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化學(xué)氣相沉積過(guò)程分為三個(gè)重要階段：反應(yīng)氣體向基體表面擴(kuò)散、反應(yīng)氣體吸附于基體表面、在基體表面上發(fā)生化學(xué)反應(yīng)形成固態(tài)沉積物及產(chǎn)生的氣相副產(chǎn)物脫離基體表面。最常見的化學(xué)氣相沉積反應(yīng)有:熱分解反應(yīng)、化學(xué)...

氣相沉積技術(shù)在納米材料制備領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。通過(guò)精確控制氣相沉積過(guò)程中的參數(shù)和條件，可以制備出具有特定形貌、尺寸和性能的納米材料。這些納米材料在催化、傳感、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域具有潛在的應(yīng)用價(jià)值。例如...

大氣壓等離子體射流裝置通常包括單針、針-環(huán)、單雙環(huán)以及微腔結(jié)構(gòu)等四種典型的等離子體射流裝置。這些裝置能夠在開放空間中產(chǎn)生高活性非平衡低溫等離子體，為等離子體科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域提供了新的研究方向。大氣壓等離...

以下是氣體混合比對(duì)沉積的影響因素：沉積速率：氣體的混合比例可以改變反應(yīng)速率，從而影響沉積速率。例如，增加氫氣或氬氣的流量可能會(huì)降低沉積速率，而增加硅烷或甲烷的流量可能會(huì)增加沉積速率。薄膜質(zhì)量：氣體混合...

設(shè)計(jì)等離子體電源時(shí)需要考慮以下幾個(gè)要點(diǎn)。首先是選擇合適的氣體。不同的氣體具有不同的電離能和放電特性，因此需要根據(jù)具體應(yīng)用選擇合適的氣體。其次是選擇適當(dāng)?shù)碾婋x方法。常見的電離方法包括直流電離、射頻電離和...

氣相沉積技術(shù)中的等離子體增強(qiáng)氣相沉積方法，通過(guò)引入等離子體源，顯著提高了薄膜的沉積速率和質(zhì)量。這種方法特別適用于制備高熔點(diǎn)、難熔材料的薄膜。氣相沉積技術(shù)與其他薄膜制備技術(shù)的結(jié)合也為其帶來(lái)了新的發(fā)展機(jī)遇...

在科研領(lǐng)域，等離子射流同樣展現(xiàn)出了其獨(dú)特的魅力。作為一種高度活躍的等離子體形態(tài)，等離子射流為研究物質(zhì)在極端條件下的性質(zhì)提供了有力的工具。科學(xué)家們可以利用等離子射流模擬高溫、高壓等極端環(huán)境，觀察并研究物...

熱等離子體矩是一種先進(jìn)的能源轉(zhuǎn)換技術(shù)，通過(guò)利用等離子體的高溫高能量特性，將廢棄物和可再生能源轉(zhuǎn)化為清潔、高效的能源。該技術(shù)不僅能夠解決能源短缺和環(huán)境污染的問(wèn)題，還能夠?yàn)槠髽I(yè)和社會(huì)帶來(lái)巨大的經(jīng)濟(jì)效益和社...

等離子體炬具有高溫（5000～20000K）、高焓、能量集中、氣氛可控等特點(diǎn)，已經(jīng)在機(jī)械加工、材料合成、廢物處理、加熱、點(diǎn)火等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。等離子體焚燒技術(shù)是利用等離子體炬產(chǎn)生的高溫，將廢物快速分...

在環(huán)保領(lǐng)域，熱等離子體炬同樣發(fā)揮著重要作用。它能夠?qū)⒐腆w廢物、液體污染物甚至有害氣體轉(zhuǎn)化為無(wú)害的固體殘?jiān)驓怏w，實(shí)現(xiàn)廢物的減量化、無(wú)害化和資源化。特別是在處理醫(yī)療廢物、危險(xiǎn)廢物以及有毒有害氣體時(shí)，...

熱等離子體矩在許多領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用。例如，在空間物理學(xué)中，熱等離子體矩可以用來(lái)描述太陽(yáng)風(fēng)中帶電粒子的運(yùn)動(dòng)行為，從而幫助人們更好地了解太陽(yáng)風(fēng)的形成和演化。在材料科學(xué)中，熱等離子體矩可以用來(lái)描述高溫等離...

射頻電源是等離子體配套電源，它是由射頻功率源，阻抗匹配器以及阻抗功率計(jì)組成,是80年末期在我國(guó)新興的高科技領(lǐng)域。目前的射頻電源廣泛應(yīng)用于射頻濺射，PECVD化學(xué)氣相沉積，反應(yīng)離子刻蝕等設(shè)備中。 ...