勻膠顯影機是完成除曝光以外的所有光刻工藝的設備，包括光刻材料的涂布、烘烤、顯影、晶圓背面的清洗以及用于浸沒式工藝的晶圓表面的去離子水沖洗等。勻膠顯影機一般由四部分組成。***部分是晶圓盒工作站（wafer cassette station），晶圓盒在這里裝載到機器上。機械手（robot arm）從晶圓盒中把晶圓抽出來，傳送到工藝處理部分（process block），即第二部分。工藝處理部分是勻膠顯影機的主體，增粘模塊（adhesion enhancement）、熱盤（hot plate）、冷盤（chill plate）、旋涂、顯影等主要工藝單元都安裝在這里，一個或兩個機械手在各單元之間傳遞晶圓。第三部分是為浸沒式光刻工藝配套的單元，包括晶圓表面水沖洗單元、背清洗單元等。第四部分是和光刻機聯機的接口界面（interface），包括暫時儲存晶圓的緩沖盒（buffer）、晶圓邊緣曝光（wafer edge exposure，WEE）和光刻機交換晶圓的接口等。 [1]定期徹底清洗膠輥，保證各膠輥之間壓力均勻(每周一次)；惠山區優勢涂膠顯影機廠家現貨

將膠漿(包括溶劑膠漿、膠乳和水膠漿)均勻地涂覆到織物表面上的工藝。涂膠方法有刮涂、輥涂、浸涂和噴涂四種。制造很薄的膠布(0.15mm以內)，而又要求有較高耐透氣性與耐水性時，適宜用涂膠法多次涂膠。若織物強度很小，經不起壓延貼膠壓力時，宜用涂膠法。織物先涂膠而后壓延貼膠，可顯著提高纖維與膠料的黏結力。按國家規定，生產車間空氣中，汽油氣體濃度不得超過0.3mg/L，當濃度達5～6mg/L時，可導致急性中毒。降低溶劑氣體濃度***的方法是設置溶劑回收裝置，并同時設有良好的通風裝置。生產車間中的電動機、排風機及照明設備的電開關，都須全密閉式，以避免產生電火花。傳動帶、涂膠機、攪拌機等，均須安裝有效的導靜電設備及接地線路，并需有效的滅火器材，時刻注意防火防爆。無錫國產涂膠顯影機廠家價格通過調節傳動速度來控制顯影時間。

例如：東芝163數碼復合機，感光鼓表面被充上-440V的負電荷，當有圖像區域被曝光后，白色背景區未被曝光而保留-440V的負電荷，灰**域雖被曝光但因光照不強，而保留-300V左右的負電荷，黑**域被完全曝光，電荷消失，頁只保留很少的負電荷。而加在顯影輥上的顯影偏壓是-340V，這樣，白色背景區域的電勢高于顯影偏壓而碳粉未被轉移；灰**域低于顯影偏壓40V而有少量碳粉轉移；黑**域的電勢與顯影偏壓之間相差較大，所以有更多的碳粉被轉移到感光鼓上。這就完成了顯影過程了。 [2]

顯影是在印刷、影印、復印、曬圖等行業中，讓影像顯現的一個過程。顯影包括正顯影和反轉顯影。正顯影中顯影色粉所帶電荷的極性，與感光鼓表面靜電潛像的電荷極性是相反的，反轉顯影中感光鼓與色粉電荷極性是相同的。在復印機、打印機中顯影就是用帶電的色粉使感光鼓上的靜電潛像轉變成可見的色粉圖像的過程。顯影包括正顯影和反轉顯影。正顯影時，顯影色粉所帶電荷的極性，與感光鼓表面靜電潛像的電荷極性相反。顯影時，在感光鼓表面靜電潛像是場力的作用下，色粉被吸附在感光鼓上。靜電潛像電位越高的部分，吸附色粉的能力越強；靜電潛像電位越低的部分，吸附色粉的能力越弱。對應靜電潛像電位（電荷的多少）的不同，其吸附色粉量也就不同。多用在模擬復印機中。每天擦洗膠輥(可能干凈的軟布沾顯影液擦冼)；

涂膠顯影機通常集成了增粘、旋涂、顯影、加熱等功能模塊，能夠處理各種襯底材料和光刻膠。這些功能模塊協同工作，確保了光刻工藝的高效和精確。三、設備特點堆疊式高產能架構：一些先進的涂膠顯影機采用堆疊式設計，提高了生產效率，同時占地面積相對較小。自動化程度高：可以與光刻機聯機作業，滿足工廠自動化生產的需求。多腔體共用供膠系統：配備多段回吸的多腔體共用供膠系統，有效節省光刻膠的用量。高精度部件：可選配高精度熱板、WEE、AOI等單元部件，以滿足更高標準的工藝需求。這些功能模塊協同工作，確保了光刻工藝的高效和精確。南通品牌涂膠顯影機供應商

是由電機通過蝸輪蝸桿或鏈輪鏈條帶動傳送輥轉動，并通過對壓膠輥驅動使印版通過顯影機的各個工作環節。惠山區優勢涂膠顯影機廠家現貨

影片從化學加工***工序出來除去水滴后，乳劑中仍含有大量水分，需經干燥處理。洗片機具有干燥箱，用從本身自備的或總的空氣調節系統中取得加溫低濕清潔空氣，去烘除影片乳劑中所含水分。供風的氣流愈快﹑濕度愈低﹑溫度愈高則干燥愈迅速。但是溫度不能過高，影片也不允許過度干燥，否則會出現翹曲。因此一般需采用溫度自動控制裝置。吸收了水分的空氣被排走或經去濕處置后再循環利用。現代洗片機多采用沖擊式干燥，即將溫度較高的空氣，在接近膠片處的許多縫隙或小孔中高速吹出，這種方法效率**燥箱的體積小。惠山區優勢涂膠顯影機廠家現貨

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