江蘇邁茨工業(yè)智能裝備有限公司2025-06-07
零背隙需機(jī)械與控制協(xié)同:
機(jī)械方案:
雙滾珠螺母預(yù)緊:預(yù)載荷≥10%額定力
行星滾柱絲杠:多線(xiàn)接觸結(jié)構(gòu)(背隙<1μm)
控制策略:
非線(xiàn)性摩擦補(bǔ)償:LuGre模型辨識(shí)靜摩擦-動(dòng)摩擦過(guò)渡
前饋力矩補(bǔ)償:基于加速度的慣性力預(yù)加載
傳感反饋:
差分式光柵尺:分辨率5nm
應(yīng)變片式力矩傳感器(監(jiān)測(cè)實(shí)際預(yù)緊力)
? 效果:精密光學(xué)調(diào)整機(jī)構(gòu)中,全行程背隙≤±0.2μm。
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