例如，基于半導體硅材料壓阻效應的壓力傳感器、基于石英材料壓電效應的微加速度傳感器、基于磁致伸縮材料伸縮效應的微位移傳感器等。1.應用于醫療MEMS傳感器應用于無創胎心檢測，檢測胎兒心率是一項技術性很強的工作，由于胎兒心率很快，在每分鐘l20～160次之間，用傳統的聽診器甚至只有放大作用的超聲多普勒儀，用人工計數很難測量準確。而具有數字顯示功能的超聲多普勒胎心監護儀，價格昂貴，*為少數大醫院使用，在中、小型醫院及廣大的農村地區無法普及。此外，超聲振動波作用于胎兒，會對胎兒產生很大的不利作用。盡管檢測劑量很低，也屬于有損探測范疇，不適于經常性、重復性的檢查及家庭使用。霍爾電壓隨磁場強度的變化而變化，磁場越強，電壓越高，磁場越弱，電壓越低。黃浦區常見傳感器哪里買

熱電阻傳感器分類：1、NTC熱電阻傳感器：該類傳感器為負溫度系數傳感器，即傳感器阻值隨溫度的升高而減小。2、PTC熱電阻傳感器：該類傳感器為正溫度系數傳感器，即傳感器阻值隨溫度的升高而增大。激光傳感器（圖7）利用激光技術進行測量的傳感器。它由激光器、激光檢測器和測量電路組成。激光傳感器是新型測量儀表，它的優點是能實現無接觸遠距離測量，速度快，精度高，量程大，抗光、電干擾能力強等。激光傳感器工作時，先由激光發射二極管對準目標發射激光脈沖。經目標反射后激光向各方向散射。部分散射光返回到傳感器接收器，被光學系統接收后成像到雪崩光電二極管上。雪崩光電二極管是一種內部具有放大功能的光學傳感器，因此它能檢測極其微弱的光信號，并將其轉化為相應的電信號。嘉定區質量傳感器設計其基片可直接作為測量傳感元件，擴散電阻在基片內接成電橋形式。

2、浮筒式液位傳感器浮筒式液位傳感器是將磁性浮球改為浮筒，它是根據阿基米德浮力原理設計的。浮筒式液位傳感器是利用微小的金屬膜應變傳感技術來測量液體的液位、界位或密度的。它在工作時可以通過現場按鍵來進行常規的設定操作。3、靜壓或液位傳感器該傳感器利用液體靜壓力的測量原理工作。它一般選用硅壓力測壓傳感器將測量到的壓力轉換成電信號，再經放大電路放大和補償電路補償，***以4～20mA或0～10mA電流方式輸出。真空度真空度傳感器，采用先進的硅微機械加工技術生產，以集成硅壓阻力敏元件作為傳感器的**元件制成的***壓力變送器，由于采用硅-硅直接鍵合或硅-派勒克斯玻璃靜電鍵合形成的真空參考壓力腔，及一系列無應力封裝技術及精密溫度補償技術，因而具有穩定性優良、精度高的突出優點，適用于各種情況下***壓力的測量與控制。

在生產過程中，位移的測量一般分為測量實物尺寸和機械位移兩種。機械位移包括線位移和角位移。按被測變量變換的形式不同，位移傳感器可分為模擬式和數字式兩種。模擬式又可分為物性型（如自發電式）和結構型兩種。常用位移傳感器以模擬式結構型居多，包括電位器式位移傳感器、 電感式位移傳感器、自整角機、電容式位移傳感器、電渦流式位移傳感器、霍爾式位移傳感器等。數字式位移傳感器的一個重要優點是便于將信號直接送入計算機系統。這種傳感器發展迅速，應用日益***?；魻杺鞲衅鞣譃榫€性型霍爾傳感器和開關型霍爾傳感器兩種。

24GHz雷達RFbeam 24GHz雷達傳感器24GHz雷達傳感器采用高頻微波來測量物體運動速度、距離、運動方向、方位角度信息，采用平面微帶天線設計，具有體積小、質量輕、靈敏度高、穩定強等特點，***運用于智能交通、工業控制、安防、體育運動、智能家居等行業。工業和信息化部2012年11月19日正式發布了《工業和信息化部關于發布24GHz頻段短距離車載雷達設備使用頻率的通知》（工信部無〔2012〕548號），明確提出24GHz頻段短距離車載雷達設備作為車載雷達設備的規范。轉換元件將敏感元件輸出的物理量信號轉換為電信號；嘉定區質量傳感器設計

變換電路負責對轉換元件輸出的電信號進行放大調制；黃浦區常見傳感器哪里買

諧振式氣敏傳感器不需要對器件進行加熱，且輸出信號為頻率量，是硅微氣敏傳感器發展的重要方向之一。北京大學微電子所提出的1種微結構氣體傳感器，由硅梁、激振元件、測振元件和氣體敏感膜組成。硅梁被置于被測氣體中后，表面的敏感膜吸附氣體分子而使梁的質量增加，使梁的諧振頻率減小。這樣通過測量硅梁的諧振頻率可得到氣體的濃度值。對NO2氣體濃度的檢測實驗表明，在0×10～1×10的范圍內有較好的線性，濃度檢測極限達到1×10，當工作頻率是19kHz時，靈敏度是1.3Hz/10。德國的M.Maute等人在SiNx懸臂梁表面涂敷聚合物PDMS來檢測己烷氣體，得到－0.099Hz/10的靈敏度。黃浦區常見傳感器哪里買

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