沖洗系統(tǒng)沖洗系統(tǒng)主要是由兩組噴淋管向版面正反面噴淋清水,以除去附著在版面上的顯影生成物和多余的顯影液,并通過擠壓輥擠去版面上的水分;同時具備二次水洗功能。涂膠系統(tǒng)涂膠系統(tǒng)主要功能是在顯影后的版面上涂上一層均勻的保護(hù)膠。干燥系統(tǒng)干燥系統(tǒng)由送風(fēng)管和膠輥組成,通過吹風(fēng)和加熱使印版迅速干燥,***將印版送出。顯影液配置顯影液配置需參考顯影液說明書和印版說明書,一般推薦使用印版廠家配送的顯影藥液,配置出的顯影液必須保證不同厚度版材的顯影寬容度。具體參數(shù)需根據(jù)版材和顯影液類型來設(shè)定。濱湖區(qū)質(zhì)量涂膠顯影機(jī)私人定做
根據(jù)版材厚度范圍調(diào)節(jié),保證顯影寬容度3、沖版水壓的調(diào)節(jié)用手感覺水壓,有力,保證水洗充分參數(shù)設(shè)定1、溫度溫度分布均勻,印版四點(diǎn)誤差不超過1 ℃, CTP顯影機(jī)不能超過0.5 ℃2、顯影時間通過調(diào)節(jié)傳動速度來控制顯影時間3、顯影液補(bǔ)充在顯影過程中,顯影液會逐漸損耗降低顯影性能,所以需要及時補(bǔ)充(開機(jī)補(bǔ)充,靜態(tài)補(bǔ)充,動態(tài)補(bǔ)充)。具體參數(shù)需根據(jù)版材和顯影液類型來設(shè)定。4、刷輥速度刷輥速度要根據(jù)實(shí)際調(diào)試效果設(shè)定,保證實(shí)地密度和小網(wǎng)點(diǎn)的正常還原無錫優(yōu)勢涂膠顯影機(jī)量大從優(yōu)一般由傳動系統(tǒng)、顯影系統(tǒng)、沖洗系統(tǒng)、烘干系統(tǒng)、程序控制系統(tǒng)等部分組成。
該機(jī)器人在正常維護(hù)下至少運(yùn)行十年。隨著大批量全自動化涂膠生產(chǎn)線的興起,此涂膠系統(tǒng)將具有更加***的市場前景和發(fā)展?jié)摿Γ‖F(xiàn)場設(shè)備及涂膠效果:涂膠效果內(nèi)容寫得非常不錯,但在涂膠機(jī)器人做得不錯的廠家還是不很多,專業(yè)更少. 有待這方面繼續(xù)改進(jìn). 涂膠機(jī)不再是簡單地完成表面的涂裝,更注重產(chǎn)品外表的美觀以及實(shí)現(xiàn)人工無實(shí)現(xiàn)涂膠位置.期待著有更好的文章出現(xiàn)噢.天豪點(diǎn)膠期待和大家的合作和創(chuàng)新.讓我們共同實(shí)現(xiàn)涂膠機(jī)器人的完美夢想,服務(wù)于現(xiàn)代化生產(chǎn)工藝,也希望涂膠效果越來越好。機(jī)器人涂膠系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于汽車領(lǐng)域,圖5是門蓋涂膠的發(fā)那科機(jī)器人系統(tǒng)。
顯影偏壓顯影偏壓由高壓板產(chǎn)生,并施加于顯影輥,用以提供圖像對比度。例如:顯影套筒的偏壓由交流電(AC)提供,如京瓷KM-1650機(jī)器:顯影偏壓Vp-p:所施加電壓的最大值和最小值之差;固定高壓:1.6kV;Vf:頻率;一般為2.7kHz,該值根據(jù)驅(qū)動時間預(yù)設(shè)值和環(huán)境校正的不同而不同;占空比:一個周期內(nèi)正電壓所占的時間比例一般為45%;Vdc:顯影偏壓290V;Vo:感光鼓表面非圖像區(qū)域(未曝光區(qū))的電壓;VL:感光鼓表面圖像區(qū)域(曝光區(qū))的電壓。 [2]顯影/水洗、水洗/涂膠、涂膠/烘干,版每次從兩膠輥出來都是干凈的。
勻膠顯影機(jī)是完成除曝光以外的所有光刻工藝的設(shè)備,包括光刻材料的涂布、烘烤、顯影、晶圓背面的清洗以及用于浸沒式工藝的晶圓表面的去離子水沖洗等。勻膠顯影機(jī)一般由四部分組成。***部分是晶圓盒工作站(wafer cassette station),晶圓盒在這里裝載到機(jī)器上。機(jī)械手(robot arm)從晶圓盒中把晶圓抽出來,傳送到工藝處理部分(process block),即第二部分。工藝處理部分是勻膠顯影機(jī)的主體,增粘模塊(adhesion enhancement)、熱盤(hot plate)、冷盤(chill plate)、旋涂、顯影等主要工藝單元都安裝在這里,一個或兩個機(jī)械手在各單元之間傳遞晶圓。第三部分是為浸沒式光刻工藝配套的單元,包括晶圓表面水沖洗單元、背清洗單元等。第四部分是和光刻機(jī)聯(lián)機(jī)的接口界面(interface),包括暫時儲存晶圓的緩沖盒(buffer)、晶圓邊緣曝光(wafer edge exposure,WEE)和光刻機(jī)交換晶圓的接口等。 [1]隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展,涂膠顯影機(jī)市場將迎來更多的機(jī)遇和挑戰(zhàn)。濱湖區(qū)質(zhì)量涂膠顯影機(jī)私人定做
溫度分布均勻,印版四點(diǎn)誤差不超過1 ℃, CTP顯影機(jī)不能超過0.5 ℃。濱湖區(qū)質(zhì)量涂膠顯影機(jī)私人定做
涂膠顯影機(jī)通常集成了增粘、旋涂、顯影、加熱等功能模塊,能夠處理各種襯底材料和光刻膠。這些功能模塊協(xié)同工作,確保了光刻工藝的高效和精確。三、設(shè)備特點(diǎn)堆疊式高產(chǎn)能架構(gòu):一些先進(jìn)的涂膠顯影機(jī)采用堆疊式設(shè)計(jì),提高了生產(chǎn)效率,同時占地面積相對較小。自動化程度高:可以與光刻機(jī)聯(lián)機(jī)作業(yè),滿足工廠自動化生產(chǎn)的需求。多腔體共用供膠系統(tǒng):配備多段回吸的多腔體共用供膠系統(tǒng),有效節(jié)省光刻膠的用量。高精度部件:可選配高精度熱板、WEE、AOI等單元部件,以滿足更高標(biāo)準(zhǔn)的工藝需求。濱湖區(qū)質(zhì)量涂膠顯影機(jī)私人定做
無錫凡華半導(dǎo)體科技有限公司在同行業(yè)領(lǐng)域中,一直處在一個不斷銳意進(jìn)取,不斷制造創(chuàng)新的市場高度,多年以來致力于發(fā)展富有創(chuàng)新價值理念的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn),在江蘇省等地區(qū)的電工電氣中始終保持良好的商業(yè)口碑,成績讓我們喜悅,但不會讓我們止步,殘酷的市場磨煉了我們堅(jiān)強(qiáng)不屈的意志,和諧溫馨的工作環(huán)境,富有營養(yǎng)的公司土壤滋養(yǎng)著我們不斷開拓創(chuàng)新,勇于進(jìn)取的無限潛力,凡華供應(yīng)攜手大家一起走向共同輝煌的未來,回首過去,我們不會因?yàn)槿〉昧艘稽c(diǎn)點(diǎn)成績而沾沾自喜,相反的是面對競爭越來越激烈的市場氛圍,我們更要明確自己的不足,做好迎接新挑戰(zhàn)的準(zhǔn)備,要不畏困難,激流勇進(jìn),以一個更嶄新的精神面貌迎接大家,共同走向輝煌回來!