漢屬會稽。唐屬武榮州，開元八年（720）屬晉江縣。宋太平興國六年（981）析晉江縣東鄉十六里置惠安縣，取“以惠安民”之義稱惠安。因縣治城北有山似螺又簡稱“螺”。歷屬清源軍、平海軍、泉州、泉州路、泉州府、廈門道。1949年8月24日解放，屬晉江專區（地區）、泉州市。

1990年10月9日，福建省第一個回族鄉政府在惠安縣百崎正式成立。

1996年，省民政廳批復同意撤銷肖厝鎮，設立后龍、山腰、南埔、涂嶺和埭港5個鎮。東嶺鎮劃出東橋、后建、東湖、散湖、埔殊、嶼頭山、坑尾、梅莊、燎原、厝斗、南湖、珩海、珩山、大吳、西坑、西湖、官嶺、香山18個村，設立東橋鄉。螺陽鎮的新霞、霞東、霞張、前型、南洲、梅山6個村，輞川鎮的溪南、王孫2個村劃歸螺城鎮管轄。

1998年，省民政廳批復同意撤銷東橋鄉，設立東橋鎮。1999年，省民政廳批復同意：從后龍鎮劃出誠峰、誠平、前亭、上樓、崢嶸、聯巖、奎壁、郭厝8個村委會設立峰尾鎮，鎮政府駐誠峰村；從黃塘鎮劃出紫山、龍石、尾山、官溪、藍田、石馬、頂赤涂、油園、美仁、后垵、光山、壩下、南安、半嶺、林口15個村委會設立紫山鎮，鎮政府駐翁后；從山腰鎮劃出前黃、香芹、前燒、鳳南、鳳北、鳳陽、鳳山、鳳林、鳳安、坑內、后張、三朱、古縣13個村委會設立前黃鎮，鎮政府駐前黃村；從南埔鎮劃出界山、玉湖、嶺頭、下朱、玉山、鳩林、鵝頭、河陽、東張、獅東、槐山、東涼、大前13個村委會設立界山鎮，鎮政府駐界山村；撤銷埭港鎮，將其行政區域并入山腰鎮。

2000年4月12日，國務院批準同意將惠安縣的山腰鎮、后龍鎮、南埔鎮、涂嶺鎮、埭港鎮劃歸新設立的泉州市泉港區管轄。同年，撤銷小岞鄉，設立小岞鎮。行政區劃調整后，惠安縣轄15個鎮、1個民族鄉：螺城鎮、洛陽鎮、崇武鎮、東園鎮、張坂鎮、東嶺鎮、輞川鎮、涂寨鎮、螺陽鎮、黃塘鎮、山霞鎮、凈峰鎮、東橋鎮、紫山鎮、小岞鎮、百崎回族鄉。

2000年第五次人口普查，惠安縣常住總人口897381人，其中：螺城鎮90319人，螺陽鎮77007人，黃塘鎮33630人，紫山鎮30888人，洛陽鎮64291人，東園鎮56509人，張坂鎮68153人，崇武鎮82826人，山霞鎮45402人，涂寨鎮74330人，東嶺鎮51181人，東橋鎮54107人，凈峰鎮57196人，小岞鎮27741人，輞川鎮66938人，百崎回族鄉16863人。

2003年末，惠安縣總戶數242052戶，總人口921794人，其中非農業人口129396人。各鄉鎮人口：螺城鎮84840人，螺陽鎮78854人，黃塘鎮39898人，紫山鎮35038人，洛陽鎮71640人，東園鎮62526人，張坂鎮74971人，崇武鎮81093人，山霞鎮50635人，涂寨鎮87090人，東嶺鎮61569人，東橋鎮64057人，凈峰鎮66399人，小岞鎮31297人，輞川鎮72547人，百崎回族鄉18853人。

2005年，惠安縣轄螺城、洛陽、崇武、東園、張坂、東嶺、輞川、涂寨、螺陽、黃塘、山霞、凈峰、東橋、紫山、小岞15個鎮和百崎回族鄉，共有11個社區、284個行政村。

2010年6月1日，惠安縣洛陽、東園、張坂、百崎4個鄉鎮和惠南工業園區正式委托泉州臺商投資區管理。

2010年第六次人口普查，惠安縣常住總人口944231人，其中：螺城鎮114384人，螺陽鎮78446人，黃塘鎮39102人，紫山鎮30714人，洛陽鎮69282人，東園鎮57184人，張坂鎮67430人，崇武鎮81730人，山霞鎮44152人，涂寨鎮72445人，東嶺鎮55448人，東橋鎮53766人，凈峰鎮52420人，小蚱鎮27526人，輞川鎮57935人，百崎回族鄉19693人，城南工業區8156人，惠南工業區14418人。