江蘇邁茨工業智能裝備有限公司2025-05-31

該精度源于閉環控制系統：伺服電機編碼器反饋轉速，位移傳感器（如光柵尺）實時監測位置，壓力傳感器檢測推力波動。邁茨電缸通過PID算法動態調整電機輸出，補償絲杠背隙、溫度形變等誤差。例如在半導體光刻機中，0.005mm精度相當于頭發絲的1/15，確保晶圓定位零偏差。對比氣缸（±1mm）、油缸（±0.1mm），電缸精度提升20-200倍，直接減少精密零件廢品率。

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