潔凈室是空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內誘入、產生及滯留粒子。室內其它有關參數如溫度、濕度、壓力等要求進行控制。潔凈區是空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應減少空間內誘入、產生及滯留粒子。空間內其它有關參數如溫度、濕度、壓力等要求進行控制。潔凈區可以是開放式或封閉式。空氣潔凈度是指潔凈環境中空氣含塵微粒量多少的程度含塵濃度高則潔凈度低含塵濃度低則潔凈度高。空氣潔凈度的具體高低則是用空氣潔凈度級別來區分的,而這種級別又是用操作時間內空氣的計數含塵濃度來表示,也就是把從某一個低的含塵濃度起到不超過另一個高的含塵濃度止這一個含塵濃度范圍為某一個空氣潔凈度級別。懸浮粒子是指用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.15μm的固體和液體粒子。潔凈室檢測是確保生產環境達到特定潔凈度標準的關鍵步驟。山東消毒液凈化車間環境檢測服務至上
相對濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。濕度過高會使人覺得氣悶,而濕度低于30%則會讓人感覺干燥,皮膚皸裂,呼吸道不適以及情感上的不快。高濕度實際上減小了潔凈室表面的靜電荷積累──這是人們希望的結果。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當相對濕度超過50%時,靜電荷開始迅速消散,但是當相對濕度小于30%時,它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續存在很長一段時間。相對濕度在35%到40%之間可以作為一個令人滿意的折中,半導體潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。山東電子廠房環境檢測按所需控制的空氣中懸浮微粒分類,可將潔凈室分為工業潔凈室和生物潔凈室。
潔凈室在現代工業中早已被廣泛應用于半導體生產、液晶螢幕生產、生化技術、生物技術、精密器械、制藥、醫院等行業之中,尤其以半導體晶圓制程對無塵等級的要求比較高,因為現今的晶圓已經發展到奈米級的水準,隨便一粒灰塵掉落在晶圓上都可能造成整個晶圓線路的毀損,甚至導致這個晶圓必須報廢。無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外,還分成正壓無塵室與負壓無塵室。一般正壓無塵室比較常見,就是讓室內的空氣壓力大于室外的壓力,這樣才可以控制室內空氣往外吹以杜絕外部的污染源。
壓差檢測要求:(1)靜壓差的測定要求在潔凈區內的所有門全部關閉情況下進行。(2)在潔凈平面上應從潔凈度由高到低的順序依次進行,一直檢測到直通室外的房間。(3)測管口設在室內沒有氣流影響的任何地方均可,測管口面與氣流流線平行。(4)所測量記錄的數據應精確到1.0Pa。壓差檢測步驟:(1)先關閉所有的門。(2)用微差壓計測量各潔凈室之間、潔凈室走廊之間、走廊與外界之間的壓差。(3)記錄所有數據。壓差標準要求按照潔凈室設計或工藝要求決定維持被測潔凈室的正壓或負壓值。(1)不同級別的潔凈室或潔凈區與非潔凈室(區)之間的靜壓差,應不小于5Pa。(2)潔凈室(區)與室外的靜壓差,不應小于10Pa。(3)對于空氣潔凈度等級嚴于5級(100級)的單向流潔凈室在開門時,門內0.6m處的室內工作面含塵濃度應不大于相應級別的含塵濃度限值。(4)若達不到以上標準的要求,應重新調整新風量、排風量、至合格為止。空氣潔凈度是潔凈環境中空氣含懸浮粒子量的多少的程度,通常空氣中含塵濃度高則空氣潔凈度低。
A、室內測試人員必須穿潔凈服,不得超過2人,應位于測試點下風側并遠離測試點,并應保持靜止。進行換點操作時動作要輕,應減少人員對室內潔凈度的干擾。B、設備要在校準期內使用。C、檢測前和檢測后設備“清零”D、在單向流區域,所選擇的采樣探頭應接近等動力采樣,進入采樣探頭的風速與被采空氣的風速偏差不應超過20%。若無法做到這一點,將采樣口正對氣流的主方向。非單向流的采樣點,采樣口應豎直向上。E、采樣口至粒子計數器傳感器的連接管應盡量短。在生產工藝平面區劃時盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起,把潔凈度要求高的工序設置在上風側。湖北實驗室環境檢測認真負責
當產品要求潔凈度為100級時,選用層流流型;當產品要求潔凈度為1000~100000級時,選用亂流流型。山東消毒液凈化車間環境檢測服務至上
四、照度標準規定:潔凈區主要操作間照度不得少于300勒克斯,一般照明的照度均勻度不應小于0.7。潔凈區的照度檢查每年不得少于一次,在經過設備大修、廠房改造、工藝布局調整等變更的時候應在變更結束后重新檢測照度。檢測要求:室內照度測度必須在室溫已趨穩定,光源光輸出趨于穩定后進行(對熒光燈必須有100h)。檢測方法:測點平面離地面0.85m,按間距1-2m布點,測點距墻面1m。其要求基本與潔凈度的測定位置要求相同。記錄實測照度值并計算總的平均照度。照度測量一般*測定除局部照明之外的一般照明。山東消毒液凈化車間環境檢測服務至上