上海大載機電有限公司2025-05-10
潔凈室安裝規范:
1)進場前處理:
閥體乙醇擦拭(無塵布)
真空包裝運輸
2)安裝過程:
在潔凈工作臺操作
人員穿防塵服
3)密封要求:
接口用氟橡膠墊圈
電纜入口密封(IP6X)
4)檢測標準:
粒子計數(≥0.5μm<100顆/m3)
表面殘留<5μg/cm2
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