的使用可以減少準直調整的時間。同時,激光干涉儀各個測量鏡組也可以在別的測量工作中使用,常見的利用分光鏡或者光學直角器,達到改變光路,方便測量的目的。這需要,了解設備性能、掌握測量技巧,在滿足測量準確度的前提下活學活用。激光干涉儀為數控機床的誤差修正提供可靠依據,現場使用尤為方便。
激光干涉儀的測試質量是由鏡子本身和反沖質量組成的復合體。這個復合體是將鏡子的一部分嵌在一個與其質量相等的反沖質量體內做成的。鏡子和反沖質量兩者的縱軸要重合,鏡體的背面分布著四個永磁體做成的針,而相應的線圈固定在反沖質量體與其相對的面上。針伸入對應的線圈內,組成磁鐵-線圈驅動器。這四組磁鐵-線圈驅動器用來調整和控制鏡體的方向和位置。在激光干涉儀引力波探測器運行過程中,需要使用光杠桿對測試質量的狀態進行實時控制,使干涉儀穩定地保持鎖定狀態。激光干涉儀可按預定的間距自動完成檢測和刻劃定位。安徽激光干涉儀廠家
激光干涉儀可直接用于高精度、大 尺寸的動態位移測量系統。安徽激光干涉儀廠家
激光干涉儀主要是做什么的呢?主要有哪些應用呢?可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,滿足機床誤差修正的要求。具有實現線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能。可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等;同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度;并可以校準機床的回轉軸。內置國內外通用的標準??梢罁鞣N不同的機床標準分析處理數據,并可打印相應的曲線圖和數據報告。安徽激光干涉儀廠家