廣東華芯半導體技術有限公司2025-06-01
可選配真空模塊,通過蝶閥切換真空系統與氣體管路,從常壓到 10Pa 真空環境的切換時間≤8 分鐘。廣東華芯半導體技術有限公司的立式爐支持 “真空 - 氣氛” 復合工藝,如先抽真空排除揮發物再通入氮氣固化。
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