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廣東華芯半導體技術有限公司2025-05-27
通過優(yōu)化氣體流道設計和智能流量調(diào)節(jié)技術，設備在正常運行時氣體消耗量可低至 5-10L/h（視腔體容積而定）。廣東華芯半導體技術有限公司的銀漿無氧烤箱支持 “脈沖式補氣” 模式，在氧含量超標時自動補氣，進一步降低氣體成本。
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