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立式爐設備能否實現真空環境與氣氛環境的快速切換?

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廣東華芯半導體技術有限公司2025-06-01

可選配真空模塊,通過蝶閥切換真空系統與氣體管路,從常壓到 10Pa 真空環境的切換時間≤8 分鐘。廣東華芯半導體技術有限公司的立式爐支持 “真空 - 氣氛” 復合工藝,如先抽真空排除揮發物再通入氮氣固化。

廣東華芯半導體技術有限公司
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簡介:廣東華芯半導體技術有限公司主營真空固晶回流焊、熱風氮氣焊接設備及無氧銀漿烤箱等設備。
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