B.2.1.2計(jì)數(shù)效率測(cè)量U描述符所用體系的計(jì)數(shù)效率應(yīng)落在圖B.1的陰影之內(nèi)[1]。該陰影區(qū)為性能達(dá)標(biāo)區(qū),其中心對(duì)應(yīng)的選定粒徑超微粒子的計(jì)數(shù)效率為50%,粒徑示為U。超微粒徑U的允差為土10%,見圖B.1中的1.1U和0.9U。這一計(jì)數(shù)效率允差的規(guī)定,是基于對(duì)擴(kuò)散元件透過率的計(jì)算,該擴(kuò)散元件對(duì)粒徑大于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不低于40%,對(duì)粒徑小于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不高于60%。若離散粒子計(jì)數(shù)器(DPC)或凝聚核計(jì)數(shù)器(CNC)的計(jì)數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外的右側(cè),則不能用其測(cè)量或驗(yàn)證U描述符。若曲線落在陰影區(qū)之外的左側(cè),則可使用B.2.1.3介紹的粒徑限制器來降低計(jì)數(shù)效率。此時(shí),經(jīng)改進(jìn)的離散粒子計(jì)數(shù)器或凝聚核計(jì)數(shù)器的計(jì)數(shù)效率就成為原計(jì)數(shù)器的計(jì)數(shù)效率與粒徑限制器透過率的乘積。潔凈室檢測(cè)時(shí)需特別注意對(duì)生物安全柜等特殊設(shè)備的檢測(cè)。湖北消毒液凈化車間環(huán)境檢測(cè)值得推薦
B.3.3.3.2離散粒子計(jì)數(shù)器(DPC)測(cè)量使用離散粒子計(jì)數(shù)器測(cè)量大粒子的方法與B.1中的空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)方法基本相同,不同點(diǎn)只有一處,由于只需要大粒子的計(jì)數(shù)數(shù)據(jù),因此對(duì)1μm以下粒子的儀器靈敏度無要求。注意離散粒子計(jì)數(shù)器的樣本需是直接采自采樣點(diǎn)的空氣;計(jì)數(shù)器采樣管的長(zhǎng)度不得超過1m;離散粒子計(jì)數(shù)器的采樣流量至少0.00047m/s。單向流潔凈室中,計(jì)數(shù)器采樣口的尺寸應(yīng)適應(yīng)等動(dòng)力采樣。在非單向流區(qū)域,離散粒子計(jì)數(shù)器的采樣口應(yīng)朝上,采樣口直徑應(yīng)不小于30mm。設(shè)定計(jì)數(shù)器的粒徑范圍,使其只測(cè)量大粒子。為了保證所測(cè)粒子的濃度不大于出現(xiàn)重疊誤差的濃度,應(yīng)保留一個(gè)低于5μm(見GB/T25915.1-2010中表1)的粒徑檔。將這個(gè)小于5μm粒徑檔的濃度數(shù)據(jù)加到大粒徑數(shù)據(jù)中,濃度之和不應(yīng)超過所用粒子計(jì)數(shù)器比較大濃度建議值的50%。河北實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)空氣潔凈度的具體高低則是用空氣潔凈度級(jí)別來區(qū)分的,而這種級(jí)別又是用操作時(shí)間空氣的計(jì)數(shù)含塵濃度來表示。
潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣,以排替、稀釋室內(nèi)產(chǎn)生的顆粒污染物來實(shí)現(xiàn)的。為此,測(cè)定潔凈室或潔凈設(shè)施的送風(fēng)量、平均風(fēng)速、送風(fēng)均勻性、氣流流向及流型等項(xiàng)目十分必要。單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此,其送風(fēng)斷面風(fēng)速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風(fēng)速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過程產(chǎn)生的污染物,因此它們是主要關(guān)注的檢測(cè)項(xiàng)目。非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染物以維持其潔凈度。因此,換氣次數(shù)越大,氣流流型合理,稀釋效果越***,潔凈度也相應(yīng)提高。所以非單相流潔凈室、潔凈區(qū)的送風(fēng)量及相應(yīng)的換氣次數(shù),是主要關(guān)注的氣流測(cè)試項(xiàng)目。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),記錄各測(cè)點(diǎn)風(fēng)速的時(shí)間平均值。換氣次數(shù):根據(jù)潔凈室總風(fēng)量除以法凈室的容積求得
A、室內(nèi)測(cè)試人員必須穿潔凈服,不得超過2人,應(yīng)位于測(cè)試點(diǎn)下風(fēng)側(cè)并遠(yuǎn)離測(cè)試點(diǎn),并應(yīng)保持靜止。進(jìn)行換點(diǎn)操作時(shí)動(dòng)作要輕,應(yīng)減少人員對(duì)室內(nèi)潔凈度的干擾。B、設(shè)備要在校準(zhǔn)期內(nèi)使用。C、檢測(cè)前和檢測(cè)后設(shè)備“清零”。D、在單向流區(qū)域,所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動(dòng)力采樣,進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過20%。若無法做到這一點(diǎn),將采樣口正對(duì)氣流的主方向。非單向流的采樣點(diǎn),采樣口應(yīng)豎直向上。E、采樣口至粒子計(jì)數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。采樣點(diǎn)一般離地面0.8-1.2m左右,要均勻科學(xué)布點(diǎn),而且要避開回風(fēng)口。對(duì)任何小潔凈室或局部空氣凈化區(qū)域,采樣點(diǎn)的數(shù)目都不得少于2個(gè),總采樣數(shù)可根據(jù)面積開2次根求得。**少采樣點(diǎn)數(shù)目對(duì)應(yīng)懸浮粒子采樣點(diǎn)數(shù),工作區(qū)測(cè)點(diǎn)位置離地0.8-1.2m左右,送風(fēng)口測(cè)點(diǎn)位置離開送風(fēng)面30cm左右,關(guān)鍵設(shè)備或關(guān)鍵工作活動(dòng)范圍處可增加測(cè)點(diǎn),每個(gè)采樣點(diǎn)一般采樣一次。潔凈室地面、墻面及天花板的清潔度也是檢測(cè)內(nèi)容之一。
潔凈室在現(xiàn)代工業(yè)中早已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、液晶螢?zāi)簧a(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密器械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)之中,尤其以半導(dǎo)體晶圓制程對(duì)無塵等級(jí)的要求比較高,因?yàn)楝F(xiàn)今的晶圓已經(jīng)發(fā)展到奈米級(jí)的水準(zhǔn),隨便一粒灰塵掉落在晶圓上都可能造成整個(gè)晶圓線路的毀損,甚至導(dǎo)致這個(gè)晶圓必須報(bào)廢。無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外,還分成正壓無塵室與負(fù)壓無塵室。一般正壓無塵室比較常見,就是讓室內(nèi)的空氣壓力大于室外的壓力,這樣才可以控制室內(nèi)空氣往外吹以杜絕外部的污染源。其面積、層高,溫度、濕度,潔凈度等應(yīng)該該高則高,該低則低,并非越高越好。廣東實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測(cè)方便客戶
潔凈室內(nèi)使用的化學(xué)品和消毒劑需符合相關(guān)安全標(biāo)準(zhǔn)。湖北消毒液凈化車間環(huán)境檢測(cè)值得推薦
B.3.3.3.3飛行時(shí)間粒徑測(cè)量大粒子的尺寸可用飛行時(shí)間儀來測(cè)量。空氣樣本抽人儀器,經(jīng)噴嘴進(jìn)人一個(gè)局部真空區(qū),空氣因膨脹而加速,測(cè)量在真空區(qū)進(jìn)行。空氣樣本中的所有粒子均在測(cè)量區(qū)加速,粒子的加速度與粒子質(zhì)量成反比。利用測(cè)量點(diǎn)的風(fēng)速與粒子速度兩者的關(guān)系,可測(cè)定粒子的空氣動(dòng)力學(xué)直徑。知道環(huán)境與測(cè)量區(qū)之間氣壓的壓差,可直接計(jì)算出風(fēng)速。根據(jù)粒子在兩束激光間的飛行時(shí)間測(cè)定粒子速度。飛行時(shí)間儀可測(cè)量大到20μm粒子的空氣動(dòng)力學(xué)直徑,粒徑分辨率好于10%。獲取樣本的方法與離散粒子計(jì)數(shù)器測(cè)量相同;確定粒徑范圍的方法也與離散粒子計(jì)數(shù)器相同。湖北消毒液凈化車間環(huán)境檢測(cè)值得推薦
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