B.1自凈檢測是測定潔凈室設施***空氣懸浮粒子的能力。潔凈室污染潔凈度的恢復性能是設施**重要的能力之一。自凈檢測*對非單向流系統(tǒng)重要并推薦采用，因為自凈性能與受控區(qū)內循環(huán)空氣比例（換氣次數(shù))、送風與出風的幾何位置、熱條件和空氣分布特性因素相關，而單向流系統(tǒng)中，污染被受控氣流置換，自凈時間只受位置和距離的影響。自凈檢測應在設施處于空態(tài)或靜態(tài)時進行。潔凈度ISO8級和ISO9級的潔凈室（區(qū)）不推薦自凈檢測。檢測若使用人工氣溶膠，應防止氣溶膠對設施的殘留污染。B.2自凈性能的評估方法有100：1自凈時間或潔凈度恢復率。100：1自凈時間的定義：粒子濃度降低到0.01倍初始濃度所需時間。100：1自凈時間檢測是優(yōu)先方法。潔凈恢復率的定義：粒子濃度隨時間的變化速率。該方法可以使用粒子濃度衰減曲線進行描述(縱座標表示濃度，為對數(shù)刻度；橫座標表示濃度，為線性刻度)。對潔凈室的送風必須是有很高潔凈度的空氣。浙江過濾器潔凈室檢測值得推薦

7.4.2風機過濾器機組的設置應符合下列要求：1應根據(jù)空氣潔凈度等級和送風量選用；2應按潔凈室(區(qū))內生產工藝對氣流流型的要求布置，3終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產工藝和本規(guī)范的規(guī)定；4送風量應能調節(jié)；5應便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時，外殼強度應滿足檢修要求。7.4.3層流罩的設置應符合下列要求：1潔凈室(區(qū))內等于或嚴于5級的局部凈化區(qū)域宜采用層流罩；2層流罩的形式和進風方式應根據(jù)生產工藝或設備需要選用；3終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產工藝和本規(guī)范的規(guī)定；4安裝方式不應影響生產操作。安徽半導體凈化車間潔凈室檢測周期凈化空調系統(tǒng)的風機宜采取變頻措施。

1近年來，在大規(guī)模集成電路生產(前工序）用潔凈廠房、TFT-LCD生產用潔凈廠房的建造、設計中，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產層吊頂格柵以上的上技術夾層常常作為送風靜壓箱，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產層送風，實際上，潔凈生產層與上技術夾層是相通的；而潔凈生產層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動地板等以下是作為回風靜壓箱的下技術夾層，在下技術夾層常常還設置一些公用動力設備、輔助生產設備和公用動力管線等，潔凈生產層的回風通過活動地板、多孔板回至下技術夾層，實際上，下技術夾層與潔凈生產層是相通的，所以可以認為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術夾層，潔凈生產層和吊頂以上的上技術夾層。

4.4.3~4.4.6控制設備噪聲首先要從聲源上考慮，設計時應選用低噪聲設備。在某些情況下，由于技術或經(jīng)濟上的原因而難以做到時，則應從噪聲傳播途徑上采取降噪措施，如把高噪聲工藝設備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內。有些由于與生產聯(lián)系密切，必須置于潔凈區(qū)內的高噪聲設備，亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國內現(xiàn)有潔凈廠房中，不少潔凈室將機械泵一類高噪聲設備置于潔凈室外套間或技術夾道內，潔凈室內噪聲有明顯降低。潔凈室的靜態(tài)噪聲主要來源于凈化空調系統(tǒng)和局部凈化設備運行噪聲，靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型、換氣次數(shù)等因素有關。但關鍵在于凈化空調系統(tǒng)的布置及合理的降噪措施，不合理的設計方案必然導致較高的靜態(tài)噪聲。不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa。

3.1.1電子工業(yè)潔凈廠房生產環(huán)境的設計應根據(jù)生產工藝的要求控制微粒和對產品質量有害的雜質，同時還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數(shù)要求。3.1.2生產環(huán)境設計應根據(jù)產品品種及生產工藝要求，對電子產品生產過程需用的包括化學品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質的質量進行控制。3.1.3潔凈室（區(qū)）內產品生產過程所使用的工具、器具和物料儲運裝置，其制作的材質和清潔方式應按生產工藝要求選擇。。。潔凈環(huán)境是為生產工藝服務的，潔凈室設計必須滿足生產工藝的環(huán)境要求，這是理所當然的。北京靜電潔凈室檢測方法

無菌室，亦稱為凈化室或潔凈室，是一種專門設計用于控制環(huán)境污染的封閉空間。浙江過濾器潔凈室檢測值得推薦

D.3.7噪聲檢測，應符合下列規(guī)定：1潔凈室（區(qū)）內的噪聲檢測應采用帶倍頻程分析的聲級計。2潔凈室(區(qū))內的噪聲檢測點應根據(jù)電子產品生產工藝要求確定。噪聲檢測點宜距地面1.1～1.5m,距墻應大于3m；檢測點的布置宜按潔凈室(區(qū))面積均分，宜每100m2設一檢測點。D.3.8照度測試，應符合下列規(guī)定：1潔凈室(區(qū)）內照度檢測宜采用便攜式自動記錄照度計。2照度檢測應在室內溫度穩(wěn)定、光源光輸出穩(wěn)定后進行。潔凈室（區(qū))照度檢測不應包括生產設備等的局部照明和備用照明。3照度檢測點應設在工作高度，宜距地面0.85m，應每25m2設一個測點。浙江過濾器潔凈室檢測值得推薦